干式真空泵分類(lèi)編輯干式真空泵主要有下列幾種形式:雙圓裂片式雙圓裂片式設(shè)計(jì)和目前當(dāng)行和普遍應(yīng)用的羅茨泵非常相似。事實(shí)上,一些**早期的干泵設(shè)計(jì)思想就是將羅茨泵疊加起來(lái)。這種多級(jí)設(shè)計(jì)使得氣體通路相當(dāng)復(fù)雜,并且每一級(jí)都需要較大流量的氮?dú)馄鸬较♂尯透綦x作用。同時(shí),為了達(dá)到好的真空度,對(duì)各級(jí)的間隙有非常嚴(yán)格的要求。當(dāng)然,這種設(shè)計(jì)由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對(duì)較低。三葉圓裂片式三葉圓裂片式設(shè)計(jì)和雙圓裂片式設(shè)計(jì)的原理完全相同,只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設(shè)計(jì)有著相同的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。為了進(jìn)一步降低耗電量,在傳動(dòng)部分有的廠家選用兩個(gè)直流馬達(dá),但這也會(huì)導(dǎo)致扭矩減小,重新啟動(dòng)的能力—下降。同雙圓裂片式設(shè)計(jì)一樣,三葉圓裂片式設(shè)計(jì)的每一級(jí)都需要較大流量的氮?dú)鈦?lái)起到稀釋和隔離作用。組合式(羅茨+爪)組合式(羅茨+爪)設(shè)計(jì)用羅茨來(lái)提高在較低壓力下的抽氣效率,用爪來(lái)提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設(shè)計(jì)完全相同。也有些廠家將其一級(jí)改為星型設(shè)計(jì),這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份,就像三圓裂片式設(shè)計(jì)可以將其分為三份。同樣,在很多工藝中。沃德氣體過(guò)硬的產(chǎn)品質(zhì)量、質(zhì)量的售后服務(wù)、認(rèn)真嚴(yán)格的企業(yè)管理,贏得客戶(hù)的信譽(yù)。昆明螺桿干式真空泵廠家
通過(guò)曲柄連桿機(jī)構(gòu)的作用(旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)變成直線運(yùn)動(dòng)),使氣缸內(nèi)的活塞作往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運(yùn)動(dòng)時(shí),由于氣缸的左腔體積不斷增大,左腔空間的壓強(qiáng)不斷的降低,當(dāng)左腔空間內(nèi)的壓強(qiáng)低于被抽容器內(nèi)的壓強(qiáng),根據(jù)氣體壓強(qiáng)平衡的原理,被抽容器內(nèi)的氣體經(jīng)過(guò)吸氣閥不斷地被抽進(jìn)左腔,此時(shí)正處于吸氣過(guò)程。當(dāng)活塞達(dá)到**右位置時(shí),氣缸左腔內(nèi)就充滿(mǎn)了氣體。接著活塞從右端向左端運(yùn)動(dòng),此時(shí)吸氣閥自動(dòng)關(guān)閉。氣體隨著活塞從右往左運(yùn)動(dòng)而逐漸被壓縮。當(dāng)氣缸內(nèi)的氣體達(dá)到排氣壓力時(shí),此時(shí)排氣閥被打開(kāi),氣體被排出,完成了一個(gè)工作循環(huán)。當(dāng)活塞在從左端向右端運(yùn)動(dòng)時(shí),重復(fù)上述循環(huán),直到被抽容器達(dá)到某一平衡壓力為止。在干式真空泵中,吸氣閥和排氣閥是非常重要的部件且是易損部件,它們工作的好壞直接影響往復(fù)泵的極限壓力、抽氣速率、功率消耗以及運(yùn)行的可靠性。干式真空泵功能的散布:在擴(kuò)大企業(yè)生產(chǎn)力發(fā)展優(yōu)勢(shì)的過(guò)程中,應(yīng)不斷提式真空泵產(chǎn)品實(shí)際性能的優(yōu)越性,加快其應(yīng)用效果。其產(chǎn)品應(yīng)用和實(shí)踐能力的整體驅(qū)動(dòng)力是不斷提高其產(chǎn)品強(qiáng)度的整體發(fā)展,通過(guò)綜合驅(qū)動(dòng)產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)來(lái)提高設(shè)備的應(yīng)用效率。因此,其各方面的性能能力不斷提高,充分發(fā)揮其產(chǎn)品的實(shí)用優(yōu)勢(shì)。昆明螺桿干式真空泵廠家沃德氣體用先進(jìn)的生產(chǎn)工藝和規(guī)范的質(zhì)量管理,打造優(yōu)良的產(chǎn)品!
