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以上對本發(fā)明提供的一種具有陡峭的光吸收截止邊的單一相晶體結(jié)構(gòu)的氧化鋅基合金薄膜紫外探測器及其制備方法進(jìn)行了詳細(xì)的介紹，本文中應(yīng)用了具體個例對本發(fā)明的原理及實施方式進(jìn)行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其思想，包括佳方式，并且也使得本領(lǐng)域的任何技術(shù)人員都能夠?qū)嵺`本發(fā)明，包括制造和使用任何裝置或系統(tǒng)，和實施任何結(jié)合的方法。應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以對本發(fā)明進(jìn)行若干改進(jìn)和修飾，這些改進(jìn)和修飾也落入本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。本發(fā)明專利保護(hù)的范圍通過權(quán)利要求來限定，并可包括本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠想到的其他實施例。如果這些其他實...

如何能夠找到一種合適的紫外探測器，克服現(xiàn)有紫外探測器件存在的上述缺陷，已成為業(yè)內(nèi)諸多具有前瞻性的研究人員廣為關(guān)注的焦點(diǎn)之一。技術(shù)實現(xiàn)要素：有鑒于此，本發(fā)明要解決的技術(shù)問題在于提供一種氧化鋅基合金紫外探測器及其制備方法，特別是一種具有陡峭的光吸收截止邊的單一相晶體結(jié)構(gòu)的氧化鋅基合金薄膜紫外探測器。本發(fā)明制備的氧化鋅基合金紫外探測器具有較低的暗電流和良好的器件穩(wěn)定性。本發(fā)明提供了一種氧化鋅基合金紫外探測器，所述氧化鋅基合金紫外探測器包括襯底；復(fù)合在所述襯底上的氧化鋅基合金薄膜層；復(fù)合在所述氧化鋅基合金薄膜層上的叉指電極層。推薦的，所述氧化鋅基合金紫外探測器的光響應(yīng)截止邊為390～410nm...

鋅合金是以鋅為基礎(chǔ)加入其他元素組成的合金。常加的合金元素有鋁、銅、鎂、鎘、鉛、鈦等低溫鋅合金。鋅合金熔點(diǎn)低，活動性好，易熔焊，釬焊以及塑性，在大氣中耐侵蝕，殘廢物便于回收以及重熔；但蠕變強(qiáng)度低，易產(chǎn)生自然時效引發(fā)尺寸變化。接下來小編為大家介紹鋅合金材料使用注意事項及鋅合金表面處理特色。鋅合金是以鋅為基礎(chǔ)加入其他元素組成的合金。常加的合金元素有鋁、銅、鎂、鎘、鉛、鈦等低溫鋅合金。鋅合金熔點(diǎn)低，活動性好，易熔焊，釬焊以及塑性，在大氣中耐侵蝕，殘廢物便于回收以及重熔；但蠕變強(qiáng)度低，易產(chǎn)生自然時效引發(fā)尺寸變化。接下來小編為大家介紹鋅合金材料使用注意事項及鋅合金表面處理特色。鋅合金材料使用注意事...

所述叉指電極層中，叉指電極的叉指的對數(shù)為10～25對；所述叉指電極層中，叉指的長度為～2mm；所述叉指電極層中，叉指的寬度為2～10μm；所述氧化鋅基合金薄膜中，zno和合金元素氧化物的質(zhì)量比為(5～1000)：1；所述氧化鋅基合金薄膜的吸收截止邊為390～410nm；所述氧化鋅基合金薄膜具有單一相晶體結(jié)構(gòu)。推薦的，所述合金元素包括al、li、be、cd、hg、co、fe、pb、mn、ti和ni中的一種或多種；所述吸收截止邊為光吸收截止邊；所述光吸收截止邊包括紫外光和可見光的光吸收截止邊；所述氧化鋅基合金薄膜具有陡峭的光吸收截止邊；所述氧化鋅基合金薄膜在吸收截止邊位置，5nm波段范圍內(nèi)...

