本發(fā)明涉及化學(xué)制劑技術(shù)領(lǐng)域:,特別涉及一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液。背景技術(shù)::隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)以及立體封裝技術(shù)的不斷發(fā)展,電子器件和電子產(chǎn)品對多功能化和微型化的要求越來越高。在這種小型化趨勢的推動下,要求芯片的封裝尺寸不斷減小。3d疊層粉妝技術(shù)的封裝體積小,立體空間大,引線距離短,信號傳輸快,所以能夠更好地實現(xiàn)封裝的微型化。晶圓疊層是3d疊層封裝的一種形式。疊層晶圓在制造的過程中會對**外層的晶圓表面進行顯影蝕刻,當(dāng)中會用到光刻膠剝離液。華星光電用的哪家的剝離液?南通剝離液聯(lián)系方式
技術(shù)領(lǐng)域:本發(fā)明涉及一種選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法,可用于微納制造,光學(xué)領(lǐng)域,電學(xué),生物領(lǐng)域,mems領(lǐng)域,nems領(lǐng)域。技術(shù)背景:微納制造技術(shù)是衡量一個國家制造水平的重要標(biāo)志,對提高人們的生活水平,促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展與經(jīng)濟增長,保障**安全等方法發(fā)揮著重要作用,微納制造技術(shù)是微傳感器、微執(zhí)行器、微結(jié)構(gòu)和功能微納系統(tǒng)制造的基本手段和重要基礎(chǔ)。基于半導(dǎo)體制造工藝的光刻技術(shù)是**常用的手段之一。對于納米孔的加工,常用的手段是先利用曝光負性光刻膠并顯影后得到微納尺度的柱狀結(jié)構(gòu),再通過金屬的沉積和溶膠實現(xiàn)圖形反轉(zhuǎn)從而得到所需要的納米孔。然而傳統(tǒng)的方法由于光刻過程中的散焦及臨近效應(yīng)等會造成曝光后的微納結(jié)構(gòu)側(cè)壁呈現(xiàn)一定的角度(如正梯形截面),這會造成蒸發(fā)過程中的掛壁嚴重從而使lift-off困難。同時由于我們常用的高分辨的負膠如hsq,在去膠的過程中需要用到危險的氫氟酸,而氫氟酸常常會腐蝕石英,氧化硅等襯底從而影響器件性能,特別的,對于跨尺度高精度納米結(jié)構(gòu)的制備在加工效率和加工能力方面面臨著很大的挑戰(zhàn)。 銅陵半導(dǎo)體剝離液銷售公司什么制程中需要使用剝離液。
需要說明的是,本發(fā)明剝離液中,推薦*由上述成分構(gòu)成,但只要不阻礙本發(fā)明的效果,可以含有例如聚氧化烯烷基醚系、硅系的消泡劑等其它成分。以上說明的本發(fā)明剝離液可以通過將上述成分溶于水中來制備。需要說明的是,本發(fā)明剝離液的ph若為堿性則沒有特別限定,但通常**將上述成分溶于水就成為堿性,因此沒有特別必要調(diào)整ph。另外,本發(fā)明剝離液可以通過將上述成分分別分開預(yù)先溶于水,成為抗蝕劑的剝離液套件,將它們混合來制備。具體來說,可以舉出以包含含有鉀鹽的第1液和含有溶纖劑的第2液為特征的抗蝕劑的剝離液套件、其中還包含含有硅酸鹽的第3液的抗蝕劑的剝離液套件、進而在其中使上述其它成分適當(dāng)含有于各液中的抗蝕劑的剝離液套件等。通過使用本發(fā)明剝離液對施加有抗蝕劑的基材進行處理,抗蝕劑被細小地粉碎。
所述卷邊輥與所述膠面收卷輥通過皮帶連接,所述收卷驅(qū)動電機與所述膠面收卷輥通過導(dǎo)線連接。進一步的,所述電加熱箱與所述干燥度感應(yīng)器通過導(dǎo)線連接,所述電氣控制箱與所述液晶操作面板通過導(dǎo)線連接。進一步的,所述主支撐架由合金鋼壓制而成,厚度為5mm。進一步的,所述干燥度感應(yīng)器與所述電氣控制箱通過導(dǎo)線連接。進一步的,所述防濺射擋板共有兩塊,傾斜角度為45°。進一步的,所述電氣控制箱與所述表面印刷結(jié)構(gòu)通過導(dǎo)線連接,所述電氣控制箱與所述膠面剝離結(jié)構(gòu)通過導(dǎo)線連接。本技術(shù)的有益效果在于:采用黏合方式對印刷品膠面印刷進行剝離,同時能夠?qū)τ∷⑵纺z面進行回收,節(jié)約了大量材料,降低了生產(chǎn)成本。龍騰光電用的哪家的剝離液?
隨著國內(nèi)電子制造產(chǎn)業(yè)和光電產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,光刻膠剝離液等電子化學(xué)品的使用量也大為増加。特別是縱觀近幾年度的光電行業(yè),風(fēng)靡全球的智能手持設(shè)備、移動終端等簡直成為了光電行業(yè)的風(fēng)向標(biāo):與之相關(guān)的光電領(lǐng)域得到了飛速的發(fā)展,鏡頭模組、濾光片、LTPS液晶顯示面板、觸摸屏幕、傳感器件等等。而光電行業(yè)的其他領(lǐng)域,雖然也有增長,但是遠不及與智能手持設(shè)備相關(guān)的光電領(lǐng)域。工業(yè)上所使用的剝離液主要是有機胺和極性有機溶劑的組合物,通過溶脹和溶解方式剝離除去光刻膠。上述有機胺可包括單乙醇胺(MEA),二甲基乙酰胺(DMAC),N-甲基甲酰胺(NMF),N-甲基ニ乙醇胺(MDEA)等。上述極性有機溶劑可包括二乙二醇甲醚(DGME),二乙二醇單丁醚(BDG),二甲亞砜(DMS0),羥乙基哌嗪(NEP)等。由于LCD液晶屏具有體積小、質(zhì)量輕、清晰度高、圖像色彩好等優(yōu)點,被廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)中,按目前使用的液晶電視、電腦顯示屏等生命周期為6-8年計算,未來隨著年代的更替,LCD的生產(chǎn)量液將會增加,從而導(dǎo)致剝離液的使用量也大量增加,剝離液大量使用的同時也產(chǎn)生大量剝離液廢液。剝離液廢液中除了含有少量高分子樹脂和光敏劑外。 蘇州剝離液哪家好?;深圳鋁鉬鋁蝕刻液剝離液訂做價格
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本技術(shù)通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)上述目的:一種印刷品膠面印刷剝離復(fù)合裝置,包括主支撐架、橫向支架、伺服變頻電機、電機減速箱、印刷品放置箱、表面印刷結(jié)構(gòu)、膠面剝離結(jié)構(gòu),所述主支撐架上方設(shè)置有所述橫向支架,所述橫向支架上方設(shè)置有所述伺服變頻電機,所述伺服變頻電機上方設(shè)置有所述電機減速箱,所述電機減速箱上方安裝有印刷品傳送帶,所述印刷品傳送帶一側(cè)安裝有所述印刷品放置箱,所述印刷品放置箱一側(cè)安裝有所述表面印刷結(jié)構(gòu),所述表面印刷結(jié)構(gòu)上方設(shè)置有油墨放置箱,所述油墨放置箱下方安裝有油墨加壓器,所述油墨加壓器下方安裝有高壓噴頭,所述高壓噴頭一側(cè)安裝有防濺射擋板。南通剝離液聯(lián)系方式