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來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-01-18

    起重機(jī)用行駛部31以及搬運(yùn)車(chē)用行駛部51均能在起重機(jī)軌道20以及高架搬運(yùn)車(chē)軌道40行駛。這樣,起重機(jī)用行駛部31以及搬運(yùn)車(chē)用行駛部51是共用的結(jié)構(gòu),所以不需要以與起重機(jī)用行駛部31及搬運(yùn)車(chē)用行駛部51不同的其他結(jié)構(gòu)進(jìn)行制造,能夠減少懸掛式起重機(jī)30以及高架搬運(yùn)車(chē)50的制造成本。此外,可以由一臺(tái)懸掛式起重機(jī)30使用多臺(tái)(例如兩臺(tái))起重機(jī)用行駛部31。根據(jù)該結(jié)構(gòu),能夠經(jīng)由桅桿32適當(dāng)?shù)乇3肿鳛橹亓课锏妮d置部39以及物品2等。起重機(jī)用行駛部31以及搬運(yùn)車(chē)用行駛部51具備共用的車(chē)輪71a以及供車(chē)輪71a安裝的行駛部主體71b。多個(gè)車(chē)輪71a分別與起重機(jī)軌道20或者高架搬運(yùn)車(chē)軌道40的下方的內(nèi)表面抵接。供多個(gè)車(chē)輪71a安裝的行駛部主體71b具備用于驅(qū)動(dòng)車(chē)輪71a的行駛驅(qū)動(dòng)部、或者各種傳感器。起重機(jī)軌道20以及高架搬運(yùn)車(chē)軌道40具備供電部70。供電部70具有供電導(dǎo)軌75、以及被設(shè)置于供電導(dǎo)軌75的非接觸供電線76。供電部70被配置于起重機(jī)軌道20以及高架搬運(yùn)車(chē)軌道40的下方,沿著起重機(jī)軌道20以及高架搬運(yùn)車(chē)軌道40連續(xù)地或者斷續(xù)地設(shè)置。另外,在懸掛式起重機(jī)30的安裝部36以及高架搬運(yùn)車(chē)50的安裝部52a設(shè)置有受電部73。受電部73經(jīng)由非接觸供電線76而受電,向行駛部主體71b等供給電力。錫山區(qū)專業(yè)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。無(wú)錫專業(yè)商鋪搬運(yùn)電話

    所述存儲(chǔ)庫(kù)具備:在上下方向設(shè)置多層來(lái)保管物品的保管部、用于交接物品的交接口、沿著保管部以及交接口設(shè)置的起重機(jī)軌道、沿著起重機(jī)軌道行駛的起重機(jī)用行駛部、從起重機(jī)用行駛部垂下的桅桿、以及具有被桅桿引導(dǎo)地升降的物品移載部并且在保管部與交接口之間搬運(yùn)物品的懸掛式起重機(jī);高架搬運(yùn)車(chē)軌道,其被設(shè)置于存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域之外,沿著交接口以及處理裝置的裝載端口延伸至規(guī)定區(qū)域;高架搬運(yùn)車(chē),其具有沿著高架搬運(yùn)車(chē)軌道行駛的搬運(yùn)車(chē)用行駛部、以及保持并升降物品的物品保持部,并且在交接口與裝載端口之間搬運(yùn)物品;以及連結(jié)軌道,其連結(jié)起重機(jī)軌道與高架搬運(yùn)車(chē)軌道,起重機(jī)用行駛部能夠從起重機(jī)軌道通過(guò)連結(jié)軌道進(jìn)入高架搬運(yùn)車(chē)軌道,在高架搬運(yùn)車(chē)軌道行駛至規(guī)定區(qū)域,或者能夠從規(guī)定區(qū)域進(jìn)入高架搬運(yùn)車(chē)軌道行駛至連結(jié)軌道,通過(guò)連結(jié)軌道進(jìn)入起重機(jī)軌道而在起重機(jī)軌道行駛。另外,起重機(jī)軌道、高架搬運(yùn)車(chē)軌道、以及連結(jié)軌道的與起重機(jī)用行駛部行駛的方向正交的剖面形狀也可相同或者大致相同。另外,起重機(jī)用行駛部與搬運(yùn)車(chē)用行駛部也可具備共用的車(chē)輪以及供車(chē)輪安裝的行駛部主體。另外,高架搬運(yùn)車(chē)在從停止?fàn)顟B(tài)開(kāi)始基于搬運(yùn)車(chē)用行駛部的行駛時(shí)。宜興質(zhì)量商鋪搬運(yùn)費(fèi)用濱湖區(qū)寫(xiě)字樓商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。