前述鋅基合金丸粒由al、mg以及余量的zn和不可避免的雜質(zhì)組成，相對于前述鋅基合金丸粒的al的含量為～％且mg的含量為～％，前述鋅基合金丸粒的維氏硬度為80～150hv。[2]根據(jù)前述7項所述的鋅基合金丸粒，其特征在于，前述鋅基合金丸粒進(jìn)一步添加cu作為微量添加元素，前述微量添加元素的添加量相對于前述鋅基合金丸粒為～％。[3]一種鋅基合金丸粒，其特征在于，前述鋅基合金丸粒為具有～(1:)≤(直徑:長度)≤(1:)的比率的圓柱，前述鋅基合金丸粒的維氏硬度為80～150hv。[4]根據(jù)前述1或2項所述的鋅基合金丸粒，其中，前述鋅基合金丸粒為粒狀體，在將由投影圖求出的丸粒的長度方向的長度設(shè)為...

在將由投影圖求出的丸粒的長度方向的長度設(shè)為a、將與長度方向正交的方向的**大直徑設(shè)為b的情況下，60％以上的丸粒的a/b處于～，鋅基合金丸粒的維氏硬度為80～100hv的鋅基合金丸粒是特別推薦的。相對于鋅基合金丸粒的al的含量為～％或～％，相對于鋅基合金丸粒的mg的含量為～％，相對于鋅基合金丸粒的cu的含量為～％，鋅基合金丸粒為具有(1:)≤(直徑:長度)≤(1:)的比率的圓柱，在將由投影圖求出的丸粒的長度方向的長度設(shè)為a、將與長度方向正交的方向的**大直徑設(shè)為b的情況下，60％以上的丸粒的a/b處于～，鋅基合金丸粒的維氏硬度為80～100hv的鋅基合金丸粒是特別推薦的。接著，對于評價...

圖2為用于說明本發(fā)明的鋅基合金丸粒的制造方法的另一實施方式的流程圖。具體實施方式本發(fā)明的一方案為鋅基合金丸粒。鋅基合金丸粒由al、以及余量的zn和不可避免的雜質(zhì)組成。并且相對于鋅基合金丸粒的al的含量為～％、mg的含量為～％。并且，鋅基合金丸粒的維氏硬度為80～150hv。本發(fā)明的一方案的鋅基合金丸粒由于添加有al，因此與鋅相比，硬度高、噴丸清理能力高。另外，由于耐沖擊性(韌性)改善，因此壽命長。并且，al由于比較廉價，因此可以廉價地制造噴丸清理能力高、壽命長的鋅基合金丸粒。另外，由于添加有mg，因此可以符合工件的物性、噴丸清理目的來調(diào)整鋅基合金丸粒的噴丸清理能力。本發(fā)明的一實施方式中...

所述叉指電極層中，叉指電極的叉指的對數(shù)為10～25對；所述叉指電極層中，叉指的長度為～2mm；所述叉指電極層中，叉指的寬度為2～10μm；所述氧化鋅基合金薄膜中，zno和合金元素氧化物的質(zhì)量比為(5～1000)：1；所述氧化鋅基合金薄膜的吸收截止邊為390～410nm；所述氧化鋅基合金薄膜具有單一相晶體結(jié)構(gòu)。推薦的，所述合金元素包括al、li、be、cd、hg、co、fe、pb、mn、ti和ni中的一種或多種；所述吸收截止邊為光吸收截止邊；所述光吸收截止邊包括紫外光和可見光的光吸收截止邊；所述氧化鋅基合金薄膜具有陡峭的光吸收截止邊；所述氧化鋅基合金薄膜在吸收截止邊位置，5nm波段范圍內(nèi)...

體現(xiàn)出類型a的鋅基合金丸粒通過硬度調(diào)整工序s06，可以調(diào)整硬度。<消耗量的評價>任意一種類型的鋅基合金丸粒中，al的添加量為～％并且mg的添加量處于～％的范圍內(nèi)的實施例1～16，在任意一種條件下都為△以上的評價。進(jìn)而，以～％的范圍微量添加cu的情況下，在任意一種條件下也都為△以上的評價。在此，△評價為雖然與○評價相比差但是實用上沒有問題的結(jié)果，暗示了通過將投射條件(投射速度、粒徑等)**合適化，能夠形成○評價以上。因此可知實施例1～14中，消耗量的評價良好。al的添加量過量的比較例3、mg的添加量過量的比較例5、和cu的添加量過量的比較例6都為×評價。認(rèn)為任意一種情況下，都由于過量添加...

