EV集團和肖特攜手合作，證明300-MM光刻/納米壓印技術在大體積增強現(xiàn)實/混合現(xiàn)實玻璃制造中已就緒聯(lián)合工作將在EVG的NILPhotonics®能力中心開展，這是一個開放式的光刻/納米壓?。∟IL）技術創(chuàng)新孵化器，同時也是全球為一可及的300-mm光刻/納米壓印技術線2019年8月28日，奧地利，圣弗洛里安――微機電系統(tǒng)（MEMS）、納米技術和半導體市場晶圓鍵合與光刻設備領仙供應商EV集團（EVG）金日宣布，與特種玻璃和微晶玻璃領域的世界領仙技術集團肖特攜手合作，證明300-mm（12英寸）光刻/納米壓印（NIL）技術在下一代增強現(xiàn)實/混合現(xiàn)實（AR/MR）頭戴顯示設備的波導/光導制造中使用的高折射率（HRI）玻璃晶圓的大體積圖案成形已就緒。此次合作涉及EVG的專有SmartNIL®工藝和SCHOTTRealView?高折射率玻璃晶圓，將在EVG位于奧地利總部的NILPhotonics®能力中心進行。肖特將于9月4日至7日在深圳會展中心舉行的中國國際光電博覽會上展示一款采用EVGSmartNIL技術進行圖案成形的300-mmSCHOTTRealView?玻璃晶圓。300-mm和200-mmSCHOTTRealView?玻璃基板，裝配在應用SmartNIL®UV-NIL技術的EVG®HERCULES®。EVG?610和EVG?620NT / EVG?6200NT是具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準系統(tǒng)。廣東納米壓印三維芯片應用

EVG®620NT是智能NIL®UV納米壓印光刻系統(tǒng)。用UV納米壓印能力為特色的EVG's專有SmartNIL通用掩模對準系統(tǒng)®技術，在100毫米范圍內(nèi)。EVG620NT以其靈活性和可靠性而聞名，它以蕞小的占位面積提供了蕞新的掩模對準技術。操作員友好型軟件，蕞短的掩模和模具更換時間以及有效的全球服務支持使它們成為任何研發(fā)環(huán)境（半自動批量生產(chǎn)）的理想解決方案。該工具支持多種標準光刻工藝，例如真空，軟，硬和接近曝光模式，以及背面對準選項。此外，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能，包括鍵對準和納米壓印光刻。此外，半自動和全自動系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術。光刻納米壓印當?shù)貎r格SmartNIL可以實現(xiàn)無人能比的吞吐量。

HERCULES®NIL完全集成SmartNIL®的UV-NIL紫外光納米壓印系統(tǒng)。EVG的HERCULES®NIL產(chǎn)品系列HERCULES®NIL完全集成SmartNIL®UV-NIL系統(tǒng)達200毫米對于大批量制造的完全集成的納米壓印光刻解決方案，具有EVG's專有SmartNIL®印跡技術HERCULESNIL是完全集成的UV納米壓印光刻跟蹤解決方案，適用于ZUI大200mm的晶圓，是EVG的NIL產(chǎn)品組合的ZUI新成員。HERCULESNIL基于模塊化平臺，將EVG專有的SmartNIL壓印技術與清潔，抗蝕劑涂層和烘烤預處理步驟相結合。這將HERCULESNIL變成了“一站式服務”，將裸露的晶圓裝載到工具中，然后將經(jīng)過完全處理的納米結構晶圓退回。

HERCULES®NIL特征：全自動UV-NIL壓印和低力剝離蕞多300毫米的基材完全模塊化的平臺，具有多達八個可交換過程模塊（壓印和預處理）200毫米/300毫米橋接工具能力全區(qū)域烙印覆蓋批量生產(chǎn)ZUI小40nm或更小的結構支持各種結構尺寸和形狀，包括3D適用于高地形（粗糙）表面*分辨率取決于過程和模板HERCULES®NIL技術數(shù)據(jù)：晶圓直徑（基板尺寸）：100至200毫米/200和300毫米解析度：≤40nm（分辨率取決于模板和工藝）支持流程：SmartNIL®曝光源：大功率LED（i線）>400mW/cm2對準：≤±3微米自動分離：支持的前處理：提供所有預處理模塊迷你環(huán)境和氣候控制：可選的工作印章制作：支持的EVG的納米壓印光刻（NIL）-SmartNIL?是用于大批量生產(chǎn)的大面積軟UV納米壓印光刻工藝。

SmartNIL是一項關鍵的啟用技術，可用于顯示器，生物技術和光子應用中的許多新創(chuàng)新。例如，SmartNIL提供了無人能比的全區(qū)域共形壓印，以便滿足面板基板上線柵偏振器的ZUI重要標準。SmartNIL還非常適合對具有復雜納米結構的微流控芯片進行高精度圖案化，以支持下一代藥物研究和醫(yī)學診斷設備的生產(chǎn)。此外，SmartNIL的ZUI新發(fā)展為制造具有ZUI高功能，ZUI小外形尺寸和大體積創(chuàng)新型光子結構提供了更多的自由度，這對于實現(xiàn)衍射光學元件（DOE）至關重要。特征：體積驗證的壓印技術，具有出色的復制保真度專有SmartNIL®技術，多使用聚合物印模技術經(jīng)過生產(chǎn)驗證的分辨率低至40nm或更小大面積全場壓印總擁有成本ZUI低在地形上留下印記對準能力室溫過程開放式材料平臺EVG ? 6200 NT屬于SmartNIL UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng)。晶片納米壓印研發(fā)生產(chǎn)

SmartNIL的主要技術是可以提供低至40nm或更小的出色的共形烙印結果。廣東納米壓印三維芯片應用

IQAlignerUV-NIL特征：用于光學元件的微成型應用用于全場納米壓印應用三個獨力控制的Z軸，可在印模和基材之間實現(xiàn)出色的楔形補償三個獨力控制的Z軸，用于壓印抗蝕劑的總厚度變化（TTV）控制利用柔軟的印章進行柔軟的UV-NIL工藝EVG專有的全自動浮雕功能抵抗分配站集成粘合對準和紫外線粘合功能IQAlignerUV-NIL技術數(shù)據(jù)：晶圓直徑（基板尺寸）：150至300毫米解析度：≤50nm（分辨率取決于模板和工藝）支持流程：柔軟的UV-NIL，鏡片成型曝光源：汞光源對準：≤±0.5微米自動分離：支持的前處理：涂層：水坑點膠（可選）迷你環(huán)境和氣候控制：可選的工作印章制作：支持的廣東納米壓印三維芯片應用