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本實(shí)用新型解決的技術(shù)問(wèn)題在于,針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷,提供一種光譜共焦位移傳感器,旨在通過(guò)光譜共焦工作原理,避免通過(guò)激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷。本實(shí)用新型解決技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案如下: 一種光譜共焦位移傳感器,包括底座,其中,還包括有:光源耦合器,所述光源耦合器用于產(chǎn)生多色光; 入射光纖,所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光;它可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行高精度測(cè)量,對(duì)于研究材料的微觀性質(zhì)具有重要意義。合肥光譜共焦位移傳感器性?xún)r(jià)比高企業(yè)
本發(fā)明提供一種光譜共焦傳感器和測(cè)量方法。該光譜共焦傳感器包括:光源部,用于射出具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束;多個(gè)光學(xué)頭,用于將從所述光源部射出的所述多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測(cè)量點(diǎn)反射的測(cè)量光:分光器,其包括:線(xiàn)傳感器,以及光學(xué)系統(tǒng),其包括用于使從所述多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測(cè)量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線(xiàn)傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出通過(guò)所述衍射光柵所衍射的所述多個(gè)測(cè)量光束:以及位置計(jì)算部,用于基于所述線(xiàn)傳感器的所述多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來(lái)計(jì)算作為所述多個(gè)光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的多個(gè)測(cè)量點(diǎn)的位置校驗(yàn)光譜共焦位移傳感器行情該傳感器的優(yōu)點(diǎn)包括高精度、非接觸式、不受溫度和振動(dòng)等影響。
通過(guò)配置線(xiàn)傳感器和光學(xué)系統(tǒng)等以使得測(cè)量對(duì)象區(qū)域變成彼此不同的區(qū)域,可以高精度地執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量。多個(gè)光學(xué)頭可以是2個(gè)光學(xué)頭或者3個(gè)光學(xué)頭。利用本技術(shù),可以使用少量的組件來(lái)執(zhí)行2個(gè)或3個(gè)點(diǎn)的同時(shí)測(cè)量。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的測(cè)量方法包括射出具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束。通過(guò)多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭,將所射出的多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測(cè)量點(diǎn)反射的測(cè)量光。使從多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測(cè)量光束發(fā)生衍射,并且向線(xiàn)傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出衍射光束。基于線(xiàn)傳感器的多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來(lái)計(jì)算作為多個(gè)光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的多個(gè)測(cè)量點(diǎn)各自的位置。根據(jù)本發(fā)明,可以利用少量的組件來(lái)執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量。應(yīng)當(dāng)注意,不必局限于這里的效果,并且可以獲得說(shuō)明書(shū)中的任何效果。
機(jī)殼設(shè)置有兩層,聚焦透鏡組位于所述機(jī)殼的上層,感光元件位于機(jī)殼的下層,所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設(shè)置有用于轉(zhuǎn)變光線(xiàn)傳播方向的光線(xiàn)轉(zhuǎn)向鏡組,光線(xiàn)轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡,設(shè)置在上反光鏡下方位置的下反光鏡,光線(xiàn)轉(zhuǎn)向鏡組用于使上層的聚焦透鏡組射出的光線(xiàn)聚焦到下層的感光元件上。這樣,通過(guò)光線(xiàn)轉(zhuǎn)向鏡組使光線(xiàn)實(shí)現(xiàn)掉頭轉(zhuǎn)向,從而充分利用上下空間,使原有的水平光路變換為上下光路,使光譜儀的長(zhǎng)度變短,有利于光譜儀小型化和便攜化。該傳感器的測(cè)量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。
本實(shí)施例中的光譜共焦位移傳感探頭還包括有提示組件,光源耦合器作為單獨(dú)結(jié)構(gòu)與探頭殼體分開(kāi)設(shè)置。提示組件包括在光源耦合器內(nèi),通過(guò)卡扣可拆卸設(shè)置,用于產(chǎn)生提示光的發(fā)光件;發(fā)光件也可直接固定在光源耦合器內(nèi)。發(fā)光件為雙色LED燈,也可為其他可見(jiàn)光光源,當(dāng)探頭操作正常且被測(cè)物體在有效測(cè)量區(qū)域時(shí),由控制系統(tǒng)發(fā)出控制信號(hào)點(diǎn)亮發(fā)光件,發(fā)光件發(fā)出綠色光,提醒使用者操作正常,可以繼續(xù)操作。當(dāng)探頭操作不正常或被測(cè)物體不在有效測(cè)量區(qū)域時(shí),由控制系統(tǒng)發(fā)出控制信號(hào)點(diǎn)亮發(fā)光件,發(fā)光件發(fā)出紅光,提示使用者操作出現(xiàn)問(wèn)題,需要更正。發(fā)光件發(fā)出不同顏色的光便于使用者了解探頭的使用情況,增加便利性。該傳感器利用光學(xué)共焦原理,通過(guò)測(cè)量材料表面的光譜變化來(lái)確定位移大小。原裝光譜共焦位移傳感器大概價(jià)格多少
光譜共焦位移傳感器可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)材料的變化情況,對(duì)于研究材料的力學(xué)性能具有重要意義。合肥光譜共焦位移傳感器性?xún)r(jià)比高企業(yè)
在能夠以這種方式執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要組件的數(shù)量的技術(shù)。有鑒于如上所述的情形,本發(fā)明旨在提供能夠利用少量的組件來(lái)執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量的光譜共焦傳感器以及使用該光譜共焦傳感器的測(cè)量方法。為了實(shí)現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的光譜共焦傳感器包括光源部、多個(gè)光學(xué)頭、分光器和位置計(jì)算部。光源部射出具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束。多個(gè)光學(xué)頭將從所述光源部射出的所述多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測(cè)量點(diǎn)反射的測(cè)量光。合肥光譜共焦位移傳感器性?xún)r(jià)比高企業(yè)