    圖7~圖9是表示通過(guò)高架搬運(yùn)車(chē)50搬運(yùn)物品2時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。在圖7~圖9中示出從第二保管區(qū)域sa2開(kāi)始以保管區(qū)域sa1或者裝置區(qū)域ta1為下一個(gè)搬運(yùn)目的地的物品2被第二起重機(jī)40b載置于第二交接端口30b的例子。例如,如圖7所示,在物品2被載置于在第二保管區(qū)域sa2的+y側(cè)端部和-x側(cè)配置的第二交接端口30b的情況下,控制裝置60(參照?qǐng)D1)針對(duì)高架搬運(yùn)車(chē)50進(jìn)行指示以將第二保管區(qū)域sa2的第二交接端口30b的物品2搬運(yùn)至保管區(qū)域sa1的交接端口30a。高架搬運(yùn)車(chē)50沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12移動(dòng)至第二交接端口30b,使橫向伸出機(jī)構(gòu)55向+x方向突出,并驅(qū)動(dòng)升降驅(qū)動(dòng)部54使保持部53下降,由此通過(guò)保持部53保持第二交接端口30b的物品2。此外,高架搬運(yùn)車(chē)50根據(jù)來(lái)自控制裝置60等的信息,獲取以下信息:接收到的物品2的搬運(yùn)目的地是在保管區(qū)域sa1的+y側(cè)端部和+x側(cè)配置的交接端口30a。此外,第二起重機(jī)40b和高架搬運(yùn)車(chē)50在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12內(nèi),例如沿與順時(shí)針相同方向環(huán)繞行駛。其結(jié)果是,能夠減少第二起重機(jī)40b與高架搬運(yùn)車(chē)50產(chǎn)生干擾的時(shí)刻、和高架搬運(yùn)車(chē)50彼此產(chǎn)生干擾的時(shí)刻。另外。

    如圖10所示,保管部220(或者交接端口330)在、第二裝置區(qū)域ta1、ta2中也可以配置于、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp的上方。根據(jù)該結(jié)構(gòu),能夠?qū)⒀b載端口lp的上方的空間作為保管區(qū)域有效地活用。此外,針對(duì)該保管部220(或者交接端口230),、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車(chē)50雙方能夠進(jìn)行物品2的交接。但是,在該結(jié)構(gòu)中,高架搬運(yùn)車(chē)50無(wú)法針對(duì)裝載端口lp直接進(jìn)行物品2的交接。另一方面,、第二起重機(jī)40a、40b能夠針對(duì)裝載端口lp進(jìn)行物品2的交接。另外,如圖10所示,也可以在、第二處理裝置tl1、tl2與、第二處理裝置tl1、tl2之間設(shè)置保管架80。保管架80在內(nèi)部的上下方向和左右方向(y方向)設(shè)置多個(gè)保管部320,并在上表面80a設(shè)置有交接端口330。根據(jù)該結(jié)構(gòu),能夠?qū)⒃?、第二處理裝置tl1、tl2之間產(chǎn)生的空間作為保管區(qū)域有效地活用。針對(duì)保管架80的保管部320,、第二起重機(jī)40能夠進(jìn)行物品2的交接。另外,針對(duì)保管架80的上表面80a的交接端口330,、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車(chē)50雙方能夠進(jìn)行物品2的交接。另外,、第二起重機(jī)40a、40b能夠在保管部220與保管部320之間搬運(yùn)物品2。此外,在圖10中,示出設(shè)置保管部220和保管架80雙方的例子,但也可以代替該結(jié)構(gòu)。錫山區(qū)貨車(chē)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。

