氦質(zhì)譜檢漏儀的維護(hù)方法及常見(jiàn)故障的處理：一、機(jī)械維護(hù)，檢查泵的油量，如果低于低標(biāo)線，則加入泵油；如果變黑或渾濁，則更換泵。使用方法見(jiàn)機(jī)械泵說(shuō)明書。二、清洗，泄漏探測(cè)器沒(méi)有氦進(jìn)入，但有一定的泄漏率指示，長(zhǎng)期存在。這主要是由于檢漏口、波紋管、密封圈等被污染后吸附的氦氣，在檢漏時(shí)又被釋放，造成較大的底部。為防止油污、粉塵和雜物進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，在氦質(zhì)譜檢漏儀下方設(shè)置過(guò)濾器，將其拆下，用酒精浸泡清洗。檢查泄漏，用棉布擦拭波紋管。三、以下是常見(jiàn)的故障現(xiàn)象、原因及解決方法。斷電：1.電源線連接不當(dāng)；2、保險(xiǎn)管熔斷。3、重新接通電源。4.更換相同規(guī)格的保險(xiǎn)管。氦質(zhì)譜檢漏儀適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。嘉興便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀品牌推薦

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子，在室內(nèi)來(lái)回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng)，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。紹興移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀一臺(tái)多少錢氦質(zhì)譜檢漏儀是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器。

氦檢儀的撿漏方法有哪些？背壓法（壓氦法）真空模式。工件先在壓氦罐中打入高壓氦氣，迫使氦氣進(jìn)入泄漏工件，再放入檢漏罐中檢測(cè)是否有氦氣漏出?？筛鶕?jù)工件大小定制罐體大小?？蓹z測(cè)工件的整體漏點(diǎn)。檢測(cè)精度較高。適用行業(yè)：電子元器件，電子封裝等。氦質(zhì)譜檢漏背壓法優(yōu)點(diǎn)：檢測(cè)靈敏度高；可以進(jìn)行批量化檢測(cè)；一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。首先將儀器調(diào)整好，再將器件放入加壓罐內(nèi)壓入氦氣，氦氣進(jìn)入有漏孔的器件內(nèi)部，無(wú)漏孔的器件只是表面吸咐氦氣。器件加壓壓力和時(shí)間根據(jù)GB2423，2328文件而定，器件從加壓罐中取出后將表面吸咐的氦氣吹掉再放入檢漏夾具中抽空，待真空抽至設(shè)定值后自動(dòng)將夾具連至儀器的測(cè)量系統(tǒng)。這時(shí)壓入存在漏孔器件內(nèi)部的氦氣泄漏出來(lái)被檢測(cè)，其漏率在漏率表上顯示出來(lái)。一般壓氦法檢漏時(shí)采用排除法。在夾具中放一定數(shù)量的器件，這一批的總漏率沒(méi)超過(guò)報(bào)廢預(yù)定值，說(shuō)明這一批合格；總漏率超過(guò)報(bào)廢預(yù)定值可以取出一半，剩下的一半繼續(xù)檢漏，這一半合格說(shuō)明有漏的器件在取出的那一半中，依此檢漏直至檢出有漏孔的器件。

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺(tái)、電子束蒸發(fā)臺(tái)、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間，耗時(shí)耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染，對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過(guò)氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會(huì)失效。綜上所述，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。氨質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到普遍的應(yīng)用。

氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo)：1.可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s；2.漏率顯示范圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s；3.啟動(dòng)時(shí)間：≤5min；4.響應(yīng)時(shí)間：≤1s；5.檢漏口的壓力：1500Pa；6.電源要求：220v，50Hz，單相，10A；7.工作環(huán)境：5-35℃；8.相對(duì)濕度：≤80%；9.外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）；10.重量：64kg。使用環(huán)境：環(huán)境溫度：5～35℃；相對(duì)濕度：<80%；供電電壓：?jiǎn)蜗嘟涣?20V±10%，50Hz工作電流：10A。氦檢儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)。杭州多功能氦質(zhì)譜檢漏儀原理

掌握和了解氦檢儀常見(jiàn)故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開(kāi)展以及設(shè)備的保養(yǎng)。嘉興便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀品牌推薦

氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)檢漏方法的具體要求：1、檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；2、反應(yīng)時(shí)間短，可以提高工作效率；3、能定位、定量，不但能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質(zhì)量要求；4、能無(wú)損檢漏，不使被檢設(shè)備受到損傷和污染；5、穩(wěn)定性好，即可以在足夠長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)靈敏度穩(wěn)定可靠；6、所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無(wú)毒，不腐蝕零件；7、檢漏范圍大，從大漏孔到小漏孔都能檢測(cè)到，以減少檢漏設(shè)備的數(shù)量和費(fèi)用；8、檢漏時(shí)潔凈無(wú)油，滿足一些特殊的要求。嘉興便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀品牌推薦