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寧波卷對(duì)卷蝕刻加工咨詢(xún)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2021-11-24

蝕刻加工中常見(jiàn)的問(wèn)題有: 1.形成凹坑主要是因?yàn)槲g刻液中AI3+濃度及NaOH濃度太高,處理的方法就是稀釋蝕刻液,降低濃度。 2.邊緣輪廓線不清楚,這種情況是因?yàn)榱慵砻嬲次?,如手印、化學(xué)污染、氧化膜、防蝕層邊緣不清晰等,還有就是蝕刻液濃度不在工藝規(guī)定范圍內(nèi),這種情況下首先需要加強(qiáng)各工序管理,防止二次污染,在蝕刻之前對(duì)防蝕層檢查要嚴(yán)格,其次分析調(diào)整蝕刻液各成分至工藝規(guī)定范圍。 3.粗糙的蝕刻表面,被蝕刻加工表面有溝槽、留痕及點(diǎn)蝕,其主要原因是蝕刻液中AI3+濃度太高,NaOH濃度太高或太低,蝕刻后酸洗后,漂洗不凈,糾正的方法就是分析調(diào)整蝕刻液各成份濃度到工藝規(guī)定范圍,加強(qiáng)酸洗后的水洗質(zhì)量?;瘜W(xué)蝕刻加工使斷面形成直邊的能力,主要取決于蝕刻加工所使用的設(shè)備。寧波卷對(duì)卷蝕刻加工咨詢(xún)

蝕刻加工就是對(duì)金屬進(jìn)行定制加工的一門(mén)工藝手段,通常也稱(chēng)為光化學(xué)蝕刻,是指通過(guò)曝光制版、顯影后,將要蝕刻區(qū)域的保護(hù)膜去除,再蝕刻是接觸化學(xué)溶液,達(dá)到溶解腐蝕的作用,形成凹凸或者鏤空成型的效果。剛開(kāi)始,蝕刻這一技術(shù)在國(guó)內(nèi)并不發(fā)達(dá),主要是依賴(lài)日本和歐美,以至于人工和成本很高。隨著經(jīng)濟(jì)技術(shù)的迅速發(fā)展,再加上國(guó)內(nèi)的人工,材料等成本比日本,歐美更具有優(yōu)勢(shì),以至于蝕刻技術(shù)的應(yīng)用在國(guó)內(nèi)越來(lái)越普遍,蝕刻廠家也是越來(lái)越多,競(jìng)爭(zhēng)也是越來(lái)越激烈。蘇州卷對(duì)卷蝕刻加工質(zhì)量怎么樣板子上下兩面以及板面上各個(gè)部位的蝕刻均勻性是由板子表面受到蝕刻劑流量的均勻性決定的。

濕式蝕刻之所以在微電子制作過(guò)程中被普遍的采用乃由于其具有低成本、高可靠性、高產(chǎn)能及優(yōu)越的蝕刻選擇比等優(yōu)點(diǎn)。但相對(duì)于干式蝕刻,除了無(wú)法定義較細(xì)的線寬外,濕式蝕刻仍有以下的缺點(diǎn):1) 需花費(fèi)較高成本的反應(yīng)溶液及去離子水;2) 化學(xué)藥品處理時(shí)人員所遭遇的安全問(wèn)題;3) 光阻附著性問(wèn)題;4) 氣泡形成及化學(xué)蝕刻液無(wú)法完全與晶圓表面接觸所造成的不完全及不均勻的蝕刻;5) 廢氣及潛在的炸裂性。濕式蝕刻過(guò)程可分為三個(gè)步驟:1) 化學(xué)蝕刻液擴(kuò)散至待蝕刻材料之表面;2) 蝕刻液與待蝕刻材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng); 3) 反應(yīng)后之產(chǎn)物從蝕刻材料之表面擴(kuò)散至溶液中,并隨溶液排出(3)。三個(gè)步驟中進(jìn)行較慢者為速率控制步驟,也就是說(shuō)該步驟的反應(yīng)速率即為整個(gè)反應(yīng)之速率。

