超精密平而研磨是超精密加工中重要的方法之一，在制造業(yè)占有非常重要的地位且有著廣闊的市場需求，光學(xué)鏡而、計(jì)算機(jī)芯片、量塊等都是使用超精密平而研磨加工出來的。超精密平而研磨過程中，如果研磨工藝參數(shù)配置不合理，如研磨壓力選用不合適、磨盤硬度選用不合理、磨料尺寸分散性較大等，都會影響工件的加工效率及加工質(zhì)量。研磨壓力是影響研磨加工的效率的主要因素，同時(shí)對加工質(zhì)量也有影響。其它條件一致的前提下，如果研磨壓力在一定范圍內(nèi)增大，工件表面磨粒劃痕相對深一些，表而粗糙度也會變大，但當(dāng)研磨壓力增加到一定程度后，表而粗糙度不再隨壓力增加發(fā)生變化而基木保持不變。研磨效率隨著研磨壓力地增大而基木成正比地提高，但是研磨壓力也不可以無限制地增加，過大的壓力可能引起試件的破碎以及磨粒的壓碎等問題。研磨的作用是會隨著研磨壓力的提高而增加，在平面研磨機(jī)進(jìn)行研磨時(shí)，壓力增加后，磨粒的嵌進(jìn)工件比較深，切屑也會增加，在研磨壓力應(yīng)用范圍內(nèi)，研磨壓力主要是通過人力或者是機(jī)械方方通過重量壓力所產(chǎn)生的。研磨壓力需要作者精細(xì)調(diào)整，均勻分布在整個(gè)加工面上，力主要是作用在工件表面和磨盤之間，可以有效避免工件產(chǎn)生變形。 通常研具的精度是零件精度的三倍以上。湖南五金精密磨平面

    根據(jù)螺旋槽間距不同設(shè)置不同的磨盤轉(zhuǎn)速(假如要加工2mm間距螺旋槽，則磨盤轉(zhuǎn)速調(diào)整為40rpm)，然后依次啟動(dòng)磨盤與修面機(jī)，建議加工螺旋槽時(shí)修面機(jī)由磨盤中心向磨盤外圓方向運(yùn)行?！澳ケP啟動(dòng)”鍵，界面將會跳回可視化運(yùn)行狀態(tài)窗口。1：選擇“自動(dòng)參數(shù)”進(jìn)入配方編輯界面，依次輸入配方名，磨盤速度，研磨時(shí)間，壓力，磨液型號，然后點(diǎn)擊下載，參數(shù)將會自動(dòng)保存并下載到PLC中，按下“磨盤啟動(dòng)”鍵，界面跳回可視化運(yùn)行狀態(tài)窗口，加工到達(dá)設(shè)定的研磨時(shí)間，磨盤停止工作并報(bào)警，同時(shí)3個(gè)工位的砝碼裝置將自動(dòng)上升。2攪拌滴液系統(tǒng)：由有機(jī)玻璃桶、有機(jī)玻璃蓋、減速機(jī)和攪拌桿、滴液管組成，它的工作原理是攪拌啟動(dòng)研磨液會自動(dòng)能過滴液管流到研磨盤上，根據(jù)要求可調(diào)節(jié)流量大小(具體調(diào)節(jié)見滴液泵說明書)。3氣缸升降操作：工件研磨(或拋光)的壓力是由砝碼提供，其升降運(yùn)動(dòng)由氣缸實(shí)現(xiàn)，每工位的氣缸單獨(dú)控制，頂架上的手動(dòng)閥和啟動(dòng)按鈕分別控制相對應(yīng)的氣缸進(jìn)行上升或下降動(dòng)作。初次操作時(shí)應(yīng)注意調(diào)整氣缸(或砝碼)的中心與產(chǎn)品冶具的中心相是否同心，使砝碼的定位止口能順利配合進(jìn)入工件冶具的定位孔。4研磨流程操作：該界面可設(shè)定多組參數(shù)，滿足不同的工藝要求。

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    什么機(jī)器適合加工藍(lán)寶石？藍(lán)寶石就是氧化鋁，硬度9。普通研磨材料難以加工。因此現(xiàn)在一般都用金剛石做研磨材料。粗磨一般用電鍍金剛石平面磨盤。研磨用樹脂結(jié)合劑的金剛石軟磨片，逐級增大目數(shù)直到3000目換BUFF片?？梢杂貌驾喭拷饎偸心ジ噙M(jìn)行拋光。金剛石顆粒有極強(qiáng)的研磨性，前一級的大顆粒的金剛石碎屑必須仔細(xì)去除，避免帶入下一級研磨中。否則會出現(xiàn)難以去除的劃痕。對于數(shù)量較少的情況下，一般可以采用一般的平面拋光機(jī)或者平面拋光設(shè)備來加工。若需要加工雙面，也可以采用這一類型的藍(lán)寶石拋光機(jī)。他們的好處就是操作便利。當(dāng)需要對LED藍(lán)寶石襯底雙面研磨或拋光進(jìn)行批量雙面加工時(shí)，一般采用較大型號的雙面拋光機(jī)來充當(dāng)藍(lán)寶石的拋光機(jī)。它一次性加工數(shù)量要在40片以上，一般適合加工厚度在5u以上的藍(lán)寶石片。上下平面的平行度也很高。批量生產(chǎn)LED藍(lán)寶石襯底除了可以采用雙面拋光機(jī)，還可以采用新開發(fā)的藍(lán)寶石的拋光機(jī)新系列設(shè)備。該套設(shè)備包含藍(lán)寶石貼片機(jī)、藍(lán)寶石的拋光機(jī)，其貼片研磨拋光過程都經(jīng)過了更加嚴(yán)密的設(shè)計(jì)與開發(fā)，是韓國進(jìn)口藍(lán)寶石的拋光機(jī)低成本的優(yōu)先設(shè)備。對于一些研究所，批量生產(chǎn)不是必須，但更精密加工是他們的關(guān)注點(diǎn)。

