本發(fā)明針對現(xiàn)有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發(fā)明結構合理性能穩(wěn)定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。

為了解決上述技術問題，本發(fā)明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節(jié)，所述的伸展電機、所述的一級關節(jié)、所述的二級關節(jié)和所述的三級關節(jié)依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動。 機器人機械臂結構柔性特征必須予以考慮。佛山本地晶圓運送機械吸臂銷售詞

使用匯編語言編寫計算機程序，程序員仍然需要十分熟悉計算機系統(tǒng)的硬件結構，所以從程序設計本身上來看仍然是低效率的、煩瑣的。但正是由于匯編語言與計算機硬件系統(tǒng)關系密切，在某些特定的場合，如對時空效率要求很高的系統(tǒng)**程序以及實時控制程序等，迄今為止匯編語言仍然是十分有效的程序設計工具。工業(yè)機械臂目前還沒有統(tǒng)一的分類標準。根據(jù)不同的要求可進行不同的分類。一、按驅(qū)動方式分1．液壓式 液壓驅(qū)動機械臂通常由液動機（各種油缸、油馬達）、伺服閥、油泵、油箱等組成驅(qū)動系統(tǒng)，由驅(qū)動機械臂的執(zhí)行機構進行工作。通常它具有很大的抓舉能力（高達幾百公斤以上），其特點是結構緊湊，動 作平穩(wěn)，耐沖擊，耐振動，防爆性好，但液壓元件要求有較高的制造精度和密封性能，否則漏油將污染環(huán)境。2．氣動式 其驅(qū)動系統(tǒng)通常由氣缸、氣閥、氣罐和空壓機組成，其特點是氣源方便，動作迅速、結構簡單、造價較低、維修方便。但難以進行速度控制，氣壓不可太高，故抓舉能力較低。官方晶圓運送機械吸臂價格多少手臂伸縮機構是機械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測器作用基本等同于升降位置檢測器。

進行光刻：

將設計好的電路掩模，置于光刻機的紫外射線下，然后再在它的下面放置Wafer，這一刻，Wafer上被光刻部分的光刻膠被融化掉，刻上了電路圖。然后將光刻膠去除，光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致，然后進行再次光刻。一般來說一個晶圓的電路要經(jīng)過多次光刻。而隨著技術革新，極紫光刻出現(xiàn)了，現(xiàn)階段光刻的效率變得比以前更高，甚至于可以達到光刻一次完成。

注射：

在真空下，將導電材料注入晶圓的電路內(nèi)部。其真空的標準比無菌室或ICU還要高出千萬倍。

一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機械手，該真空吸附機械手包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺；設置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面，所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度，故利用真空吸附機械手將晶圓傳送至所需位置之后，晶圓的背面中與真空吸附機械手接觸的位置不會形成印記，提高了晶圓的合格率。實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)、升降運動是由橫臂和產(chǎn)柱去完成。

半導體行業(yè)，尤其是集成電路領域，晶圓的身影隨處可見。

晶圓就是一塊薄薄的、圓形的高純硅晶片，而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結構，使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

眼前這密密麻麻的元器件，被整整齊齊的安放在一塊單晶硅材料之上，都是規(guī)規(guī)矩矩、方方正正的?？梢?，晶圓在實際應用之中還是要被切割成方形的。

所以疑問?來了——硅片為什么要做成圓的？為什么是“晶圓”，而不做成“晶方”？

要解釋這個問題，有兩方面的原因：一方面似乎是由“基因決定的”；另一方面是“環(huán)境造成的”。 機械手臂根據(jù)結構形式的不同分為多關節(jié)機械手臂.廣州晶圓運送機械吸臂維修

X移動，Y移動，Z移動組成，通過在執(zhí)行終端加裝X轉(zhuǎn)動，Y轉(zhuǎn)動，Z轉(zhuǎn)動可以到達空間內(nèi)的任何坐標點。佛山本地晶圓運送機械吸臂銷售詞

晶圓運送機械吸臂廣泛應用于半導體制造過程中的各個環(huán)節(jié)，如薄膜沉積、光刻、蝕刻、清洗、檢測等。具體應用舉例如下：

薄膜沉積：在薄膜沉積設備中，晶圓運送機械吸臂負責將晶圓從裝載室傳送至沉積室，以及在沉積完成后將晶圓送回裝載室。

光刻：在光刻設備中，吸臂需將晶圓精確傳送至光刻機工作臺，確保晶圓在曝光過程中的穩(wěn)定性和精度。

蝕刻：在蝕刻設備中，晶圓運送機械吸臂需將晶圓傳送至蝕刻室，并在蝕刻完成后將其送回清洗設備。

清洗和干燥：在清洗和干燥設備中，吸臂負責將晶圓傳送至清洗槽，以及在清洗和干燥完成后將其送回下一工藝環(huán)節(jié)。

檢測：在檢測設備中，晶圓運送機械吸臂需將晶圓傳送至檢測臺，確保檢測過程中的穩(wěn)定性和準確性。 佛山本地晶圓運送機械吸臂銷售詞

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