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來源: 發(fā)布時間:2025-03-21

    對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例,基于本實用新型中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。實施例一,請參閱圖1-4,本實用新型提供技術方案:高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置,包括裝置主體1、支撐腿2、電源線3和單片機4,裝置主體1的底端固定連接有支撐腿2,裝置主體1的后面一側底部固定連接有電源線3,裝置主體1的一側中間部位固定連接有控制器5,裝置主體1的內部底端一側固定連接有單片機4,裝置主體1的頂部一端固定連接有去離子水儲罐14,裝置主體1的頂部一側固定連接有磷酸儲罐15,磷酸儲罐15的底部固定連接有攪拌倉23,攪拌倉23的內部頂部固定連接有攪拌電機13,攪拌倉23的另一側頂部固定連接有醋酸儲罐16,裝置主體1的頂部中間一側固定連接有硝酸儲罐17,裝置主體1的頂部中間另一側固定連接有陰離子表面活性劑儲罐18,陰離子表面活性劑儲罐18的另一側固定連接有聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲罐19,裝置主體1的頂部另一側固定連接有氯化鉀儲罐20。專業(yè)蝕刻液,為您的精密加工提供有力支持。四川哪家蝕刻液蝕刻液費用

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    所述裝置主體前端表面靠近左上邊角位置設置有活動板,所述分隔板右端放置有蓄水箱,所述蓄水箱上端靠近右側連接有進水管,所述回流管下端連接有抽水管,所述抽水管內部上端設置有三號電磁閥,所述裝置主體前端表面靠近右側安裝有控制面板。作為本發(fā)明的進一步方案,所述分隔板與承載板相互垂直設置,所述電解池內部底端的傾斜角度設計為5°。作為本發(fā)明的進一步方案,所述進液管的形狀設計為l型,且進液管貫穿分隔板設置在進液漏斗與伸縮管之間。作為本發(fā)明的進一步方案,所述圓環(huán)塊通過伸縮桿活動安裝在噴頭上方,且噴頭通過伸縮管活動安裝在電解池上方。作為本發(fā)明的進一步方案,所述回流管與進水管的形狀均設計為l型,所述傾斜板的傾斜角度設計為10°。作為本發(fā)明的進一步方案,所述活動板前端設置有握把,活動板與裝置主體之間設置有鉸鏈,且活動板通過鉸鏈活動安裝在裝置主體前端。作為本發(fā)明的進一步方案,所述控制面板的輸出端分別與增壓泵、一號電磁閥、二號電磁閥和三號電磁閥的輸入端呈電性連接。與現有技術相比,本發(fā)明的有益效果是:該回收處理裝置通過在增壓泵下端設置有回流管,能夠在蝕刻液電解后,啟動增壓泵并打開一號電磁閥。無錫哪家蝕刻液蝕刻液銷售廠歡迎詢價,蘇州博洋化學股份有限公司。

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    本發(fā)明涉及銅蝕刻液技術領域,具體涉及一種酸性銅蝕刻液的生產工藝。背景技術:高精細芯片和顯示集成電路主要采用銅制程,其光刻工藝中形成銅膜層結構所需用的銅刻蝕液中主要的為過氧化氫系銅刻蝕液。過氧化氫系銅蝕刻液較其他銅刻蝕液體系(如三氯化鐵體系,過硫酸銨體系)具有不引人其他金屬離子在銅層表面或線路體系中,產物親和、友好、環(huán)境污染少,刻蝕效率高且使用壽命較長的特點。大部分過氧化氫系銅刻蝕液包括參與氧化的過氧化氫組分、參與溶解的無機酸/有機酸組分,以及部分銅緩蝕劑等各類添加三個部分。由于銅蝕刻液中各物質的反應為放熱反應,體系中又含有過氧化氫在制備銅蝕刻液的生產過程中需要保證生產安全。技術實現要素:本發(fā)明的目的在于,克服現有技術中存在的缺陷,提供一種銅蝕刻液大規(guī)模量產的生產工藝,該生產工藝溫控嚴格,生產過程中安全性高。為實現上述目的,本發(fā)明的技術方案是設計一種酸性銅蝕刻液的生產工藝,所述工藝包括以下步驟:第一步:將純水進行低溫處理,使純水溫度≤10℃在純水罐中備用;第二步:配制和準備原料,將亞氨基二乙酸、氫氟酸和乙醇酸分別投入對應的原料罐中,經過過濾器循環(huán)過濾,備用。

