氫氟酸:聯(lián)合蝕刻和清洗半導體硅片等的方法和裝置,推薦使用氫氟酸(HF)、氫氯酸(鹽酸)和水溶液,生成高頻蒸氣、鹽酸蒸氣和水蒸氣的平衡蒸氣混合物作為均勻處體。處體不使用載氣,載氣會使蒸汽不均勻,從而降低蝕刻速率。蒸汽推薦由液體源產(chǎn)生,該液體源設置在容納晶片的反應室內(nèi)。晶片比較好被定向,使被處理的表面朝下。晶片有利地位于處理蒸汽的液體源上方或附近。晶片以每分鐘20-1000轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)速度旋轉(zhuǎn),以提供均勻處體在晶片表面上的均勻分散,并促進從液體源到處體和處理表面的循環(huán)和轉(zhuǎn)移。蒸汽的液體源可以有利地設置在緊鄰晶片處理表面下方的槽中,或者設置在鄰近晶片的環(huán)形槽中。這些工藝提供了良好均勻性和優(yōu)異顆粒計數(shù)性能的高速蝕刻。 泰赫化工將會是國產(chǎn)氫氟酸的希望!上海55度氫氟酸供應商
氫氟酸有什么用途?由于氫氟酸溶解氧化物的能力,它在鋁和鈾的提純中起著重要作用。氫氟酸也用來蝕刻玻璃,可以雕刻圖案、標注刻度和文字。由于氫氟酸溶解氧化物的能力,它在鋁和鈾的提純中起著重要作用。氫氟酸也用來蝕刻玻璃,可以雕刻圖案、標注刻度和文字。物理性質(zhì)市售通常濃度:溶質(zhì)的質(zhì)量分數(shù)40%,工業(yè)級;質(zhì)量分數(shù)40%,電子級。為高度危害毒物。濃時的密度1.18g/cm3隨著HF溶液質(zhì)量分數(shù)的提高,HF對碳鋼的腐蝕速率是先升高后降低。三明工業(yè)用氫氟酸存儲氫氟酸無水氫氟酸,廠家供應!
三甲基氯硅烷-三甲基氯硅烷(trimethylchlorosilane)為無色透明液體,有刺激臭味,在空氣中暴露,易和潮氣反應產(chǎn)生氯化氫。硅-鹵鍵化合物。在工業(yè)上,已形成規(guī)模生產(chǎn)能力,一般采用氯甲烷和硅粉在催化劑作用下直接合成,經(jīng)分餾得到純品。中文名:三甲基氯硅烷英文名:trimethylchlorosilane化學式:C3H9ClSi分子量:108.64熔點:-40℃沸點:57.3℃密度:0.857g/cm3外觀:無色溶液閃點:-18℃性狀無色透明液體。有揮發(fā)性,在潮濕空氣中易水解而成游離鹽酸。溶于苯、和過氯乙烯。易燃,有毒,有腐蝕性儲存密封陰涼干燥保存。用途聚硅酮液中間體。甲基硅油封頭劑。抗水劑。安全措施貯于低溫通風處,遠離火種、熱源。與氧化劑、酸堿類等分儲分運。滅火:二氧化碳、干粉、干砂。禁用水和泡沫。
處理:皮膚接觸后立即用大量流水作長時間徹底沖洗,盡快地稀釋和沖去氫氟酸。這是的措施,的關鍵。氫氟酸灼傷后的中和方法不少,總的原則是使用一些可溶性鈣、鎂鹽類制劑,使其與氟離子結(jié)合形成不溶性氟化鈣或氟化鎂,從而使氟離子滅活。現(xiàn)場應用石灰水浸泡或濕敷易于推廣。氨水與氫氟酸作用形成具有腐蝕性的二氟化胺,故不宜作為中和劑。氫氟酸灼傷液(5%氯化鈣20ml、2%利多卡因20ml、5mg)浸泡或濕敷。以冰硫酸鎂飽和液作浸泡。鈣離子直流電透入。利用直流電的作用,使足夠量的鈣離子直接導入需要的部位,提高局部用藥效果。在灼傷的第1~3天,每天1~2次,每次20~30分鐘。重病例每次時間可酌情延長。氫氟酸濺入眼內(nèi),立即分開眼瞼,用大量清水連續(xù)沖洗15分鐘左右。滴入2~3滴局部麻醉眼藥,可減輕疼痛。同時送眼科診治。無水氫氟酸無水氫氟酸具有介電常數(shù)高,低黏度和寬的液態(tài)范圍等特點因而是一種很好的溶劑.本身會發(fā)生自偶電離.無水氫氟酸是一種酸性很強的溶劑其酸度與無水硫酸相當.能給予無水氫氟酸質(zhì)子的物質(zhì)很少,在水中很多呈酸性的化合物在無水氫氟酸中呈堿性或者是兩性。 如何用氫氟酸雕刻玻璃花紋?
氫氟酸緊急處理編輯播報操作注意事項:密閉操作,注意通風。操作盡可能機械化、自動化。操作人員必須經(jīng)過專門培訓,嚴格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴自吸過濾式防毒面具(全面罩),穿橡膠耐酸堿服,戴橡膠耐酸堿手套。防止蒸氣泄漏到工作場所空氣中。避免與堿類、活性金屬粉末、玻璃制品接觸。搬運時要輕裝輕卸,防止包裝及容器損壞。配備泄漏應急處理設備。倒空的容器可能殘留有害物。儲存注意事項:儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不超過30℃,相對濕度不超過85%。保持容器密封。應與堿類、活性金屬粉末、玻璃制品分開存放,切忌混儲。儲區(qū)應備有泄漏應急處理設備和合適的收容材料。監(jiān)測方法:離子選擇性電極法;氟試劑-鑭鹽比色法工程控制:密閉操作,注意通風。盡可能機械化、自動化。提供安全淋浴和洗眼設備。呼吸系統(tǒng)防護:可能接觸其煙霧時,佩戴自吸過濾式防毒面具(全面罩)或空氣呼吸器。緊急事態(tài)搶救或撤離時,建議佩戴氧氣呼吸器。眼睛防護:呼吸系統(tǒng)防護中已作防護。身體防護:穿橡膠耐酸堿服。手部防護:戴橡膠耐酸堿手套。其他防護:工作現(xiàn)場禁止吸煙、進食和飲水。工作完畢,淋浴更衣。單獨存放被毒物污染的衣服,洗后備用。 氟化鉀能否與濃硫酸反應生成氫氟酸?玉林半導體氫氟酸出口
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氫氟酸應用價值經(jīng)過研究表明:氫氟酸和熔融氫氧化鈉都能用于微絲表面玻璃包覆層的去除,室溫下氫氟酸去除厚度為10μm的玻璃包覆層的時間大約為150s,熔融氫氧化鈉大約需要10s;玻璃的成分和結(jié)構(gòu)是影響玻璃包覆純銅微絲耐腐蝕性能的重要因素。采用熔融紡絲法制備了玻璃包覆純銅微絲,對微絲表面玻璃包覆層的去除進行了實驗研究,評價了微絲在氫氟酸和熔融氫氧化鈉中的腐蝕行為,分析了玻璃包覆純銅微絲在強酸和強堿中的耐腐蝕性能,探討了其腐蝕機理。上海55度氫氟酸供應商
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