本實用新型涉及鋅合金壓鑄技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種鋅合金快速成型機(jī)的模具固定基座結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)：壓鑄是一種金屬鑄造工藝，其特點(diǎn)是利用模具內(nèi)腔對融化的金屬施加高壓，模具通常是用強(qiáng)度更高的合金加工而成的，這個過程有些類似注塑成型，大多數(shù)壓鑄鑄件都是不含鐵的，例如鋅、銅、鋁、鎂、鉛、錫以及鉛錫合金以及它們的合金，根據(jù)壓鑄類型的不同，需要使用冷室壓鑄機(jī)或者熱室壓鑄機(jī)，鑄造設(shè)備和模具的造價高昂，因此壓鑄工藝一般只會用于批量制造大量產(chǎn)品，制造壓鑄的零部件相對來說比較容易，這一般只需要四個主要步驟，單項成本增量很低，壓鑄特別適合制造大量的中小型鑄件，因此壓鑄是各種鑄造工藝中使用的一種，同其他鑄造技術(shù)相...

反應(yīng)過程容易控制，操作方便，所需時間短，能夠在制備過程和產(chǎn)品形貌上的全程可控，在光電器件方面具有潛在的應(yīng)用前景，在探測紫外線方面有了更***的潛在應(yīng)用，有望產(chǎn)生良好的社會和經(jīng)濟(jì)效益，有利于規(guī)?；茝V和應(yīng)用。實驗結(jié)果表明，本發(fā)明制備的氧化鋅基合金紫外探測器，光響應(yīng)截止邊陡峭且光響應(yīng)截止邊在390～410nm。而且具有較高的響應(yīng)度，比常見的紫外探測器的響應(yīng)度高出2個數(shù)量級。為了進(jìn)一步說明本發(fā)明，以下結(jié)合實施例對本發(fā)明提供的一種氧化鋅基合金紫外探測器及其制備方法進(jìn)行詳細(xì)描述，但是應(yīng)當(dāng)理解，這些實施例是在以本發(fā)明技術(shù)方案為前提下進(jìn)行實施，給出了詳細(xì)的實施方式和具體的操作過程，只是為進(jìn)一步說明本...

三甲基鉛管路的載氣流速為10ml/min。步驟3)生長2小時，關(guān)閉有機(jī)源，以5℃/min的速率降低溫度，**終降低到室溫，取出襯底。步驟4)將步驟3)中樣品放入真空鍍膜機(jī)中，在氣壓為，使用蒸發(fā)電流140a，將50mgau顆粒蒸鍍到樣品表面。步驟5)將步驟4)中得到的樣品通過光刻和濕法刻蝕表面的金得到叉指電極，在叉指電極上按壓in粒得到msm結(jié)構(gòu)的znpbo紫外探測器。參見圖1，圖1為本發(fā)明提供的氧化鋅基合金紫外探測器的結(jié)構(gòu)示意簡圖。對本發(fā)明實施例1中得到的氧化鋅基合金薄膜進(jìn)行粉末x射線衍射(xrd)測試。參見圖2，圖2為本發(fā)明實施例1得到的氧化鋅基合金薄膜的粉末x射線衍射圖譜。從圖2中...

全部量100％基準(zhǔn)：以下相同)為～％、也可以為～％、也可以為～％、或者也可以為～％。一實施方式的鋅基合金丸粒還含有mg。通過添加mg，由此施加應(yīng)力而再結(jié)晶化得到促進(jìn)。即，通過在制造工序中賦予應(yīng)力，可以調(diào)整鋅基合金丸粒的硬度，因此可以得到具有符合噴砂加工的目的的噴丸清理能力的鋅基合金丸粒。但是若過量添加mg則鋅基合金丸粒的耐沖擊性降低或者產(chǎn)生制造上的不良問題，因此mg的含量為～％、也可以為～％、或者也可以為～％。cu是為了改善鋅基合金丸粒的耐蝕性而添加的元素。改善耐蝕性的結(jié)果，使用該鋅基合金丸粒進(jìn)行噴砂加工時，可以抑制在工件的表面產(chǎn)***黑。但是，若過量添加cu則鋅基合金丸粒的耐沖擊性降...

