真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體，爐內(nèi)抽真空，被處理工件放置在爐膛內(nèi)，采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂層石墨盤或石英盤）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達(dá)到有效清潔處理，提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計(jì)特點(diǎn)1、后門設(shè)計(jì)熱風(fēng)電機(jī)2、降溫時(shí)風(fēng)機(jī)開啟，同時(shí)兩端降溫封頭開啟，爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn)行熱交換，達(dá)到快速降溫的目的三、技術(shù)指標(biāo)1、使用溫度：1450℃；比較高溫度：1500℃；2、絕熱材料：石墨纖維毯、石墨紙；4、加熱元件：石墨加熱棒；5、冷卻方式：氣冷+循環(huán)風(fēng)冷降溫；6、控溫穩(wěn)定度：2℃，具有PID參數(shù)自整定功能；7、爐膛溫度均勻度：5℃（恒溫1500℃）；8、氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮?dú)?純度≥99.999%；9、極限真空:10-3torr級(jí)；10、抽氣速率：空載下，30min達(dá)到10-2torr11、升溫功率：170kW；12、升溫速率：15℃/min（空載）；13、降溫速率：1450℃至80℃,240分鐘14、腔體尺寸：1000*1000*1000mm（寬*深*高）合肥真萍與您分享工業(yè)烤箱的重要性。恒溫工業(yè)烤箱門配件
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。  增黏劑HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。恒溫工業(yè)烤箱門配件合肥真萍告訴您工業(yè)烤箱的運(yùn)用方式。
工業(yè)烤箱在工作時(shí)，操作人員通過儀表和感溫器來獲得工業(yè)烤箱內(nèi)部的溫度值，在通過控制系統(tǒng)進(jìn)行操作。工業(yè)烤箱的熱風(fēng)循環(huán)加熱方式，與普通的散熱加熱方式相比，有著更好的氣體流動(dòng)性，能加快工業(yè)烤箱內(nèi)物料的干燥速度。工業(yè)烤箱的熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)由送風(fēng)馬達(dá)、風(fēng)輪和電熱器組成，送風(fēng)馬達(dá)帶動(dòng)風(fēng)輪送出冷風(fēng)，冷風(fēng)經(jīng)過電熱設(shè)備加熱攜帶熱能后經(jīng)風(fēng)道進(jìn)入工業(yè)烤箱的烘箱工作室。工業(yè)烤箱的熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)有利于提高空氣溫度的均勻性，在工業(yè)烤箱開關(guān)箱門運(yùn)送物料的過程中，溫度值會(huì)受到影響發(fā)生變動(dòng)，熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)的均勻性則有利于在比較大快速度內(nèi)恢復(fù)工作狀態(tài)的溫度值。
可定制高溫烘箱溫度控制系統(tǒng)：1、采用數(shù)顯微電腦溫度控制器，控制精確可靠，精度：0.1℃(顯示范圍)。2、具有定時(shí)功能、控溫保護(hù)功能，設(shè)有風(fēng)機(jī)停轉(zhuǎn)開關(guān)。電氣控制系統(tǒng)：1、采用品牌電氣控制元件。2、電氣線路設(shè)計(jì)實(shí)用，合理布線，可靠放心。3、箱體頂部為電器控制柜，方便于集中檢查維修。保護(hù)系統(tǒng)1、超溫保護(hù)系統(tǒng)2、過電流保護(hù)3、快速熔斷器4、接地保護(hù)可選擇配件（需另外收費(fèi)，訂購時(shí)請(qǐng)注意）1、可編程控制器，可實(shí)現(xiàn)升溫速率可調(diào)和保溫時(shí)間可調(diào)，多段可編程。