干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是較廣的,主要有以下幾個(gè)方面: 1 低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中; 2 半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒; 3 除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿(mǎn)足要求; 4 在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空泵; 5 用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵,以防止油污染。
連接管的口徑不能小于真空泵進(jìn)氣口的內(nèi)徑,否則會(huì)影響抽速,但必須小于進(jìn)氣口的外徑,否則影響密封度。被抽容積不能過(guò)于大,一般會(huì)選用泵的抽速以秒為單位的15-20倍。在活動(dòng)的接頭處,涂上真空脂,以增強(qiáng)其密封度。4、接上電源,裝接電線時(shí),要注意電機(jī)銘牌上的接線規(guī)定的要求。真空泵如何安全操作真空泵是常見(jiàn)的真空設(shè)備,而且是很多實(shí)驗(yàn)室的輔助設(shè)備,那么,真空泵如何安全操作呢?1、操作前的準(zhǔn)備工作首先應(yīng)將設(shè)備放置在水平、通風(fēng)、干燥處,將真空機(jī)組抽氣口與被抽系統(tǒng)連接好,密封一定要嚴(yán)密,不應(yīng)有泄漏點(diǎn)存在。檢查真空泵和羅茨泵內(nèi)的油位及油杯中的潤(rùn)滑油是否符合要求,連接好電源線和接地線。檢查是否有其他不安全因素。2、操作機(jī)組的啟動(dòng)運(yùn)行接通主電源開(kāi)關(guān),主電源指示燈亮;將控制方式放在手動(dòng)或自動(dòng)位置;按下控制電源按鈕,指示燈亮(真空泵、增壓泵和急停按鈕應(yīng)復(fù)位,否則控制電源按鈕無(wú)法接通),如電源相序錯(cuò)誤黃色指示燈亮,則需換相。將真空泵斷路器接通,按下真空泵控制按鈕,真空泵指示燈亮,同時(shí)真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)。根據(jù)實(shí)際情況調(diào)節(jié)增壓泵的延時(shí)(通過(guò)時(shí)間繼電器,調(diào)節(jié)范圍在1—6分鐘)。將增壓泵斷路器接通,按下增壓泵控制按鈕,增壓泵指示燈亮。沃德氣體為客戶(hù)服務(wù),要做到更好。
重新裝配的真空泵應(yīng)進(jìn)行幾個(gè)小時(shí)的運(yùn)轉(zhuǎn)試驗(yàn),以觀察是否達(dá)到使用要求)真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)真空泵的結(jié)構(gòu):(1)真空泵總體結(jié)構(gòu)型式真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高,在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵。真空泵臥式泵的進(jìn)氣口在上,排氣口在下。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時(shí),排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開(kāi)口,除接排氣管道一端外,另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低,高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制,轉(zhuǎn)子裝配方便,泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便,潤(rùn)滑機(jī)構(gòu)也相對(duì)復(fù)雜。(2)真空泵的傳動(dòng)方式真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過(guò)一對(duì)高精度齒輪來(lái)實(shí)現(xiàn)其相對(duì)同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。主動(dòng)軸通過(guò)聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。在傳動(dòng)結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種:其一是電動(dòng)機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖。從動(dòng)轉(zhuǎn)子由電動(dòng)機(jī)端齒輪直接傳過(guò)去帶動(dòng),這樣主動(dòng)轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小,則兩個(gè)轉(zhuǎn)子之間的間隙不會(huì)因主動(dòng)軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變。沃德氣體以質(zhì)量求生存,以信譽(yù)求發(fā)展!昆明斡旋干式真空泵價(jià)格
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應(yīng)維修電機(jī),重新繞制定子線圈。軸承和線圈損壞嚴(yán)重時(shí),應(yīng)更換電機(jī)。2、旋片卡阻。主要表現(xiàn)為旋片與泵腔內(nèi)表面的摩擦阻力過(guò)大,致使電機(jī)無(wú)法帶動(dòng)轉(zhuǎn)子(旋片)。其原因是旋片變形,轉(zhuǎn)子內(nèi)的彈簧張開(kāi)后不能復(fù)位,或彈簧壓力和旋片自身離心力的合力過(guò)大,導(dǎo)致旋片與泵腔內(nèi)表面的摩擦阻力過(guò)大。這時(shí)應(yīng)當(dāng)修復(fù)旋片和彈簧,不能修復(fù)時(shí),更換二者。真空泵有哪些密封要求真空泵是常見(jiàn)的真空設(shè)備,那么,真空泵有哪些密封要求呢?真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿(mǎn)足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補(bǔ)充才能滿(mǎn)足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對(duì)稱(chēng)陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一定的抽速,兩者組合起來(lái),便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空,有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級(jí)泵,故都需要把泵組合起來(lái)使用。真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí),應(yīng)該選各種無(wú)油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵。昆明螺桿干式真空泵廠家
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