鋅合金是以鋅為基礎(chǔ)加入其他元素組成的合金。常加的合金元素有鋁、銅、鎂、鎘、鉛、鈦等低溫鋅合金。鋅合金熔點(diǎn)低，活動性好，易熔焊，釬焊以及塑性，在大氣中耐侵蝕，殘廢物便于回收以及重熔；但蠕變強(qiáng)度低，易產(chǎn)生自然時效引發(fā)尺寸變化。接下來小編為大家介紹鋅合金材料使用注意事項及鋅合金表面處理特色。鋅合金是以鋅為基礎(chǔ)加入其他元素組成的合金。常加的合金元素有鋁、銅、鎂、鎘、鉛、鈦等低溫鋅合金。鋅合金熔點(diǎn)低，活動性好，易熔焊，釬焊以及塑性，在大氣中耐侵蝕，殘廢物便于回收以及重熔；但蠕變強(qiáng)度低，易產(chǎn)生自然時效引發(fā)尺寸變化。接下來小編為大家介紹鋅合金材料使用注意事項及鋅合金表面處理特色。鋅合金材料使用注意事...

更推薦為4～8μm，更推薦為5～7μm。所述叉指電極層中，叉指電極的叉指的對數(shù)推薦為10～25對，更推薦為12～23對，更推薦為14～21對，更推薦為16～19對。所述叉指電極層中，叉指的長度推薦為～2mm，更推薦為～，更推薦為～，更推薦為～。所述叉指電極層中，叉指的寬度推薦為2～10μm，更推薦為3～9μm，更推薦為4～8μm，更推薦為5～7μm。本發(fā)明原則上對所述in顆粒的具體參數(shù)沒有特別限制，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實際情況、原料情況以及產(chǎn)品要求進(jìn)行選擇和調(diào)整，本發(fā)明為進(jìn)一步提高氧化鋅基合金紫外探測器的性能，提高氧化鋅基合金紫外探測器的響應(yīng)度，所述in顆粒的直徑推薦為1～3mm，更...

降溫后得到生長有氧化鋅基合金薄膜的襯底；所述金屬為氧化鋅基合金中的金屬元素；2)將叉指電極材料真空蒸鍍到氧化鋅基合金薄膜表面，再經(jīng)過光刻后，得到叉指電極層；3)在上述步驟得到的叉指電極層的非叉指電極處按壓in顆粒后，得到氧化鋅基合金紫外探測器。本發(fā)明上述制備方法中，所述氧化鋅基合金紫外探測器的結(jié)構(gòu)、組成、參數(shù)及其推薦原則，與前述氧化鋅基合金紫外探測器中的結(jié)構(gòu)、組成、參數(shù)及其推薦原則均可以一一對應(yīng)，在此不再一一贅述。本發(fā)明首先在含有氧氣的條件下，將有機(jī)鋅源和有機(jī)金屬化合物在加熱襯底上進(jìn)行化學(xué)氣相沉積，降溫后得到生長有氧化鋅基合金薄膜的襯底。本發(fā)明所述金屬是指氧化鋅基合金中的金屬元素，所述...

參照本發(fā)明提供的結(jié)構(gòu)和制備方法，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實際情況、原料情況以及產(chǎn)品要求進(jìn)行選擇和調(diào)整，本發(fā)明為進(jìn)一步保證氧化鋅基合金紫外探測器的性能，提高氧化鋅基合金紫外探測器的響應(yīng)度，所述氧化鋅基合金紫外探測器的光響應(yīng)截止邊推薦為390～410nm，推薦為392～408nm，更推薦為394～406nm，更推薦為396～404nm，更推薦為398～402nm。具體的，本發(fā)明所述氧化鋅基合金紫外探測器推薦包括襯底。其中，所述氧化鋅基合金薄膜層推薦復(fù)合在所述襯底上。本發(fā)明所述氧化鋅基合金紫外探測器推薦還包括叉指電極層。其中，所述叉指電極層推薦復(fù)合在所述氧化鋅基合金薄膜層上。本發(fā)明為完整和細(xì)化...