蝕刻加工劑的是三氯化鐵溶液。它的波美濃度值在蝕刻加工階段中極端關(guān)鍵,能夠直接影響到蝕刻加工的速度。合適的波美濃度值是38到40度兩者之間。精確測(cè)量濃度值的辦法是;將三氯化鐵溶液倒在細(xì)長(zhǎng)的量杯中,扎入波美計(jì),靠著液面的標(biāo)值便是它的波美濃度值。 現(xiàn)如今的波美濃度值是42度,有一些太濃,我們還能夠兌水進(jìn)行稀釋?zhuān)瑪嚢杈鶆蚝?,采樣重新進(jìn)行測(cè)量。若是波美濃度值太低,則可裝入高濃度的三氯化鐵溶液。波美濃度值分配合適后,倒進(jìn)蝕刻機(jī)的箱體內(nèi),把密封蓋蓋好。蝕刻過(guò)程中應(yīng)注意提高安全處理和蝕刻薄銅箔及薄層壓板的能力。

腐蝕劑的選擇都是根據(jù)加工材料的不同來(lái)覺(jué)定的,如:硅片是用氫氟酸和 HNO3,氧化硅片則是用氫氟酸和 NH4F ?;瘜W(xué)蝕刻加工集成電路時(shí),其蝕刻加工切口的幾何形狀和航空航天工業(yè)中的化學(xué)蝕刻切口幾何形狀沒(méi)有什么不同。但是它們兩者之間在蝕刻深度上差了好幾個(gè)數(shù)量級(jí),前者蝕刻深度不到1um。而后再可達(dá)幾毫米甚至更深。蝕刻加工的材料:蝕刻的材料可以分為金屬材料和非金屬材料.在這里我們所指的加工,是專(zhuān)對(duì)金屬材料的蝕刻加工,不同的金屬材料需要配專(zhuān)門(mén)用的藥的水.主要是以不銹鋼、銅、銅合金的蝕刻生產(chǎn),類(lèi)似鉬等特殊稀有金屬材料也可以加工。卷對(duì)卷蝕刻加工采用自動(dòng)定張力,自動(dòng)循邊及氣浮帶料搬送。蘇州卷對(duì)卷蝕刻加工質(zhì)量怎么樣

要達(dá)到這一要求,必須保證蝕刻液在蝕刻的全過(guò)程始終保持在的蝕刻狀態(tài)。寧波卷對(duì)卷蝕刻加工咨詢(xún)

通常印制板在蝕刻液中的時(shí)間越長(zhǎng),(或者使用老式的左右搖擺蝕刻機(jī))側(cè)蝕越嚴(yán)重。側(cè)蝕嚴(yán)重影響印制導(dǎo)線的精度,嚴(yán)重側(cè)蝕將使制作精細(xì)導(dǎo)線成為不可能。當(dāng)側(cè)蝕和突沿降低時(shí),蝕刻系數(shù)就升高,高的蝕刻系數(shù)表示有保持細(xì)導(dǎo)線的能力,使蝕刻后的導(dǎo)線接近原圖尺寸。電鍍蝕刻抗蝕劑無(wú)論是錫-鉛合金,錫,錫-鎳合金或鎳,突沿過(guò)度都會(huì)造成導(dǎo)線短路。因?yàn)橥谎厝菀讛嗔严聛?lái),在導(dǎo)線的兩點(diǎn)之間形成電的橋接。在連續(xù)的板子蝕刻中,蝕刻速率越一致,越能獲得均勻蝕刻的板子。要達(dá)到這一要求,必須保證蝕刻液在蝕刻的全過(guò)程始終保持在較佳的蝕刻狀態(tài)。這就要求選擇容易再生和補(bǔ)償,蝕刻速率容易控制的蝕刻液。選用能提供恒定的操作條件和對(duì)各種溶液參數(shù)能自動(dòng)控制的工藝和設(shè)備。通過(guò)控制溶銅量,PH值,溶液的濃度,溫度,溶液流量的均勻性(噴淋系統(tǒng)或噴嘴以及噴嘴的擺動(dòng))等來(lái)實(shí)現(xiàn)。 寧波卷對(duì)卷蝕刻加工咨詢(xún)

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