(1)潔凈廠房是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展的產(chǎn)物。隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異,新技術(shù)、新工藝、新產(chǎn)品不斷出現(xiàn),產(chǎn)品精密度的日益提高,對無塵提出了越來越高的要求。目前,潔凈廠房已廣泛應(yīng)用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造等重要部門。(2)潔凈廠房的空氣潔凈度對有凈化要求的產(chǎn)品質(zhì)量有很大影響。因此,必須保持凈化空調(diào)系統(tǒng)的正常運行。據(jù)了解,在規(guī)定的空氣潔凈度下生產(chǎn)的產(chǎn)品合格率可提高約10%~30%。一旦停電,室內(nèi)空氣會很快污染,影響產(chǎn)品質(zhì)量。(3)潔凈廠房是個相對的密閉體,由于停電造成送風(fēng)中斷,室內(nèi)的新鮮空氣得不到補充,有害氣體不能排出,對工作人員的健康是不利的。在潔凈室設(shè)計時生產(chǎn)工藝對環(huán)境參數(shù)的要求應(yīng)該實事求是。安徽半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測公司
D.3.2靜壓差測試,應(yīng)符合下列規(guī)定:1靜壓差的測定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時進行。2儀器宜采用各種型式的微壓計,儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個潔凈室(區(qū))時,應(yīng)從極里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始,并應(yīng)按順序向外進行檢測。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測試,應(yīng)符合下列規(guī)定:1儀器應(yīng)使用采樣量大于11/mn的光學(xué)粒子計數(shù)器。2應(yīng)在過濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子,粒子濃度應(yīng)大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計數(shù)器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20~30mm處,并應(yīng)以5~20mm/s速度移動。應(yīng)檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。上海潔凈工作臺潔凈室檢測范圍應(yīng)按輸送介質(zhì)的物化性質(zhì),合理確定管內(nèi)物料流速和管徑。
4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等,也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間,應(yīng)包括活動地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定,各種空氣潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴(yán)格時,宜采用微環(huán)境等型式。
C.1.1檢測目的檢測的目的是確認(rèn)過濾系統(tǒng)安裝正確,使用過程中無滲漏發(fā)生,不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談,過濾器出廠前應(yīng)經(jīng)過檢漏雨測試。此項檢測用于驗證過濾系統(tǒng)不存在影響設(shè)施潔凈狀況的滲漏;確認(rèn)過濾系統(tǒng)下風(fēng)向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設(shè)計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中,在過濾器的上風(fēng)向注入氣溶膠,在下風(fēng)向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描,或在風(fēng)管中的過濾器下風(fēng)向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個過濾系統(tǒng)。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進行,且該項檢測是在新建潔凈室調(diào)試時,或現(xiàn)有設(shè)施需要再檢測時,或更換了末端過濾器之后進行。嚴(yán)寒及寒冷地區(qū)的新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護措施。
近年來,國內(nèi)外一些潔凈廠房中一級用電負(fù)荷因雷擊及電源瞬時變動而引起停電事故頻繁發(fā)生,造成了較大的經(jīng)濟損失,其原因不是主電源斷電,而是控制電源失電造成保護系統(tǒng)失靈而造成事故。電氣照明在潔凈廠房設(shè)計中也很重要。從工藝性質(zhì)來看,潔凈廠房內(nèi)一般從事精密視覺工作,需要高照度高質(zhì)量照明。為了獲得良好和穩(wěn)定的照明條件,除了解決好照明形式、光源、照度等一系列問題外,極重要的是保證供電電源的可靠性和穩(wěn)定性。........對較大型的潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)宜集中進行空氣凈化處理。靜電潔凈室檢測報告
送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。安徽半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測公司
B.1自凈檢測是測定潔凈室設(shè)施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復(fù)性能是設(shè)施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統(tǒng)重要并推薦采用,因為自凈性能與受控區(qū)內(nèi)循環(huán)空氣比例(換氣次數(shù))、送風(fēng)與出風(fēng)的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關(guān),而單向流系統(tǒng)中,污染被受控氣流置換,自凈時間只受位置和距離的影響。自凈檢測應(yīng)在設(shè)施處于空態(tài)或靜態(tài)時進行。潔凈度ISO8級和ISO9級的潔凈室(區(qū))不推薦自凈檢測。檢測若使用人工氣溶膠,應(yīng)防止氣溶膠對設(shè)施的殘留污染。B.2自凈性能的評估方法有100:1自凈時間或潔凈度恢復(fù)率。100:1自凈時間的定義:粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時間。100:1自凈時間檢測是優(yōu)先方法。潔凈恢復(fù)率的定義:粒子濃度隨時間的變化速率。該方法可以使用粒子濃度衰減曲線進行描述(縱座標(biāo)表示濃度,為對數(shù)刻度;橫座標(biāo)表示濃度,為線性刻度)。安徽半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測公司