很久以來就知道使被稱為丸粒的顆粒與被加工物碰撞而進(jìn)行工件的表面處理(去除毛刺、倒圓(r角倒角)、面粗糙度調(diào)整、縐紋組織加工等)的噴砂加工。丸粒的材質(zhì)符合工件的材質(zhì)、加工目的來選擇。例如對于由鋁合金、鎂合金、鋅合金構(gòu)成的壓鑄產(chǎn)品的噴砂加工的情況下，考慮到噴丸清理能力和耐粉塵性來選擇鋅丸粒。專利文獻(xiàn)1公開了由鋅形成的丸粒。這種丸粒由于維氏硬度為40～50hv(通過jisz2244規(guī)定)，因此噴丸清理能力低。因此，開發(fā)了由鋅合金形成的丸粒。例如專利文獻(xiàn)2中公開了由zn-mn形成的鋅基合金丸粒。但是，mn為prtr制度的對象，從安全性、環(huán)境保護(hù)的觀點(diǎn)考慮不推薦。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：...

也可以直接壓鑄制品。超塑性鋅合金,指Zn一Al二元合金。它在一定的組織條件和變形條件下，能呈現(xiàn)出極高的延伸率。對于加工一些形狀復(fù)雜的零件，有獨(dú)到之處。該合金在美國、英國和日本研究較多，并得到了應(yīng)用。超塑性鋅合金的抗拉強(qiáng)度可以超過銅、鋁合金，甚至達(dá)到或超過軟鋼水平。具有在270℃左右呈現(xiàn)超塑性，極易加工成形，同時還兼有鋅的耐腐蝕、成本低的優(yōu)點(diǎn)。鑄造鋅合金缺點(diǎn)編輯鑄造鋅合金的缺點(diǎn)是耐蝕性差，在長期使用過程中，易發(fā)生老化現(xiàn)象。合金的老化使鑄件變脆，性能急劇下降。同時鑄件發(fā)生變形、膨脹，嚴(yán)重時可發(fā)生開裂。鋅合金的這種現(xiàn)象通常認(rèn)為主要是晶間腐蝕所引起的。鋅合金的老化，阻礙了這類合金的廣泛應(yīng)用，因...

圖2為用于說明本發(fā)明的鋅基合金丸粒的制造方法的另一實施方式的流程圖。具體實施方式本發(fā)明的一方案為鋅基合金丸粒。鋅基合金丸粒由al、以及余量的zn和不可避免的雜質(zhì)組成。并且相對于鋅基合金丸粒的al的含量為～％、mg的含量為～％。并且，鋅基合金丸粒的維氏硬度為80～150hv。本發(fā)明的一方案的鋅基合金丸粒由于添加有al，因此與鋅相比，硬度高、噴丸清理能力高。另外，由于耐沖擊性(韌性)改善，因此壽命長。并且，al由于比較廉價，因此可以廉價地制造噴丸清理能力高、壽命長的鋅基合金丸粒。另外，由于添加有mg，因此可以符合工件的物性、噴丸清理目的來調(diào)整鋅基合金丸粒的噴丸清理能力。本發(fā)明的一實施方式中...

所述氧化鋅基合金在光吸收截止邊位置(或光吸收截止邊附近)，5nm波段范圍內(nèi)透射率下降70％～90％，更推薦下降80％～90％，更推薦下降82％～89％，更推薦下降84％～88％，具體可以為90％。本發(fā)明原則上對所述氧化鋅基合金的結(jié)構(gòu)沒有特別限制，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實際情況、原料情況以及產(chǎn)品要求進(jìn)行選擇和調(diào)整，本發(fā)明為提高氧化鋅基合金薄膜的性能參數(shù)，更好的利于提高氧化鋅基合金紫外探測器的響應(yīng)度，所述氧化鋅基合金薄膜，即氧化鋅基合金具有單一相晶體結(jié)構(gòu)，更具體的，所述氧化鋅基合金薄膜推薦為具有單一相晶體結(jié)構(gòu)氧化鋅基合金薄膜。具體的，所述氧化鋅基合金薄膜推薦為具有單一六角相晶體結(jié)構(gòu)的氧化鋅...

本發(fā)明所述化學(xué)氣相沉積過程中，氧氣的分壓推薦為1x102～1x103pa，更推薦為3x102～8x102pa，更推薦為5x102～6x102pa。本發(fā)明原則上對所述有機(jī)鋅源的具體選擇沒有特別限制，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實際情況、原料情況以及產(chǎn)品要求進(jìn)行選擇和調(diào)整，本發(fā)明為提高氧化鋅基合金的性能參數(shù)，提高氧化鋅基合金紫外探測器的性能，提高氧化鋅基合金紫外探測器的響應(yīng)度，所述有機(jī)鋅源推薦包括二乙基鋅和/或二甲基鋅，更推薦為二乙基鋅或二甲基鋅。本發(fā)明原則上對所述有機(jī)鋅源的輸送載氣及其參數(shù)沒有特別限制，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實際情況、原料情況以及產(chǎn)品要求進(jìn)行選擇和調(diào)整，本發(fā)明為提高氧化鋅基合金...

