Nanoscribe獨有的體素調諧技術2GL®可以在確保優(yōu)越的打印質量的同時兼顧打印速度,實現(xiàn)自由曲面微光學元件通過3D打印精確對準到光纖或光子芯片的光學軸線上。NanoscribeQX平臺打印系統(tǒng)配備光纖照明單元用于光纖芯檢測,確保打印精細對準到光纖的光學軸線上。共焦檢測模塊用于3D基板拓撲構圖,實現(xiàn)在芯片的表面和面上的精細打印對準。Nanoscribe灰度光刻3D打印技術3Dprintingby2GL®是市場上基于2PP原理微納加工技術中打印速度**快的。其動態(tài)體素調整需要相對較少的打印層次,即可實現(xiàn)具有光學級別、光滑以及納米結構表面打印結果。這意味著在滿足苛刻的打印質量要求的同時,其打印速度遠遠超過任何當前可用的2PP三維打印系統(tǒng)。2GL®作為市場上快的增材制造技術,非常適用于3D納米和微納加工,在滿足優(yōu)越打印質量的前提下,其吞吐量相比任何當前雙光子光刻系統(tǒng)都高出10到60倍。Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司為您解析雙光子灰度光刻技術。江蘇進口灰度光刻系統(tǒng)
微透鏡陣列對表面質量和形貌要求比較高,因此對制備工藝提出了很嚴格的要求??蒲腥藛T提出了許多方法來實現(xiàn)具有高表面質量的微透鏡陣列的高效制備,比如針對柔性材料的熱壓印成型方法實現(xiàn)了大面積微透鏡陣列;利用灰度光刻工藝和轉印方法在柔性的聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)襯底上實現(xiàn)了微透鏡陣列;利用光刻和熱回流方式實現(xiàn)了基于聚二甲基硅氧烷材料的微透鏡陣列等。上述方法可以實現(xiàn)具有較高表面質量的微透鏡陣列,但通常需要使用復雜的工藝和步驟。此外,這些微透鏡基質通常為軟質材料,材料本身的機械抗性和耐酸堿的能力比較差。相對而言,透明硬脆材料例如石英、藍寶石等由于其極高的硬度和極強的化學穩(wěn)定性,在光學窗口、光學元件等方面的應用更加廣。因此,如何制備具有高表面質量的透明硬脆材料微透鏡陣列等微光學元件成為研究人員研究的焦點。山東超高速灰度光刻無掩光刻Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司帶您一起了解雙光子灰度光刻系統(tǒng)的應用。
近年來,實現(xiàn)微納尺度下的3D灰度光刻結構在包括微機電(MEMS)、微納光學及微流控研究領域內備受關注,良好的線性側壁灰度結構可以很大程度上提高維納器件的靜電力學特性,信號通訊性能及微流通道的混合效率等。相比一些獲取灰度結構的傳統(tǒng)手段,如超快激光刻蝕工藝、電化學腐蝕或反應離子刻蝕等,灰度直寫圖形曝光結合干法刻蝕可以更加方便地制作任意圖形的3D微納結構。該方法中,利用微鏡矩陣(DMD)開合控制的激光灰度直寫曝光表現(xiàn)出更大的操作便捷性、易于設計等特點,不需要特定的灰度色調掩膜版,結合軟件的圖形化設計可以直觀地獲得灰度結構。
Nanoscribe的雙光子灰度光刻激光直寫技術(2GL®)可用于工業(yè)領域2.5D微納米結構原型母版制作。2GL通過創(chuàng)新的設計重新定義了典型復雜結構微納光學元件的微納加工制造。該技術結合了灰度光刻的出色性能,以及雙光子聚合的亞微米級分辨率和靈活性。而且GT2使用雙光子聚合(2PP)來產(chǎn)生幾乎任何3D形狀:晶格、木堆型結構、自由設計的圖案、順滑的輪廓、銳利的邊緣、表面的和內置倒扣以及橋接結構。PhotonicProfessionalGT2結合了設計的靈活性和操控的簡潔性,以及普遍的材料-基板選擇。因此,它是一個理想的科學儀器和工業(yè)快速成型設備,適用于多用戶共享平臺和研究實驗室。Nanoscribe的3D無掩模光刻機目前已經(jīng)分布在30多個國家的前沿研究中,超過1,000個開創(chuàng)性科學研究項目是這項技術強大的設計和制造能力的特別好證明?;叶裙饪碳夹g可降低成本和提高生產(chǎn)效率。
Nanoscribe成立于2007年,是卡爾斯魯厄理工學院(KIT)的衍生公司。Nanoscribe憑借其過硬的技術背景和市場敏銳度奠定了其市場優(yōu)先領導地位,并以高標準來要求自己以滿足客戶的需求。Nanoscribe將在未來在基于雙光子聚合技術的3D微納加工系統(tǒng)基礎上進一步擴大產(chǎn)品組合實現(xiàn)多樣化,以滿足不用客戶群的需求。Nanoscribe雙光子灰度光刻系統(tǒng)QuantumX,Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)建的工業(yè)級雙光子灰度光刻無掩模光刻系統(tǒng)QuantumX,適用于制造微光學衍射以及折射元件。Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)作工業(yè)級雙光子灰度光刻無掩模光刻系統(tǒng)QuantumX,適用于制造微光學衍射以及折射元件?;叶裙饪碳夹g具有高精度、高效率的特點。天津超高速灰度光刻微納加工系統(tǒng)
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在雙光子灰度光刻工藝中,激光功率調制和動態(tài)聚焦定位在高掃描速度下可實現(xiàn)同步進行,以便對每個掃描平面進行全體素大小控制。Nanoscribe稱,QuantumX在每個掃描區(qū)域內可產(chǎn)生簡單和復雜的光學形狀,具有可變的特征高度。離散和精確的步驟,以及本質上為準連續(xù)的形貌,可以在一個步驟中完成打印,而不需要多步光刻或多塊掩模制造。QuantumX支持多種類型襯底,包括透明和不透明的襯底,可用于比較大尺寸為6英寸的晶圓。Nanoscribe展示了其公司易于操作的光刻機,允許高縱橫比,支持高結構,無需掩模、旋涂和預烘烤或后烘烤。江蘇進口灰度光刻系統(tǒng)