羅茨真空泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì),實(shí)際上也是屬于干泵。目前,這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡。分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸汽被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。往復(fù)真空泵活塞從右端向左端運(yùn)動(dòng),此時(shí)吸氣閥關(guān)閉。耐腐真空泵廠家直銷
在現(xiàn)代設(shè)計(jì)制造中,把面對不同排氣條件的微型真空泵區(qū)別對待?!芭艢饪谠试S較大阻力Por值”這一參數(shù)就是標(biāo)定泵的排氣能力,讓我們可以用嚴(yán)格的技術(shù)手段確定選型是否恰當(dāng)。簡單地說,對于排氣阻力大的系統(tǒng),我們的選型范圍是:FM系列、FAA系列、PCF系列;對于排氣阻力小的系統(tǒng),選型范圍是:VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列。根據(jù)我們對流量和真空度的要求就可以確定具體的型號了。對于質(zhì)量欠佳的產(chǎn)品盡量不要選用。手動(dòng)真空泵訂做真空泵市場增長的主要驅(qū)動(dòng)力來自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。
真空泵的傳動(dòng)方式,真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過一對高精度齒輪來實(shí)現(xiàn)其相對同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。主動(dòng)軸通過聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。在傳動(dòng)結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種:其一是電動(dòng)機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)。從動(dòng)轉(zhuǎn)子由電動(dòng)機(jī)端齒輪直接傳過去帶動(dòng),這樣主動(dòng)轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小,則兩個(gè)轉(zhuǎn)子之間的間隙不會(huì)因主動(dòng)軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變,故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中均勻。這種傳動(dòng)方式的較大缺點(diǎn)是,主動(dòng)軸上有三個(gè)軸承,增加了泵的加工和裝配難度,齒輪的拆裝及調(diào)整也不便。
真空泵達(dá)到一定臨界壓力時(shí),往往抽速會(huì)減小,這樣前級泵的排氣流量可能會(huì)小于主泵的排氣流量,這種流量的不一致破壞了流量連續(xù)性的要求,必然會(huì)引起真空機(jī)組不能正常工作。但如在高低真空泵之間再連接一臺中真空泵,便可起到承上啟下的作用,流量連續(xù),而且各泵皆可工作在較好的狀態(tài)。羅茨泵能工作在中真空范圍,是適合的,故又稱羅茨增壓泵,由于其壓縮比不高,正好可連接幾Pa至幾百Pa的范圍。當(dāng)三級高真空機(jī)組進(jìn)入較高的真空度時(shí),由于主泵的排氣流量明顯減少,此時(shí)只靠一臺較小的前級泵便可維持抽氣的連續(xù)性,在實(shí)際運(yùn)用中這是經(jīng)常采用的方法,這樣可減少機(jī)組的能耗。微型真空泵的介質(zhì)溫度問題。根據(jù)通過泵的介質(zhì)氣體的溫度,選擇要普通型的還是要高溫型的。
真空泵的市場根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動(dòng)態(tài)變化。市場增長的主要驅(qū)動(dòng)力來自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。目前,全球真空泵市場的年銷售額約20億美元,年增長率在7%左右。我國生產(chǎn)真空泵的廠家很多,全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右(2015年),只相當(dāng)于美國公司一家真空泵的年銷售額。通過對全球真空泵市場的分析我們可以看出,各類真空泵的市場及應(yīng)用領(lǐng)域都在不斷變化和發(fā)展。我國真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎(chǔ),國產(chǎn)真泵已經(jīng)在各個(gè)不同領(lǐng)域得到應(yīng)用并經(jīng)過驗(yàn)證,有些泵還出口國外,得到國外用戶的認(rèn)可并受到好評,應(yīng)該說我國真空泵制造業(yè)在國內(nèi)外市場仍然有著巨大的發(fā)展空間。對于較大型的高真空應(yīng)用設(shè)備,也可適當(dāng)加強(qiáng)前級泵的預(yù)抽能力,進(jìn)一步縮短抽氣時(shí)間。手動(dòng)真空泵訂做
真空泵整體結(jié)構(gòu)不勻稱,泵的重心偏向電動(dòng)機(jī)和齒輪箱一側(cè)。耐腐真空泵廠家直銷
由于真空泵的重心較高,在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵。臥式泵的進(jìn)氣口在上,排氣口在下。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時(shí),排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開口,除接排氣管道一端外,另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低,高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制,轉(zhuǎn)子裝配方便,泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便,潤滑機(jī)構(gòu)也相對復(fù)雜。耐腐真空泵廠家直銷