體現(xiàn)出類型a的鋅基合金丸粒通過硬度調(diào)整工序s06，可以調(diào)整硬度。<消耗量的評價>任意一種類型的鋅基合金丸粒中，al的添加量為～％并且mg的添加量處于～％的范圍內(nèi)的實施例1～16，在任意一種條件下都為△以上的評價。進(jìn)而，以～％的范圍微量添加cu的情況下，在任意一種條件下也都為△以上的評價。在此，△評價為雖然與○評價相比差但是實用上沒有問題的結(jié)果，暗示了通過將投射條件(投射速度、粒徑等)**合適化，能夠形成○評價以上。因此可知實施例1～14中，消耗量的評價良好。al的添加量過量的比較例3、mg的添加量過量的比較例5、和cu的添加量過量的比較例6都為×評價。認(rèn)為任意一種情況下，都由于過量添加...

圖2為用于說明本發(fā)明的鋅基合金丸粒的制造方法的另一實施方式的流程圖。具體實施方式本發(fā)明的一方案為鋅基合金丸粒。鋅基合金丸粒由al、以及余量的zn和不可避免的雜質(zhì)組成。并且相對于鋅基合金丸粒的al的含量為～％、mg的含量為～％。并且，鋅基合金丸粒的維氏硬度為80～150hv。本發(fā)明的一方案的鋅基合金丸粒由于添加有al，因此與鋅相比，硬度高、噴丸清理能力高。另外，由于耐沖擊性(韌性)改善，因此壽命長。并且，al由于比較廉價，因此可以廉價地制造噴丸清理能力高、壽命長的鋅基合金丸粒。另外，由于添加有mg，因此可以符合工件的物性、噴丸清理目的來調(diào)整鋅基合金丸粒的噴丸清理能力。本發(fā)明的一實施方式中...

更推薦為50～60sccm。本發(fā)明原則上對所述加熱襯底的具體溫度沒有特別限制，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實際情況、原料情況以及產(chǎn)品要求進(jìn)行選擇和調(diào)整，本發(fā)明為提高氧化鋅基合金的性能參數(shù)，提高氧化鋅基合金紫外探測器的性能，提高氧化鋅基合金紫外探測器的響應(yīng)度，所述加熱襯底的溫度推薦為350～1050℃，更推薦為450～950℃，更推薦為550～850℃，更推薦為650～750℃。本發(fā)明原則上對所述化學(xué)氣相沉積的過程參數(shù)沒有特別限制，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實際情況、原料情況以及產(chǎn)品要求進(jìn)行選擇和調(diào)整，本發(fā)明為提高氧化鋅基合金的性能參數(shù)，提高氧化鋅基合金紫外探測器的性能，提高氧化鋅基合金紫外探測器...

本實用新型涉及鋅合金壓鑄技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種鋅合金成型機(jī)的合模驅(qū)動調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。背景技術(shù)：壓鑄工藝就是利用機(jī)器、模具和合金等三大要素，將壓力、速度及時間統(tǒng)一的過程，用于金屬熱加工，壓力的存在是壓鑄工藝區(qū)別其他鑄造方法的主要特點(diǎn)，壓力鑄造是近代金屬加工工藝中發(fā)展較快的一種少無切削的特種鑄造方法，它是將熔融金屬在高壓高速下充填鑄型，并在高壓下結(jié)晶凝固形成鑄件的過程，由于用這種方法生產(chǎn)產(chǎn)品具有生產(chǎn)效率高，工序簡單，鑄件公差等級較高，表面粗糙度好，機(jī)械強(qiáng)度大，可以省去大量的機(jī)械加工工序和設(shè)備，節(jié)約原材料等優(yōu)點(diǎn)，所以現(xiàn)已成為我國鑄造業(yè)中的一個重要組成部分。鋅合金一般都是使用壓鑄工藝生產(chǎn)而成的，在...

