具體實施方式以下,參照附圖對實施方式進行說明。在以下的各圖中,使用xyz坐標系對圖中的方向進行說明。在該xyz坐標系中,將鉛直方向設為z方向,將水平方向設為x方向、y方向。x方向是水平方向內的一個方向,是沿著后述的區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14的方向。y方向是與x方向正交的方向,是沿著區(qū)段內頂棚軌道11的直線部11a、和第二區(qū)段內頂棚軌道12的直線部12a的方向。另外,關于x、y、z方向的各方向,適當?shù)貙⑴c箭頭相同一側稱為+側(例如,+x側),將其相反側稱為-x側(例如,-x側)。圖1是表示本實施方式所涉及的搬運系統(tǒng)100的一個例子的俯視圖。圖1所示的搬運系統(tǒng)100例如設置于半導體設備的制造工廠等,對收容有在半導體設備的制造中使用的半導體晶圓的foup、或者收容有中間掩模等的中間掩模盒等物品2進行搬運。在本實施方式中,使用物品2是foup的例子來進行說明,但物品2也可以是除foup以外的物品。另外,搬運系統(tǒng)100也能夠應用于除半導體制造領域以外的設備,物品2可以是由用于設置搬運系統(tǒng)100的設備處理的各種物品。在本實施方式中。濱湖區(qū)正規(guī)商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。新吳區(qū)質量商鋪搬運
能夠使在作業(yè)者的進入被禁止的作業(yè)者進入禁止區(qū)域內運轉的懸掛式起重機、經由被設置于允許作業(yè)者的通行的作業(yè)者通路上的高架搬運車軌道適當?shù)匾苿?。另外,在?guī)定區(qū)域是配置有與上述存儲庫不同的存儲庫的其它存儲庫區(qū)域的情況下,能夠使懸掛式起重機容易在存儲庫區(qū)域內與其它存儲庫區(qū)域內之間移動。另外,在高架搬運車軌道基于上述機架內環(huán)繞軌道、第二機架內環(huán)繞軌道、機架間軌道以及第二機架間軌道,存儲庫的起重機軌道利用連結軌道與機架間軌道連結,其它存儲庫的起重機軌道利用第二連結軌道與第二機架間軌道連結的情況下,能夠使懸掛式起重機經由以及第二機架內環(huán)繞軌道以及以及第二機架間軌道,可靠地在存儲庫與其它存儲庫之間移動。另外,在規(guī)定區(qū)域是維護區(qū)域的情況下,能夠使懸掛式起重機容易在存儲庫區(qū)域內與維護區(qū)域之間移動。另外,在規(guī)定區(qū)域包含懸掛式起重機的初始投入部的情況下,使懸掛式起重機從初始投入部向各存儲庫區(qū)域內移動,由此不需要在各存儲庫中將懸掛式起重機安裝于起重機軌道的作業(yè),能夠提高作業(yè)性。附圖說明圖1是表示本實施方式的搬運系統(tǒng)的一個例子的俯視圖。圖2是放大表示圖1中的存儲庫區(qū)域的俯視圖。圖3是放大表示圖1中的規(guī)定區(qū)域的俯視圖?;萆絽^(qū)質量商鋪搬運收費惠山區(qū)寫字樓商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
起重機軌道20被設置于在懸掛式起重機30的運轉中禁止作業(yè)者的進入的作業(yè)者禁止進入區(qū)域10f的上方。并且,在懸掛式起重機30的運轉中也可以禁止作業(yè)者向存儲庫區(qū)域10a、10b整體的進入。圖3是表示規(guī)定區(qū)域的一個例子的圖。圖3所示的規(guī)定區(qū)域是與存儲庫區(qū)域10a不同地分開配置的其它存儲庫區(qū)域10b。如圖3所示,在本實施方式中,存儲庫區(qū)域10b是與上述存儲庫區(qū)域10a相同的結構,但也可是其它結構。存儲庫10被配置于存儲庫區(qū)域10b。存儲庫10與存儲庫區(qū)域10a相同,具備多個保管部11、多個交接口12、起重機軌道20以及懸掛式起重機30。懸掛式起重機30在保管部11與交接口12之間搬運物品2。另外,懸掛式起重機30也在保管部11內進行將物品2從當前的貨架部向其它的貨架部的移載。圖4是表示懸掛式起重機30的一個例子的圖。如圖4所示,懸掛式起重機30具備起重機用行駛部31、桅桿32以及物品移載部34。物品移載部34具備升降臺33、以及升降驅動部35。起重機用行駛部31具備未圖示的行駛驅動部以及多個車輪71a(參照圖6),沿著起重機軌道20行駛。行駛驅動部例如也可是被設置于起重機用行駛部31并驅動車輪71a的電動馬達,也可是使用起重機軌道20設置的線性馬達。