    第二機(jī)架間軌道44與機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41以及第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42各自的一方的端部連結(jié)。機(jī)架間軌道43以及第二機(jī)架間軌道44分別使直線狀的兩根軌道并行地延伸,在兩根軌道之間設(shè)置有多個(gè)連接軌道。高架搬運(yùn)車(chē)50沿著高架搬運(yùn)車(chē)軌道40移動(dòng),將物品2在處理裝置tl的裝載端口lp、與存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a、10b的交接口12之間進(jìn)行物品2的交接。另外,高架搬運(yùn)車(chē)50除了裝載端口lp以及交接口12之外,還在與沿著高架搬運(yùn)車(chē)軌道40(外繞軌道41a、42a等)設(shè)置的暫存區(qū)st之間進(jìn)行物品2的移載。處理裝置tl例如是曝光裝置、涂布機(jī)顯影載置、制膜裝置或者蝕刻裝置等,對(duì)被收納于搬運(yùn)系統(tǒng)100搬運(yùn)的物品2的半導(dǎo)體晶圓實(shí)施各種處理。圖5是表示高架搬運(yùn)車(chē)50的一個(gè)例子的圖。如圖5所示,高架搬運(yùn)車(chē)50具有搬運(yùn)車(chē)用行駛部51和主體部52。搬運(yùn)車(chē)用行駛部51與起重機(jī)用行駛部31相同,具備未圖示的行駛驅(qū)動(dòng)部以及多個(gè)車(chē)輪71a(參照?qǐng)D6),沿著高架搬運(yùn)車(chē)軌道40行駛。行駛驅(qū)動(dòng)部例如也可是被設(shè)置于搬運(yùn)車(chē)用行駛部51并驅(qū)動(dòng)車(chē)輪71a的電動(dòng)馬達(dá),也可是使用高架搬運(yùn)車(chē)軌道40設(shè)置的線性馬達(dá)。主體部52經(jīng)由安裝部52a被安裝于搬運(yùn)車(chē)用行駛部51的下部。梁溪區(qū)企業(yè)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。宜興商鋪搬運(yùn)價(jià)錢(qián)

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    、第二桅桿42a、42b形成為中空或者實(shí)心的棒狀,截面形成為圓形狀、橢圓形狀、長(zhǎng)圓形狀、或者四邊形狀等多邊形狀。、第二桅桿42a、42b的下端被設(shè)定為從地板面隔開(kāi)規(guī)定間隔的狀態(tài)。在圖4中,在、第二行駛部41a、41b的下方經(jīng)由安裝部46安裝有上部支承體47。、第二桅桿42a、42b安裝于上部支承體47的下表面?zhèn)?,并成為從、第二行駛?1a、41b懸掛的狀態(tài)。例如可以使用螺釘和螺母等緊固部件,也可以使用焊接等在上部支承體47安裝、第二桅桿42a、42b。此外,、第二桅桿42a、42b可以是一根,例如,可以分別設(shè)置于、第二行駛部41a、41b的行駛方向的前后。另外,、第二起重機(jī)40a、40b使用兩臺(tái)、第二行駛部41a、41b(參照?qǐng)D2和圖3)。兩臺(tái)、第二行駛部41a、41b沿行駛方向排列配置,被上部支承體47連結(jié)。、第二桅桿42a、42b被兩臺(tái)、第二行駛部41a、41b支承。這樣,能夠利用兩臺(tái)、第二行駛部41a、41b可靠地支承作為重物的、第二桅桿42a、42b。此外,、第二起重機(jī)40a、40b并不限定于使用兩臺(tái)、第二行駛部41a、41b,也可以使用1臺(tái)或者3臺(tái)以上的、第二行駛部41a、41b。起重機(jī)40a的行駛部41a能夠從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道地進(jìn)行行駛。即。無(wú)錫專業(yè)商鋪搬運(yùn)電話

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