蝕刻加工就是對(duì)金屬進(jìn)行定制加工的一門工藝手段,通常也稱為光化學(xué)蝕刻,是指通過(guò)曝光制版、顯影后,將要蝕刻區(qū)域的保護(hù)膜去除,再蝕刻是接觸化學(xué)溶液,達(dá)到溶解腐蝕的作用,形成凹凸或者鏤空成型的效果。剛開(kāi)始,蝕刻這一技術(shù)在國(guó)內(nèi)并不發(fā)達(dá),主要是依賴日本和歐美,以至于人工和成本很高。隨著經(jīng)濟(jì)技術(shù)的迅速發(fā)展,再加上國(guó)內(nèi)的人工,材料等成本比日本,歐美更具有優(yōu)勢(shì),以至于蝕刻技術(shù)的應(yīng)用在國(guó)內(nèi)越來(lái)越普遍,蝕刻廠家也是越來(lái)越多,競(jìng)爭(zhēng)也是越來(lái)越激烈。堿性蝕刻液的密度太低會(huì)加重側(cè)蝕,選用高銅濃度的蝕刻液對(duì)減少側(cè)蝕是有利的。安徽卷料蝕刻價(jià)錢
濕式蝕刻之所以在微電子制作過(guò)程中被普遍的采用乃由于其具有低成本、高可靠性、高產(chǎn)能及優(yōu)越的蝕刻選擇比等優(yōu)點(diǎn)。但相對(duì)于干式蝕刻,除了無(wú)法定義較細(xì)的線寬外,濕式蝕刻仍有以下的缺點(diǎn):1) 需花費(fèi)較高成本的反應(yīng)溶液及去離子水;2) 化學(xué)藥品處理時(shí)人員所遭遇的安全問(wèn)題;3) 光阻附著性問(wèn)題;4) 氣泡形成及化學(xué)蝕刻液無(wú)法完全與晶圓表面接觸所造成的不完全及不均勻的蝕刻;5) 廢氣及潛在的炸裂性。濕式蝕刻過(guò)程可分為三個(gè)步驟:1) 化學(xué)蝕刻液擴(kuò)散至待蝕刻材料之表面;2) 蝕刻液與待蝕刻材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng); 3) 反應(yīng)后之產(chǎn)物從蝕刻材料之表面擴(kuò)散至溶液中,并隨溶液排出(3)。三個(gè)步驟中進(jìn)行較慢者為速率控制步驟,也就是說(shuō)該步驟的反應(yīng)速率即為整個(gè)反應(yīng)之速率。安徽卷料蝕刻價(jià)錢當(dāng)側(cè)蝕和突沿降低時(shí),蝕刻系數(shù)就升高,高的蝕刻系數(shù)表示有保持細(xì)導(dǎo)線的能力。
化學(xué)蝕刻技術(shù)之特性 ? 不需要電極、母型 (master) 等工具,故無(wú)需此等工具之維護(hù)費(fèi)。 ? 由規(guī)劃到生產(chǎn)間所需時(shí)間短,可作短期加工。 ? 材料之物理、機(jī)械性質(zhì)不受加工影響。 ? 加工不受形狀、面積、重量之限制。 ? 加工不受硬度、脆性之限制。 ? 能對(duì)所有金屬 ( 鐵、不銹鋼、鋁合金、銅合金、鎳合金、鈦、史泰勒合金 ) 實(shí)施加工。 ? 可高精度加工。 ? 可施復(fù)雜、不規(guī)則、不連續(xù)之設(shè)計(jì)加工。 ? 面積大,加工效率良好,但小面積時(shí),其效率比機(jī)機(jī)械加工差。 ? 水平向之切削易得高精度,但深度、垂直方向不易得到同機(jī)機(jī)械加工之精度。 ? 被加工物之組成組織宜均勻,對(duì)不均質(zhì)材,不易加工順利。
