相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會使人覺得氣悶,而濕度低于30%則會讓人感覺干燥,皮膚皸裂,呼吸道不適以及情感上的不快。高濕度實際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當相對濕度超過50%時,靜電荷開始迅速消散,但是當相對濕度小于30%時,它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長一段時間。相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中,半導體潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。通過定期檢測,可以及時發(fā)現(xiàn)并解決潔凈室中的污染問題。江西國內檢測價格
a.首先應對測試儀器、培養(yǎng)皿表面進行嚴格消毒,采樣器進入被測房間時,先用消毒房間的消毒劑滅菌。用于5級潔凈房間的采樣器宜一直放在潔凈房間。b.采樣者應穿戴潔凈服雙手要消毒。c.開動真空泵抽氣使儀器中的殘余消毒劑蒸發(fā)時間不少于5min,并調好流量轉盤轉速。關閉真空泵放入培養(yǎng)皿蓋好蓋子后調節(jié)采樣器。d.置采樣口于采樣點后依次開啟采樣器、真空泵、轉動定時器、根據(jù)采樣量選定采樣時間。全部采樣結束后,將培養(yǎng)皿倒置于30-35℃恒溫培養(yǎng)箱中,培養(yǎng)時間不少于48h。e.用肉眼直接計數(shù),然后用5-10倍放大鏡檢查是否有遺漏,若平板上有兩個或兩個以上的菌落重疊分辨時,仍以兩個或兩個以上菌落計數(shù)。江西國內檢測價格潔凈室檢測中發(fā)現(xiàn)的改進機會應納入持續(xù)改進計劃中。
5.3.1潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修,應選用氣密性良好,且在溫度和濕度變化時變形小、污染物濃度符合現(xiàn)行國家有關標準規(guī)定限值的材料。潔凈室裝飾材料及密封材料不得采用釋放對室內各種產品品質有影響物質的材料。5.3.2潔凈室內墻壁和頂棚的裝修應符合下列規(guī)定:1潔凈室內墻壁和頂棚的表面應平整、光滑、不起塵、避免眩光,便于除塵,并應減少凹凸面。2踢腳不應突出墻面。3潔凈室不宜采用砌筑墻抹灰墻面,當必須采用時宜采用干燥作業(yè),抹灰應采用符合現(xiàn)行國家標準《建筑裝飾裝修工程質量驗收規(guī)范》GB50210中高級抹灰的要求。墻面抹灰后應刷涂料面層,并應選用難燃、不開裂、耐腐蝕、耐清洗,表面光滑、不易吸水變質發(fā)霉的涂料。
潔凈室的主要作用是控制產品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產品能夠在良好的環(huán)境空間中生產制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當然,這個標準中符合粉塵標準的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學結構來說,哪怕是一點點的粉塵也會產生非常大的負面影響檢測過程中,應確保所有設備處于正常工作狀態(tài)。
在單向流潔凈室中,潔凈氣流不是一股或幾股,而是充滿整個房間截面,所以這種潔凈室不依靠潔凈氣流對室內臟空氣的混合稀釋作用,而是依靠在干凈的氣流上推出效果。室內臟空氣沿整個斷面排到室外,達到凈化室內空氣的目的。因此,前聯(lián)邦德國有人將單向流潔凈室的氣流稱為“塞流”、“塞流”,前蘇聯(lián)則稱其為“擠壓弱氣流”。潔凈的空氣就像一個空氣活塞,沿著房間的“氣缸”向前(向下)推動,使塵粒只能向前(向下)移動而不能返回,在單流潔凈室和單流凈化設備中,逆向氣流可以沿著墻壁和兩個過濾器的重疊部分下方出現(xiàn)。這種氣流會將污染從底部傳送到頂部,然后向下傳送,破壞上述“塞流”狀態(tài),危害極大。對于有開口與外界相連的局部凈化設備,如潔凈工作臺,這種氣流會導致外部污染氣流。在設計中,必須減少濾框占用的無效面積,減少空間的壁面。盡可能靠近過濾器的有效風截面。潔凈室的設計布局應便于檢測和維護工作的開展。實驗室環(huán)境檢測認真負責
主要工作室一般照明的照度值宜為3001x。江西國內檢測價格
(七)室內噪聲1、儀器設備和環(huán)境儀器,設備測噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級計。環(huán)境溫度常溫或設計溫度下。2、抽樣對有噪聲設計要求的各個場所分別測定。3、技術要求室內噪聲級應符合《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073-2001的規(guī)定。在空態(tài)情況下,非單相流潔凈室不應大于60dBA;單向流、混合流潔凈室不應大于65dBA;潔凈室的噪聲頻譜限制各頻帶的聲壓級值不應大于《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073-2001表4.4.2的規(guī)定。4、操作過程及判定(1)測噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級計一般只測A聲級的數(shù)值。必要時測倍頻程聲壓級。(2)潔凈室面積在15m點采樣,除房間兩對角線相交的室中心位置外,另在房間四角對角線上對稱的選取4點。(3)執(zhí)行標準的編號及標準實施日期。(4)被測試的潔凈室或潔凈區(qū)的地址、采樣點的特定編號及坐標圖。(5)被測潔凈室或潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級、被測粒徑或沉降菌、浮游菌、被測潔凈室所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差、被測潔凈室的溫濕度、噪聲。(6)測試用的儀器的編號和標定征書測試方法細則及測試中的特殊情況.(7)測試結果包括在采樣點坐標圖上注明所測的粒子濃度或沉降菌、浮游菌的菌落數(shù)。(8)對異常測試值進行說明及數(shù)據(jù)處理。江西國內檢測價格