氦檢儀在使用過程中需特別注意以下幾點：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi)，電壓過低儀器啟動困難，且性能不穩(wěn)定，電壓過高會燒壞電源，嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵，應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS)。②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉(zhuǎn)中，若搬動氦檢儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。③氦檢儀應(yīng)按照說明書的要求定期進行保養(yǎng)，保養(yǎng)的項目有更換機械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。④氦檢儀在運行了2000h后應(yīng)對前級泵進行維修和保養(yǎng)，運行7000h分子泵進行維護和保養(yǎng)。氦檢儀應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥氣路管道檢漏。溫州分體式氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢一臺

氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素，但通常選用氦氣，因為氦氣具有以下特性：①氦氣在空氣中的含量極少，只占約二十萬分之一，這樣氦氣的本底值就小，有利于發(fā)現(xiàn)極微量的氦氣;②氦分子小、質(zhì)量輕、易擴散、易穿越漏孔，易于檢測也易于清理;③氦離子荷質(zhì)比小，易于進行質(zhì)譜分析;④氦氣是惰性氣體，化學性質(zhì)穩(wěn)定，不會腐蝕和損傷任何設(shè)備;⑤氦氣無毒，不凝結(jié)，極難容于水。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)用于火力發(fā)電廠的檢漏工作,具有操作方便、靈敏度高和無損傷性等優(yōu)點,特別是可以在正常運行中準確快捷地對機組進行檢漏,減少停機帶來的經(jīng)濟損失。常州移動式氦質(zhì)譜檢漏儀費用檢漏過程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進人氦質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)立即移去吸口。

氦檢儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。靈敏度、反應(yīng)時間、清零時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦檢儀的主要性能指標。檢測氣體使用氦氣的主要原因如下：(1)對人體和自然環(huán)境沒有毒害；(2)不能燃燒，作業(yè)安全；(3)惰性氣體，和被檢測對象不會發(fā)生化學反應(yīng)；(4)分子直徑和質(zhì)量小，容易穿過微小縫隙，便于檢漏；(5)通常環(huán)境下保持氣體狀態(tài)，不會堵住微漏孔；(6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣；(7)氦氣在空氣中的存在量只為5ppm，容易定點查清漏氣位置。由于氦氣比空氣輕很多，向真空腔體噴氦氣檢漏時要從上往下依次操作，否則不利于判定漏點所在。當腔體構(gòu)造復雜，或漏率極小時，可針對重點部位用塑料袋套住，然后向塑料袋內(nèi)部充入氦氣，實現(xiàn)對特定重點部位的檢漏。

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導體設(shè)備檢漏。半導體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產(chǎn)過程中必須進行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。氦質(zhì)譜檢漏儀是以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。

氦檢儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。專業(yè)用于電廠檢漏的氦檢儀。關(guān)鍵部件均為進口，性能穩(wěn)定可靠。不只靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換。氦檢儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。寧波客制化氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家

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氦檢儀的組成部分有哪些？真空系統(tǒng)：冷阱。分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱。擴散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質(zhì)譜室、檢漏口與擴散泵之間，使三者被冷阱隔離，冷阱加入液氮后便可阻止擴散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進入質(zhì)譜室，保持質(zhì)譜室的清潔，并幫助擴散泵迅速獲得較高真空。檢漏閥。按在質(zhì)譜室和被檢件之間的管道上。真空規(guī)。一般采用冷陰極磁控放電真室規(guī)來測量質(zhì)譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測量被檢件的預抽壓力和系統(tǒng)的前級壓力的。標準漏孔。一般儀器內(nèi)都附有標準漏孔，用它來校準儀器的較小可檢漏率和對儀器輸出指示進行定標。溫州分體式氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢一臺