風力搬運的分選現(xiàn)象好。海浪、潮流、洋流和濁流的搬運海浪搬運作用只在近岸淺水帶內發(fā)生,具有4種搬運方式。海面與海底水流速度上的差異,使得波浪擾動海底所挾帶的碎屑物質發(fā)生移動,其中粗粒物質多以推移和躍移方式向岸搬運,細粒物質多以懸移方式向海搬運,后在水深小于臨界水深的地方,波浪發(fā)生破碎,所挾帶來的物質堆積下來。由于波浪的瞬時速度快,能量一般較高,搬運物多為較粗的砂礫。潮流和其他各種海流與波浪不一樣,在較長時間內作定向運動,流速也較慢,故搬運的物質多為較細的粉砂和淤泥,呈懸浮狀態(tài)運移。潮流作用使海水中攜帶的細粒物質向海岸方向運動,而粗粒物質向遠離海岸方向運動。搬運冰川的搬運編輯冰川的搬運作用具有特殊的蠕移方式,特點是能力大。隨冰川的緩慢運動,大至萬噸巨石,小至土塊砂粒,均可被凍結在一起進行懸移,或在冰底受到推移。冰川泥石流可使一些風化物產生躍移。冰川搬運的分選現(xiàn)象差。[2]冰川搬運的特點主要有:(1)冰川是固體流。其搬運力和搬運量不受流速控制,而主要與冰川規(guī)模有關。冰川大,搬運量大,搬運物粒徑大;反之,則搬運量小,搬運物粒徑小。(2)冰川呈固體搬運,搬運力強,能將巨大巖塊搬運很遠。錫山區(qū)公司商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
在半導體制造工廠等制造工廠中,為了將收容半導體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運,提出有使用沿著鋪設于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設于地板面的軌道行駛的起重機的結構(例如,參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口,但由于在不同的軌道行駛,因此需要與高架搬運車和起重機對應地,分別設置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此,存在不僅對軌道的設置花費成本,需要用于鋪設各軌道的空間,而且需要使處理裝置或者保管部等的設置位置與兩個軌道對應,因此對處理裝置等的布局產生限制的問題。技術實現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設置成本,并且分擔高架搬運車與起重機的作用,由此高效地搬運物品的搬運系統(tǒng)以及搬運方法。本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)具備:區(qū)段內頂棚軌道,其從處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著處理裝置的裝載端口設置;第二區(qū)段內頂棚軌道。濱湖區(qū)質量商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司?;萆絽^(qū)貨車商鋪搬運公司
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因此無需在與、第二起重機40a、40b對應的地上側(地板面?zhèn)?設置軌道,從而能夠以低成本設置起重機用的軌道。如圖4所示,、第二起重機40a、40b分別具備、第二行駛部41a、41b、、第二桅桿42a、42b、以及、第二移送部44a、44b。、第二移送部44a、44b分別具備、第二升降臺43a、43b、、第二升降驅動部45a、45b。行駛部41a具備未圖示的行駛驅動部和多個車輪71a(參照圖6),并沿著區(qū)段內頂棚軌道11行駛。第二行駛部41b同樣具備未圖示的行駛驅動部和多個車輪71a(參照圖6),并沿著第二區(qū)段內頂棚軌道12行駛。行駛驅動部例如可以是設置于、第二行駛部41a、41b且驅動車輪71a的電動馬達,也可以是使用頂棚軌道10設置的線性馬達。行駛部41a也可以能夠從區(qū)段內頂棚軌道11駛入區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進行行駛。第二行駛部41b也可以能夠從第二區(qū)段內頂棚軌道12駛入區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進行行駛。根據(jù)該結構,、第二起重機40a、40b根據(jù)需要而能夠容易地經由區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14在區(qū)段內頂棚軌道11與第二區(qū)段內頂棚軌道12之間移動。、第二桅桿42a、42b從、第二行駛部41a、41b垂下并沿上下方向延伸,引導、第二升降臺43a、43b。新吳區(qū)質量商鋪搬運
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