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極紫外光刻(英語:Extremeultra-violet,也稱EUV或EUVL)是一種使用極紫外(EUV)波長是下一代光刻技術(shù),其波長為13.5納米,預(yù)計(jì)將于2021年得到廣泛應(yīng)用。幾乎所有的光學(xué)材料對13.5nm波長的極紫外光都有很強(qiáng)的吸收,因此,EUV光刻機(jī)的光學(xué)系統(tǒng)只有使用反光鏡。我們上海微聯(lián)實(shí)業(yè)的RSA905鋁合金材料正是適合做反射鏡的材料,很好得避免了材料吸收紫外線的問題。增大紫外線的反射率。RSP鋁合金的微晶結(jié)構(gòu)使其可以應(yīng)用在空間觀測設(shè)備上。在空間的低溫環(huán)境下,鋁合金反射鏡與其安裝的支撐結(jié)構(gòu)的金屬材料的膨脹系數(shù)接近。,降低其膨脹系數(shù)不匹配的影響,可以避免了光機(jī)系統(tǒng)材料膨脹系數(shù)不一致帶來的熱應(yīng)力和應(yīng)變。保證其光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)長期穩(wěn)定在一個(gè)范圍值內(nèi)。RSP鋁合金可以用現(xiàn)有的車,磨,銑等工藝快速制作加工反射鏡基本結(jié)構(gòu),充分發(fā)揮鋁合金材料易成型的特點(diǎn)。同時(shí)可以用單點(diǎn)金剛石車削工藝加工反射鏡鏡面??梢灾苯荧@得滿足光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量高的光滑表面。RSP鋁合金的抗疲勞性好,在航空航天材料應(yīng)用中有良好的性價(jià)比。上海微聯(lián)實(shí)業(yè)的微晶鋁合金直接出貨。反射鏡微晶鋁合金原理
RSP鋁合金的微晶結(jié)構(gòu)使其可以應(yīng)用在空間觀測設(shè)備上。在空間的低溫環(huán)境下,鋁合金反射鏡與其安裝的支撐結(jié)構(gòu)的金屬材料的膨脹系數(shù)接近。降低其膨脹系數(shù)不匹配的影響,可以避免了光機(jī)系統(tǒng)材料膨脹系數(shù)不一致帶來的熱應(yīng)力和應(yīng)變。保證其光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)長期穩(wěn)定在一個(gè)范圍值內(nèi)。在光學(xué)模具中也有很好的應(yīng)用,專門批號的鋁合金具有硬度高,高平整度,高模次率的優(yōu)點(diǎn)。RSP鋁合金可以用現(xiàn)有的車,磨,銑等工藝快速制作加工反射鏡基本結(jié)構(gòu),充分發(fā)揮鋁合金材料易成型的特點(diǎn)。同時(shí)可以用單點(diǎn)金剛石車削工藝加工反射鏡鏡面。可以直接獲得滿足光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量高的光滑表面。RSP鋁合金的抗疲勞性好,在航空航天材料應(yīng)用中有良好的性價(jià)比。RSP鋁合金熱穩(wěn)定性和機(jī)械穩(wěn)定性好,可以應(yīng)用在高精密工業(yè)半導(dǎo)體部件上??梢宰鼋Y(jié)構(gòu)支撐件。通用的微晶鋁合金衛(wèi)星用的反射鏡的微晶鋁合金。
上海微聯(lián)實(shí)業(yè)的微晶鋁合金材料的應(yīng)用。RSA-905微晶結(jié)構(gòu),適合精密拋光加工,應(yīng)用反射鏡和光學(xué)透鏡模具。特點(diǎn):1,表面平整度好小于1nm2,不需要在表面鍍層3,成型后穩(wěn)定性高4,熱膨脹系數(shù)低5,高導(dǎo)熱率6,輕量化解決方案。RSA-443熱穩(wěn)定性和機(jī)械性能高,可以應(yīng)用于高精密工業(yè)半導(dǎo)體部件。特點(diǎn):1,優(yōu)越的可加工性2,比剛度高3,成型后穩(wěn)定性高4,熱膨脹系數(shù)低5,高導(dǎo)熱率6,輕量化解決方案。RSA-6061可用于獲得1nm的表面粗糙度,使其成為視覺和紅外光學(xué)系統(tǒng)的一個(gè)促成因素應(yīng)用
微晶結(jié)構(gòu)鋁合金材料的應(yīng)用,RSA-905微晶結(jié)構(gòu),適合精密拋光加工,應(yīng)用反射鏡和光學(xué)透鏡模具。特點(diǎn):表面平整度好小于1nm,不需要在表面鍍層,成型后穩(wěn)定性高,熱膨脹系數(shù)低,高導(dǎo)熱率,輕量化解決方案。RSA-443熱穩(wěn)定性和機(jī)械性能高,可以應(yīng)用于高精密工業(yè)半導(dǎo)體部件。特點(diǎn):1,優(yōu)越的可加工性2,比剛度高3,成型后穩(wěn)定性高4,熱膨脹系數(shù)低5,高導(dǎo)熱率6,輕量化解決方案??焖倮鋮s工藝使微晶合金晶粒大小分布均勻,容易得到表面高平整度。加工性能好??梢宰龉鈱W(xué)模具的微晶鋁合金。
RSP鋁合金可以應(yīng)用在空間觀測設(shè)備上。在空間的低溫環(huán)境下,鋁合金反射鏡與其安裝的支撐結(jié)構(gòu)的金屬材料的膨脹系數(shù)接近。,降低其膨脹系數(shù)不匹配的影響,可以避免了光機(jī)系統(tǒng)材料膨脹系數(shù)不一致帶來的熱應(yīng)力和應(yīng)變。保證其光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)長期穩(wěn)定在一個(gè)參數(shù)范圍值內(nèi)。RSP鋁合金可以用現(xiàn)有的車,磨,銑等工藝快速制作加工反射鏡基本結(jié)構(gòu),充分發(fā)揮鋁合金材料易成型的特點(diǎn)。同時(shí)可以用單點(diǎn)金剛石車削工藝加工反射鏡鏡面??梢灾苯荧@得滿足光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量高的光滑表面。RSP鋁合金的抗疲勞性好,實(shí)業(yè)壽命長。在航空航天材料應(yīng)用中有良好的性價(jià)比~微晶鋁合金可以做高導(dǎo)熱材料。如何分類微晶鋁合金量大從優(yōu)
微晶鋁合金是什么?問問上海微聯(lián)。反射鏡微晶鋁合金原理
RSP鋁合金可以應(yīng)用在空間觀測設(shè)備上。在空間的低溫環(huán)境下,RSP鋁合金反射鏡與其安裝的支撐結(jié)構(gòu)的金屬材料的膨脹系數(shù)接近。,降低其膨脹系數(shù)不匹配的對整體設(shè)備的影響,可以避免了光機(jī)系統(tǒng)材料膨脹系數(shù)不一致帶來的熱應(yīng)力和應(yīng)變。保證其光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)長期穩(wěn)定在一個(gè)范圍值內(nèi)。RSP鋁合金可以用現(xiàn)有的車,磨,銑等工藝快速制作加工反射鏡基本結(jié)構(gòu),充分發(fā)揮鋁合金材料易成型的特點(diǎn)。同時(shí)可以用單點(diǎn)金剛石車削工藝加工反射鏡鏡面??梢灾苯荧@得滿足光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量高的光滑表面。RSP材料的抗疲勞度好,材料壽命高~反射鏡微晶鋁合金原理