    超精密雙面拋光加工應(yīng)用化學(xué)機(jī)械拋光(cNrn)技術(shù)，靠工件、磨粒、拋光液及拋光盤的力學(xué)作用，在工件的拋光過程中，產(chǎn)生局部的高溫和高壓，從而使直接的物理化學(xué)變化直接發(fā)生在工件與磨粒、拋光液及拋光盤之間，導(dǎo)致工件的表面產(chǎn)生物理化學(xué)變化的反應(yīng)物。由于力學(xué)作用與化學(xué)作用的重迭，使得工件表面的反應(yīng)物不斷被磨去，從而使工件表面平滑化。雙面拋光技術(shù)是在單面拋光加工技術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，由于它在薄片工件的加工過程中能有效地避免應(yīng)力差與粘結(jié)誤差引起的變形問題。因此與單面拋光加工相比，雙面拋光具有加工效率高，表面變形小，易獲得超光滑加工表面的優(yōu)點(diǎn)。一般的超精密雙面拋光系統(tǒng)是由承載工件和下拋光盤的工作臺、施加載荷的上拋光盤、帶動(dòng)工件旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的行星輪以及供給拋光液的裝置四大構(gòu)件組成，在雙面拋光的過程中，由于拋光液與拋光墊之間的物理運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)致拋光液內(nèi)部的化學(xué)溶液以及磨粒于工件產(chǎn)生化學(xué)變化，同時(shí)在上拋光盤對工件的旋轉(zhuǎn)壓力的作用下，使工件表面產(chǎn)生的化學(xué)反應(yīng)物得到切除。其原理就是，在不斷的化學(xué)變化中工件表面生成一種化學(xué)膜，同時(shí)由于旋轉(zhuǎn)機(jī)械摩擦切除作用去除這一層化學(xué)膜，在不停地交替中獲得超精密表面。 當(dāng)磨粒粒度確定后，對于某一確定單位研磨壓力，有一個(gè)產(chǎn)生比較大生產(chǎn)率的磨料濃度。

    1操作前的準(zhǔn)備工作，導(dǎo)輪處于良好的轉(zhuǎn)動(dòng)狀態(tài)，擋圈與導(dǎo)輪完好配合。并啟動(dòng)攪拌器，同時(shí)觀察研磨液是否充分?jǐn)嚢杈鶆?，清理磨盤表面物體并將表面清洗干凈。須檢查直線導(dǎo)軌是否運(yùn)行良好并處于可控狀態(tài)。2修面操作，如果需要更好的修面效果，須把主軸調(diào)到最高轉(zhuǎn)速,同時(shí)減小修面機(jī)的運(yùn)行速度。然后啟動(dòng)修面機(jī)前進(jìn)，此時(shí)修面機(jī)刀架往研磨盤中間移動(dòng)，當(dāng)?shù)都芤浦裂心ケP邊緣正上方時(shí)，按下修面機(jī)停止按鈕，此時(shí)修面機(jī)刀架停止移動(dòng)。研磨盤的旋轉(zhuǎn)方向?yàn)槟鏁r(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，所以修面刀的刃口應(yīng)與研磨盤的旋轉(zhuǎn)方向相反。左手持修面刀，刀頭朝下，刃口朝右手邊，然后輕輕放入刀夾槽內(nèi)，靠修面刀自身的重力讓刀尖與研磨盤面接觸，(我們通常把接觸到的這一點(diǎn)叫作零點(diǎn))。然后固定修面刀(鎖緊刀槽側(cè)面的固定螺釘)，修面刀安裝完成，由于修面刀的刀頭為金剛石材質(zhì)，所以比較脆，在安裝修面刀的時(shí)候一定要小心謹(jǐn)慎。刀架上的千分尺是用來調(diào)節(jié)切削量的，與常規(guī)千分尺的讀數(shù)方法相同，只要用手逆時(shí)鐘方向旋動(dòng)千分尺，修面刀就會往上移動(dòng)，稱之為退刀，相反順時(shí)鐘方向旋動(dòng)千分尺，修面刀就會往下移動(dòng)，稱之為進(jìn)刀。(注意：粗修的比較大進(jìn)刀量不能超過150um。精修的進(jìn)刀量推薦20um。

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    粗光的加方法通常是采用經(jīng)過校正后的嵌好沙的研磨盤研具，敷涂上，需要將洗凈了的粗研過的工件放在輻板孔中，然后以適當(dāng)壓力進(jìn)行研磨加工、精密研磨。通過本工序的加工，工件的幾何形狀的精度和表面的光潔度獲得的較明顯的提高，這也為下一道工序做好了準(zhǔn)備，工序中所預(yù)留的加工余量為。003毫米左右。進(jìn)行半精研磨時(shí)，其加工方法與上一道工序相類似，所不同的是采用的金剛石粉研磨膏為W1，通常加工中預(yù)留量為1到。平面研磨機(jī)中的精研磨的加工方法與第三道工序有所不同的是研具嵌砂粒度為W1~，所采用的研磨劑是，這道工序又分為去余量的研磨和精密研磨兩個(gè)分工加工，其中，去余量的研磨的分工序其加工留量一般為，所達(dá)到的工件表面光潔度為▽13，而終精研磨除了表面光潔度可達(dá)到▽14級以外。還需要的達(dá)到量塊所規(guī)定的國家標(biāo)準(zhǔn)的各項(xiàng)精度要求。 湖南五金精密磨平面