蝕刻技術(shù): 利用對(duì)金屬表面的侵蝕作用,從金屬表面去除金屬的處理技術(shù)。 (1) 電解蝕刻 (electrolytic etching) 用母模作導(dǎo)電性陰極,以電解液作媒介,對(duì)加工部分,集中實(shí)施蝕刻的侵蝕去除法。 (2) 化學(xué)蝕刻 (chemical etching) 利用耐藥品被膜,把蝕刻侵蝕去除,作用集中于所要部位的方法。 照相蝕刻技術(shù) (photo-etching process) 在金屬表面全方面均勻形成層狀的感旋光性耐藥品被膜 (photo resist) ,而透 過(guò)原圖底片,用紫外線等曝光,后施以顯像處理,來(lái)形成所要形狀的耐藥品被膜之被覆層,再以蝕刻浴的酸液或堿液,對(duì)露出部產(chǎn)生化學(xué)或電化學(xué)侵蝕作用,來(lái)溶解金屬的加工技術(shù)。用傳統(tǒng)的酸性蝕刻會(huì)使截面呈現(xiàn)弧形,如果用堿性蝕刻得到的截面是一種近似于55度的斜邊。
蝕刻加工過(guò)程中的精度和側(cè)蝕問(wèn)題介紹:蝕刻加工在工藝中,除不經(jīng)任何防蝕處理的整體蝕刻方法外,都必須要注意防蝕層下蝕刻的“蔓延”問(wèn)題,也就是我們常說(shuō)的側(cè)腐蝕。側(cè)腐蝕的大小直接關(guān)系到圖文的精度和蝕刻線條的極限尺寸。通常把防蝕層下的水平方向的蝕刻寬度A稱為側(cè)蝕量,側(cè)蝕量A與蝕刻深度H的比值就是側(cè)蝕率F: 蝕刻的精度和側(cè)蝕問(wèn)題介紹:F=A/H式中:A為側(cè)蝕刻量(mm),H為蝕刻深度(mm);F為側(cè)蝕刻率或腐蝕因素,用以表示不同條件下側(cè)蝕刻量與蝕刻深度之間的關(guān)系。 以上有關(guān)圓弧R的大小受蝕刻深度,被蝕刻窗口的較小寬度與蝕刻深度的比值、蝕刻液的組成、蝕刻方法及材料種類等的影響較大。側(cè)蝕刻的量決定了化學(xué)蝕刻的精度,側(cè)蝕量越小,加工的精度越高,適用的范圍就越寬,反之,加工的精度低,適用范圍小。 側(cè)蝕量的大小主要受金屬材料的影響,在常用的幾種金屬材料中,以銅的側(cè)蝕量較小,鋁的側(cè)蝕量較大。選擇更為優(yōu)越的蝕刻劑,雖然蝕刻的速度提高并不明顯,但的確可改善金屬蝕刻加工的側(cè)蝕量。這類設(shè)備通常所使用的加工方法,都具有恒定壓力的噴射裝置。安徽卷對(duì)卷蝕刻加工廠家直銷
在連續(xù)的板子蝕刻中,蝕刻加工速率越一致,越能獲得均勻蝕刻的板子。安徽卷料蝕刻價(jià)錢
不銹鋼有兩百多種,只有部門品種可以用在海水淡化工程。海水淡化工程所用的不銹鋼要求其在各種復(fù)雜環(huán)境下的良好耐侵蝕性。奧氏體不銹鋼316L和317是制造海水淡化設(shè)備較主要的材料。316L可以經(jīng)受住海洋環(huán)境下的侵蝕,但是長(zhǎng)期浸在海水中會(huì)泛起點(diǎn)蝕和縫隙侵蝕。在處理熱濃縮海水的海水淡化設(shè)備中使用的不銹鋼,其在含氯離子環(huán)境下的點(diǎn)蝕長(zhǎng)短常值得留意的。盡管熱海水缺氧降低了點(diǎn)侵蝕的趨勢(shì),且316L不銹鋼是蒸發(fā)器的傳統(tǒng)材料,但是大多現(xiàn)代多級(jí)閃蒸海水淡化裝置(MSF)不使用316L不銹鋼,而大多海水淡化設(shè)備出產(chǎn)商開(kāi)始采用雙相不銹鋼作為替換材料。安徽卷料蝕刻價(jià)錢
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