可用于銀鎳合金、銀銅合金以及純銀的蝕刻,蝕刻后板面平整光滑。劑對油墨沒有影響,可用于花紋蝕刻處理。三、使用方法:1、原液使用,不須加水,操作溫度可以是25℃-60℃,溫度越高,速度越快。2、將銀板浸泡在銀蝕刻劑中。用軟毛刷來回輕輕刷動,使藥水與銀充分均勻反應;或者也可以用搖床,使藥水來回動運,使板蝕刻速度加快。但不能超聲波,以免破壞(感光)油墨。參考數據:50℃→5分鐘→0.1毫米深度。30℃→20分鐘→0.1毫米深度。3、水洗后做后續(xù)處理。銅蝕刻液是用來蝕刻銅金屬的化學藥水;

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    也不能在回收結束后對裝置內部進行清理的問題。為實現上述目的,本發(fā)明提供如下技術方案:一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,包括裝置主體,所述裝置主體內部中間位置固定安裝有分隔板,所述分隔板左端表面靠近中間位置固定安裝有承載板,所述承載板上端表面放置有電解池,所述電解池內部中間位置設置有隔膜,所述裝置主體上端表面靠近右側安裝有進液漏斗,所述進液漏斗上設置有過濾網,所述裝置主體內部靠近頂端設置有進液管,所述進液管左端連接有伸縮管,所述伸縮管下端安裝有噴頭,所述裝置主體上端表面靠近左側固定安裝有液壓缸,所述液壓缸下端安裝有伸縮桿,所述伸縮桿下端固定安裝有圓環(huán)塊,所述圓環(huán)塊與噴頭之間固定連接有連接桿,所述分隔板右端表面靠近上端固定安裝有增壓泵,所述增壓泵下端與電解池之間連接有回流管,所述增壓泵上端與進液管之間連接有一號排液管,所述回流管內部左端設置有一號電磁閥,所述裝置主體左端表面靠近上端固定安裝有抽氣泵,所述抽氣泵下方設置有集氣箱,所述集氣箱與抽氣泵之間連接有排氣管,所述電解池下端連接有二號排液管,所述二號排液管內部上端設置有二號電磁閥,所述裝置主體內部底端靠近左側設置有傾斜板。剝離液可以有正膠和負膠以及正負膠不同的分類。上海BOE蝕刻液蝕刻液哪里買

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    所述液體入口1處設有減壓閥12,所述蒸汽出口5處設有真空泵13、除霧組件3及除沫組件4,所述除霧組件3用于過濾分離器中閃蒸的蒸汽中的含銅液體,所述除沫組件4用于將經除霧組件3除霧的氣體進行除沫。含銅蝕刻液在加熱器11中進行加熱,達到閃蒸要求的溫度,輸送至分離器,通過減壓閥12減壓,真空泵13對分離器內抽氣,使分離器內處于低壓狀態(tài),含銅蝕刻液在分離器內發(fā)生閃蒸,閃蒸產生大量蒸汽,蒸汽中攜帶著大小不等的液滴,大液滴中含有銅,通過除霧組件3和除沫組件4對蒸汽進行分離過濾,也可以防止大液滴從蒸汽出口5飛出,減少產品損失。在一個實施例中,如圖1所示,所述除霧組件3為設有多個平行且曲折的通道的折流板。液體在隨著氣體上升時會有慣性,因為液體與氣體的質量不同,他們的慣性也不同,當夾帶著液體的氣體以一定速度通過折流板曲折的通道時,液體流動的方向不斷在曲折的通道中發(fā)生變化,液體的慣性較大,依舊保持原來的運動方向,從氣體中脫離,撞擊折流板壁面從而被擋下,氣體則順利通過折流板通道排出,被擋下的液體在壁面上匯集成液流,因重力的作用從折流板上流下。在一個實施例中,如圖1所示,所述除沫組件4為絲網。因為除霧組件3中的撞擊過程。四川哪家蝕刻液蝕刻液費用