2、單獨(dú)限溫控制器，可實(shí)現(xiàn)在主控制器失靈后設(shè)備升溫過高的情況下立即切斷加熱。3、無紙記錄儀，通過USB接口將其記錄的數(shù)據(jù)導(dǎo)入計(jì)算機(jī)可供分析、打印等，是有紙記錄儀的更新?lián)Q代產(chǎn)品，多通道溫度記錄。4、配RS-485接口，可連接計(jì)算機(jī)和記錄儀，實(shí)現(xiàn)時(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。5、溫度測(cè)試孔，可實(shí)現(xiàn)不同測(cè)試線或儀器插入設(shè)備工作室內(nèi)進(jìn)行多種實(shí)驗(yàn)，測(cè)試孔孔徑有φ25、φ50、φ80可選。6、載物托架，烘箱設(shè)備標(biāo)配是2個(gè)載物托架，客戶可根據(jù)自身需求增配托架數(shù)量。*技術(shù)細(xì)節(jié)變動(dòng)之處，恕不另行通知，具體設(shè)備參數(shù)以咨詢結(jié)果為準(zhǔn)。工業(yè)烤箱找哪家比較安心？合肥真萍不錯(cuò)。
一、本產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于航空、航天、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位。確定儀器儀表、電工產(chǎn)品、材料、零部件、設(shè)備等在低氣壓、高溫單項(xiàng)或同時(shí)作用下的環(huán)境適應(yīng)性與可靠性試驗(yàn).二、主要技術(shù)指標(biāo)：1、工作室溫度范圍：常溫～+300℃用戶使用溫度260℃2、溫度波動(dòng)度：1.0℃（空載）；3、溫度偏差：常壓溫度試驗(yàn)：常溫～200℃時(shí)2℃200～300℃時(shí)5.0℃低氣壓高溫綜合試驗(yàn):≤100℃時(shí)2.0℃，100℃～200℃時(shí)5.0℃200℃～300℃時(shí)7.0℃4、升降溫速率：升溫時(shí)間：①常壓時(shí)：90min（常溫～+260℃）②低氣壓0.0001pa時(shí)：180min（常溫～+260℃）降溫時(shí)間：3℃～10℃/min（260℃～120℃）,1℃～5℃/min（120℃～常溫℃）降溫方式：水冷降溫5、試驗(yàn)箱承壓方式：采用內(nèi)承壓方式6、壓力范圍：常壓～0.0001Pa合肥真萍告訴您如何正確使用工業(yè)烤箱？高溫工業(yè)烤箱廠家
工業(yè)烤箱在社會(huì)上的重要性。恒溫工業(yè)烤箱門配件
恒溫恒濕試驗(yàn)箱的控制系統(tǒng)可說是整個(gè)設(shè)備的心臟，掌管著制冷、制熱、控濕、循環(huán)、控制等大權(quán)。  在制冷方面，壓縮機(jī)是采用德國進(jìn)口的壓縮機(jī)。制冷系統(tǒng)由高溫部分和低溫部分組成，每一部分是一個(gè)相對(duì)單獨(dú)的制冷系統(tǒng)。高溫部分中制冷劑的蒸發(fā)吸收來自低溫部分的制冷劑的熱量而汽化；低溫部分制冷劑的蒸發(fā)則從被冷卻的對(duì)象(試驗(yàn)機(jī)內(nèi)的空氣)吸熱以獲取冷量。高溫部分和低溫部分之間是用一個(gè)蒸發(fā)冷凝器聯(lián)系起來，它既是高溫部分的冷凝器，也是低溫部分的冷凝器。  加熱系統(tǒng)采用完全單獨(dú)的鎳鉻合金電加熱式，電阻率大、電阻溫度系數(shù)小，在高溫下變形小且不易脆化，自身加熱溫度可達(dá)1000～1500℃，使用壽命長。  加濕是恒溫恒濕試驗(yàn)箱不同于高低溫試驗(yàn)箱的相當(dāng)主要一部分，恒溫恒濕試驗(yàn)箱采用外置隔離式，全不銹鋼鍋爐式淺表面蒸發(fā)式加濕器。祛濕方式采用機(jī)械制冷祛濕，將空氣冷卻到溫度以下，使大于飽和含濕量的水汽凝結(jié)析出，這樣就降低了濕度。  送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)：空氣循環(huán)系統(tǒng)由耐溫低噪音空調(diào)型電機(jī)，多葉式離心風(fēng)輪構(gòu)成。它提供了試驗(yàn)機(jī)內(nèi)空氣的循環(huán)。恒溫工業(yè)烤箱門配件
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