在精密模具制造這一精益求精的領(lǐng)域,溫濕度控制是保障產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵要素。模具型腔對精度有著嚴(yán)苛要求,這就決定了整個加工過程必須維持高度穩(wěn)定。一旦溫度出現(xiàn)波動,模具鋼材料會因熱脹冷縮而發(fā)生細(xì)微形變,直接影響型腔尺寸精度。這在注塑成型環(huán)節(jié)影響尤甚,極有可能導(dǎo)致塑料制品出現(xiàn)尺寸偏差、飛邊等明顯缺陷。而當(dāng)濕度異常時,潮濕空氣就像隱藏的 “破壞者”,悄無聲息地侵蝕模具表面,致使模具生銹、腐蝕。這不僅大幅降低模具的使用壽命,還會增加生產(chǎn)成本,對模具在汽車、家電等眾多行業(yè)的應(yīng)用效果產(chǎn)生負(fù)面影響,阻礙相關(guān)產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。擁有超高水準(zhǔn)潔凈度控制能力,可達(dá)百級以上潔凈標(biāo)準(zhǔn)。江蘇色譜儀溫濕度
精密環(huán)控柜主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成,為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過風(fēng)機引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán),控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流的每個環(huán)節(jié)進(jìn)行處理,從而使柜內(nèi)的溫濕度達(dá)到超高的控制精度。該系統(tǒng)可實現(xiàn)潔凈度百級、十級、一級,溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。自面世以來,已為相關(guān)領(lǐng)域客戶提供了穩(wěn)定的實驗室環(huán)境以及監(jiān)測服務(wù),獲得了眾多好評。浙江微生物溫濕度磁屏蔽部分,可通過被動防磁和主動消磁器進(jìn)行磁場控制。
激光干涉儀以其納米級別的測量精度,在半導(dǎo)體制造、精密機械加工等領(lǐng)域發(fā)揮著關(guān)鍵作用。然而,它對環(huán)境變化極為敏感,溫度、濕度的微小波動以及空氣潔凈度的差異,都可能干擾激光的傳播路徑與干涉效果,致使測量結(jié)果出現(xiàn)偏差。精密環(huán)控柜的超高精度溫度控制,能將溫度波動控制在極小區(qū)間,如關(guān)鍵區(qū)域 ±2mK(靜態(tài)),同時確保濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h,并且實現(xiàn)百級以上潔凈度控制,為激光干涉儀提供穩(wěn)定、潔凈的測量環(huán)境,保障其測量精度不受外界因素干擾。光譜分析儀用于分析物質(zhì)的光譜特性,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料檢測、化學(xué)分析等領(lǐng)域。在工作時,外界環(huán)境的不穩(wěn)定可能導(dǎo)致儀器內(nèi)部光學(xué)元件的性能變化,影響光譜的采集與分析精度。精密環(huán)控柜通過調(diào)控溫濕度,避免因溫度變化使光學(xué)元件熱脹冷縮產(chǎn)生變形,以及因濕度異常造成的鏡片霉變、光路散射等問題。其穩(wěn)定的環(huán)境控制能力,保證光譜分析儀能夠準(zhǔn)確、可靠地分析物質(zhì)光譜,為科研與生產(chǎn)提供數(shù)據(jù)支持。
精密環(huán)控柜能夠?qū)崿F(xiàn)如此性能,背后蘊含著先進(jìn)而復(fù)雜的原理。在溫度控制方面,自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)是關(guān)鍵所在。通過高精度傳感器實時監(jiān)測柜內(nèi)溫度,將數(shù)據(jù)反饋至控制系統(tǒng)?刂葡到y(tǒng)依據(jù)預(yù)設(shè)的精確溫度值,以 0.1% 的控制輸出精度,調(diào)節(jié)制冷(熱)系統(tǒng)的運行功率。例如,當(dāng)溫度高于設(shè)定值時,制冷系統(tǒng)迅速啟動,精確控制制冷量,使溫度快速回落至目標(biāo)范圍;反之,加熱系統(tǒng)則及時介入。對于濕度控制,利用先進(jìn)的濕度調(diào)節(jié)裝置,通過冷凝除濕或蒸汽加濕等方式,依據(jù)傳感器反饋的濕度數(shù)據(jù),將設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性控制在 ±0.5%@8h 。在潔凈度控制上,采用多層高效潔凈過濾器,通過物理攔截、靜電吸附等原理,對進(jìn)入柜內(nèi)的空氣進(jìn)行深度過濾,確?蓪崿F(xiàn)百級以上潔凈度控制,工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3 。制冷單元內(nèi)部采用高效隔音材質(zhì),進(jìn)一步降低設(shè)備噪音,噪音<45dB。
我司自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù),控制輸出精度達(dá) 0.1%,能精細(xì)掌控溫度變化。溫度波動控制可選 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等多檔,滿足嚴(yán)苛溫度需求。該系統(tǒng)潔凈度表現(xiàn)優(yōu)異,可達(dá)百級、十級、一級。關(guān)鍵區(qū)域靜態(tài)溫度穩(wěn)定性 ±5mK,內(nèi)部溫度均勻性小于 16mK/m,為芯片研發(fā)等敏感項目營造理想溫場,保障實驗數(shù)據(jù)不受溫度干擾。濕度方面,8 小時內(nèi)穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%;壓力穩(wěn)定性為 +/-3Pa,設(shè)備還能連續(xù)穩(wěn)定工作 144 小時,助力長時間實驗與制造。在潔凈度上,工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3,既確保實驗結(jié)果準(zhǔn)確可靠,又保障精密儀器正常工作與使用壽命,推動科研與生產(chǎn)進(jìn)步。主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成。江蘇色譜儀溫濕度
設(shè)備內(nèi)部通過風(fēng)機引導(dǎo)氣流循環(huán),控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流每個環(huán)節(jié)進(jìn)行處理,使柜內(nèi)溫濕度達(dá)到超高控制精度。江蘇色譜儀溫濕度
在半導(dǎo)體芯片制造這一復(fù)雜且精細(xì)的領(lǐng)域,從芯片光刻、蝕刻到沉積、封裝等每一步,都對環(huán)境條件有著近乎嚴(yán)苛的要求,而精密環(huán)控柜憑借其性能成為保障生產(chǎn)的關(guān)鍵要素。芯片光刻環(huán)節(jié),光刻機對環(huán)境穩(wěn)定性要求極高。哪怕 0.002℃的溫度波動,都可能使光刻機內(nèi)部的精密光學(xué)元件因熱脹冷縮產(chǎn)生細(xì)微形變,導(dǎo)致光路偏差,使光刻圖案精度受損。精密環(huán)控柜憑借超高精度溫度控制,將溫度波動控制在極小范圍,確保光刻機高精度運行,讓芯片光刻圖案正常呈現(xiàn)。江蘇色譜儀溫濕度