以ⅲ族氮化物和碳化硅為**的寬禁帶半導(dǎo)體材料是國內(nèi)外重點(diǎn)研究和發(fā)展的第三代半導(dǎo)體材料，具有優(yōu)良的材料性能，是制備紫外探測器的理想材料?；趯捊麕О雽?dǎo)體的光電探測器與傳統(tǒng)的硅基紫外探測器和真空光電倍增管相比具有明顯的優(yōu)勢，和硅基紫外探測器相比，寬禁帶半導(dǎo)體紫外探測器具有：量子效率高；帶邊截止，對可見光無響應(yīng)；可在高溫、強(qiáng)輻射等惡劣環(huán)境下工作。因而，寬禁帶半導(dǎo)體紫外探測器因其體積小、重量輕、工作時不需濾光片、無需制冷等優(yōu)點(diǎn)，被認(rèn)為是可以取代真空光電倍增管和si光電倍增管的第三代紫外探測器。目前研究較多的半導(dǎo)體材料主要有iii-v族氮化鎵基材料和ii-vi族氧化鋅基材料。氧化鋅基材料由于具有...

更推薦為50～100a，更推薦為70～80a。本發(fā)明原則上對所述光刻的具體方式?jīng)]有特別限制，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實際情況、原料情況以及產(chǎn)品要求進(jìn)行選擇和調(diào)整，本發(fā)明為提高氧化鋅基合金的性能參數(shù)，提高氧化鋅基合金紫外探測器的性能，提高氧化鋅基合金紫外探測器的響應(yīng)度，所述光刻推薦為負(fù)膠光刻。本發(fā)明**后在上述步驟得到的叉指電極層的非叉指電極處按壓in顆粒后，得到氧化鋅基合金紫外探測器。本發(fā)明為完整和細(xì)化整個制備過程，更好的提高氧化鋅基合金的性能參數(shù)，提高氧化鋅基合金紫外探測器的性能，提高氧化鋅基合金紫外探測器的響應(yīng)度，上述紫外探測器的技術(shù)方案具體可以按照以下步驟進(jìn)行：步驟1)，使用三氯乙...

在一定氣壓的條件下，使用蒸發(fā)電流，將au顆粒蒸鍍到樣品表面。步驟5)將步驟4)中得到的樣品通過負(fù)膠光刻表面的金得到叉指電極，在叉指電極上按壓in粒得到msm結(jié)構(gòu)的紫外探測器。本發(fā)明上述步驟提供了一種具有陡峭的光吸收截止邊的單一相晶體結(jié)構(gòu)的氧化鋅基合金薄膜紫外探測器及其制備方法。本發(fā)明以有機(jī)鋅化合物作為鋅源，有機(jī)金屬化合物作為金屬源，在通入氧氣的條件下，金屬有機(jī)化合物在化學(xué)氣相沉積設(shè)備(mocvd)中生長氧化鋅基合金薄膜層。本發(fā)明使用mocvd生長設(shè)備，通過調(diào)控生長條件，使制備得到的氧化鋅基合金薄膜層具有結(jié)晶質(zhì)量高，不出現(xiàn)分相，光吸收截止邊陡峭，截止邊在400nm附近等特點(diǎn)，得到了這特定...

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體紫外探測技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種氧化鋅基合金紫外探測器及其制備方法，尤其涉及一種具有陡峭的光吸收截止邊的單一相晶體結(jié)構(gòu)的氧化鋅基合金薄膜紫外探測器及其制備方法。背景技術(shù)：太陽輻射是維持人類日常活動的能源之一，雖然紫外光在太陽光譜只占到7％的比例，但是在人類生活中占有十分重要的角色。近些年來由于大氣中臭氧層的破壞加重，使得地球表面的紫外輻射逐漸增多，過量的紫外輻射可以引起皮膚*、白內(nèi)障以及免疫系統(tǒng)功能的降低，還可以使農(nóng)作物減產(chǎn)，產(chǎn)生一系列環(huán)境問題。因此，關(guān)于紫外輻射的探測技術(shù)引起了的關(guān)注。而且紫外探測技術(shù)在導(dǎo)彈尾焰探測，火焰?zhèn)鞲?，空氣和水凈化以及空對空通信等和民用領(lǐng)域有廣闊的應(yīng)...