6.3.4潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚應滿足使用功能要求,且表面應平整、光滑。位于地下的技術層或技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當潔凈廠房設置外窗時,應采用雙層固定窗,并應有良好的氣密性,同時應采取防結露措施。6.3.6潔凈室(區(qū))門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設計應符合下列要求:1應滿足使用功能的要求,構造和施工縫隙應采取密閉措施;2頂棚以上的技術層或技術夾層宜設檢修通道,3潔凈室(區(qū))不宜設窗臺;4當地面采用活動地板時,活動地板材質和支撐方式應根據電子產品生產工藝要求選擇。6.3.7用于電子產品生產的潔凈室(區(qū))的墻板和頂棚,宜采用輕質壁板構造。潔凈區(qū)與室外的壓差不應小于10Pa。浙江實驗室環(huán)境潔凈室檢測服務至上
9.2.1潔凈室的照明一般要求照度高,但燈具安裝的數量受到送風風口數量和位置等條件的限制,這就要求在達到同一照度值情況下,安裝燈具的個數極少。熒光燈的發(fā)光效率一般是白熾燈的3倍~4倍,而且發(fā)熱量小,有利于空調節(jié)能。此外,潔凈室天然采光少,在選用光源時還需考慮它的光譜分布盡量接近于天然光,熒光燈基本能滿足這一要求。因此,目前國內外潔凈室一般均采用熒光燈作為照明光源。當有些潔凈室層高較高,采用一般熒光燈照明很難達到設計照度值,在此情況下,可采用其他光色好、光效更高的光源。由于某些生產工藝對光源光色有特殊要求,或熒光燈對生產工藝和測試設備有干擾時,也可采用其他形式光源。北京電子廠房環(huán)境潔凈室檢測值得推薦當產品要求潔凈度為100級時,選用層流流型;當產品要求潔凈度為1000~100000級時,選用亂流流型。
D.3.2靜壓差測試,應符合下列規(guī)定:1靜壓差的測定應在所有的門關閉時進行。2儀器宜采用各種型式的微壓計,儀表靈敏度應小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個潔凈室(區(qū))時,應從極里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始,并應按順序向外進行檢測。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測試,應符合下列規(guī)定:1儀器應使用采樣量大于11/mn的光學粒子計數器。2應在過濾器上風側引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子,粒子濃度應大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過濾器下風側應用粒子計數器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20~30mm處,并應以5~20mm/s速度移動。應檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。
10.3.1潔凈廠房內的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應根據各類產品生產工藝要求、供氣量和供氣品質等因素確定,并應符合下列規(guī)定:1供氣規(guī)模應按產品生產所需供氣量和計入必要損耗量確定,并應設有一定的備用供氣量;2供氣品質應根據生產工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定;3供氣系統(tǒng)可集中設置在潔凈廠房內的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站;4應選用能耗少、噪聲低的設備,宜選用無油潤滑空氣壓縮機,5含水量要求嚴格時,宜選用加熱再生吸附干燥裝置。為了達到規(guī)定的潔凈度級別,有效地控制微粒的污染。
空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量;3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調箱的正壓段;4高效(亞高效)空氣過濾器宜設置在凈化空調系統(tǒng)的末端;超高效空氣過濾器應設置在凈化空調系統(tǒng)的末端;5同一凈化空調系統(tǒng)內末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應相近;6同一凈化空調系統(tǒng)內末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的使用風量與額定風量之比值宜相近;7對化學污染物有控制要求的潔凈室(區(qū)),在凈化空調系統(tǒng)中應根據環(huán)境條件設置化學過濾器或其他去除裝置;8高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應采用不燃或難燃材料制作。7.4.2風機過濾器機組的設置應符合下列要求:1應根據空氣潔凈度等級和送風量選用;2應按潔凈室(區(qū))內生產工藝對氣流流型的要求布置,3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規(guī)范的規(guī)定;4送風量應能調節(jié);5應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時,外殼強度應滿足檢修要求。潔凈室絕不僅于“潔凈”,而必須是一個對冷熱、噪聲、照度、靜電、微振都有相當要求的多功能的綜合體。江蘇壓縮空氣檢測潔凈室檢測頻率
凈化空調系統(tǒng)的風機宜采取變頻措施。浙江實驗室環(huán)境潔凈室檢測服務至上
9.5.4潔凈室內可能產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施,其中有和火災危險場所的設備、管道應符合現行國家標準《和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范》GB50058的有關規(guī)定。9.5.5防靜電接地系統(tǒng)應分別按不同要求設置接地連接端子。在一個房間內應設置等電位的接地網格或閉合的接地銅排環(huán)。在防靜電接地系統(tǒng)各個連接部位之間電阻值應小于0.1Ω2。9.5.6潔凈廠房內不同功能的接地系統(tǒng)的設計均應遵循等電位聯結的原則,其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線應單獨絕緣敷設,并應使用絕緣屏蔽電纜。9.5.7接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時接地電阻值應小于或等于1Ω;選擇分散接地方式時,各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠離防雷接地系統(tǒng)的接地體,兩者應保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設計應符合現行國家標準《建筑物防雷設計規(guī)范》GB50057的有關規(guī)定。浙江實驗室環(huán)境潔凈室檢測服務至上