氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)：1.檢測時(shí)間和周期非常短，可以達(dá)到5s以內(nèi)；2.檢測的介質(zhì)比較常用，只需壓縮空氣即可；3.不會(huì)受到主觀因素判斷的影響；4.檢測的數(shù)據(jù)精確；5.自動(dòng)生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。氫質(zhì)譜檢漏儀能為不同的應(yīng)用提供不同的測試方法，含有渦輪分子泵、內(nèi)置機(jī)械泵、外置機(jī)械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。氨質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到普遍的應(yīng)用，例如，在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機(jī)、火箭、衛(wèi)星、飛機(jī)等這些都要用到真空檢漏技術(shù)。有些國家生產(chǎn)的氦檢儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果。杭州自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)

氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個(gè)大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢漏時(shí)所能檢測出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到穩(wěn)定值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動(dòng)態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時(shí)間不大于3s。所謂“可檢率”是指檢漏訊號(hào)為儀器本底噪聲的兩倍時(shí)，才能認(rèn)定有漏氣訊號(hào)輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內(nèi)輸出儀表的較大的波動(dòng)量，能較方便地估計(jì)檢漏效果。南京客制化氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家在結(jié)構(gòu)組成上，大部分氦檢儀就是由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的；

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺(tái)、電子束蒸發(fā)臺(tái)、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間，耗時(shí)耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染，對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會(huì)失效。綜上所述，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。

氦檢儀開機(jī)如何操作？1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級(jí)泵”，低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關(guān)，表頭示值也應(yīng)能抽到原來位置，再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴(kuò)散泵”，燈亮，擴(kuò)散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴(kuò)散泵排氣管應(yīng)熱，開冷規(guī)開關(guān)，“質(zhì)譜室壓強(qiáng)”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規(guī)，表頭指針應(yīng)從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時(shí)間開冷規(guī)，可等一會(huì)兒再開)，當(dāng)真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動(dòng)燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開、關(guān)漏孔檢查氦檢儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號(hào)指示Zda)，靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔。將工件用外接泵抽上真空后，開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對(duì)工件噴氦檢漏。檢漏完，關(guān)節(jié)流閥。氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素，但通常選用氦氣。

氦質(zhì)譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲，目前設(shè)備電子線路和電子元件的改進(jìn)，使得電路噪聲已經(jīng)降得很低，因此氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲成為影響設(shè)備性能的主要因素。而其本底噪聲的產(chǎn)生主要是由于本底峰的不穩(wěn)定造成的，主要形成的原因包括：一、離子源中的發(fā)射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數(shù)不穩(wěn)定。二、真空油脂、橡膠材料、有機(jī)絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣，而電離規(guī)，特別是磁放電真空規(guī)對(duì)氦有記憶效應(yīng)，其表面污染時(shí)就更為嚴(yán)重。三、抽氣系統(tǒng)中抽速不穩(wěn)定和氦的反擴(kuò)散。四、氦質(zhì)譜檢漏儀中空氣的本底影響。為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲，需要針對(duì)性的采取措施，如減少采用有機(jī)材料，不用磁放電規(guī)等。氦檢儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)。揚(yáng)州氦質(zhì)譜檢漏儀供應(yīng)商

利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。杭州自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)

氦檢儀測量數(shù)據(jù)處理：漏率示值誤差，①漏率的溫度修正，標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率易受溫度變化影響，溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響一般為3%/℃，所以如果實(shí)際環(huán)境溫度和標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中溫度不一致，需要將標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中漏率和標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦檢儀示值修正至同一環(huán)境溫度下來計(jì)算，并在測試結(jié)果中加以說明，修正方法如下:方法一:將標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中的漏率修正至實(shí)際環(huán)境溫度下，用標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響系數(shù)計(jì)算值；方法二:將標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦檢儀示值平均值修正至標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中環(huán)境溫度下，用標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦檢儀示值平均值加上或減去溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響系數(shù)計(jì)算值。杭州自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)

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