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來源: 發(fā)布時(shí)間:2021-12-15

    其從第二處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開并且沿著第二處理裝置的裝載端口設(shè)置;區(qū)段間頂棚軌道,其將區(qū)段內(nèi)頂棚軌道與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道連結(jié);保管部和第二保管部,它們?cè)趨^(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方沿上下方向設(shè)置有多層,并用于保管物品;交接端口和第二交接端口,它們?cè)O(shè)置于區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方;起重機(jī),其具備沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的行駛部、從行駛部垂下的桅桿、以及被桅桿引導(dǎo)而升降的移送部,并且在處理裝置的裝載端口、保管部、以及交接端口之間搬運(yùn)物品;第二起重機(jī),其具備沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導(dǎo)而升降的第二移送部,并且在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運(yùn)物品;以及高架搬運(yùn)車,其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅(qū)動(dòng)部、以及使升降驅(qū)動(dòng)部向側(cè)方突出的橫向伸出機(jī)構(gòu),并且在交接端口與第二交接端口之間搬運(yùn)物品,上述行駛部沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛。另外,可以起重機(jī)是懸掛式起重機(jī)。另外。惠山區(qū)長短途商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。宜興質(zhì)量商鋪搬運(yùn)收費(fèi)

    行駛部主體71b具備用于驅(qū)動(dòng)車輪71a的行駛驅(qū)動(dòng)部、和各種傳感器。頂棚軌道10具備供電部70。供電部70具有供電導(dǎo)軌75、和設(shè)置于供電導(dǎo)軌75的非接觸供電線76。供電部70配置于頂棚軌道10的下方,并沿著頂棚軌道10連續(xù)設(shè)置或者間斷設(shè)置。另外,在、第二起重機(jī)40a、40b的安裝部46和高架搬運(yùn)車50的安裝部52a設(shè)置有電力接收部73。電力接收部73經(jīng)由非接觸供電線76接收電力,并向行駛部主體71b等供給電力。如圖1所示,控制裝置60統(tǒng)一控制搬運(yùn)系統(tǒng)100??刂蒲b置60通過無線或者有線的通信來控制、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50的動(dòng)作。此外,控制裝置60也可以分割為控制、第二起重機(jī)40a、40b的控制裝置、和控制高架搬運(yùn)車50的控制裝置。另外,也可以通過不同的控制裝置來控制起重機(jī)40a與第二起重機(jī)40b。在上述的搬運(yùn)系統(tǒng)100中,起重機(jī)40a在保管區(qū)域sa1內(nèi)搬運(yùn)物品2。例如,起重機(jī)40a沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11朝向一個(gè)方向,例如圖1中的逆時(shí)針的方向行駛,并在處理裝置tl1的裝載端口lp、保管部20a、以及交接端口30a之間搬運(yùn)物品2。第二起重機(jī)40b在第二保管區(qū)域sa2內(nèi)搬運(yùn)物品2。例如,第二起重機(jī)40b沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12朝向一個(gè)方向,例如圖1中的逆時(shí)針的方向行駛。錫山區(qū)質(zhì)量商鋪搬運(yùn)具錫山區(qū)短途商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。

    經(jīng)由第二連結(jié)軌道60b向存儲(chǔ)庫區(qū)域10b內(nèi)的起重機(jī)軌道20移動(dòng)(參照?qǐng)D9的箭頭)。第二機(jī)架間軌道44、第二連結(jié)軌道60b以及起重機(jī)軌道20各自剖面形狀相同,所以懸掛式起重機(jī)30的起重機(jī)用行駛部31能夠無障礙地從第二機(jī)架間軌道44經(jīng)由第二連結(jié)軌道60b進(jìn)入起重機(jī)軌道20。懸掛式起重機(jī)30構(gòu)成被設(shè)置于存儲(chǔ)庫區(qū)域10b的存儲(chǔ)庫10的一部分,能夠在存儲(chǔ)庫區(qū)域10b內(nèi)的保管部11與交接口12之間進(jìn)行物品2的交接。此外,在懸掛式起重機(jī)30的移動(dòng)中,在從當(dāng)前的軌道向下一個(gè)軌道換乘時(shí)、或者以曲線狀移動(dòng)時(shí)也可降低移動(dòng)速度,防止下垂的桅桿32因振動(dòng)或者離心力等向外側(cè)擺動(dòng)。另外,懸掛式起重機(jī)30走從存儲(chǔ)庫區(qū)域10b向存儲(chǔ)庫區(qū)域10a移動(dòng)的情況下,與上述相同,首先,從存儲(chǔ)庫區(qū)域10b內(nèi)的起重機(jī)軌道20c經(jīng)由第二連結(jié)軌道60b向第二機(jī)架間軌道44移動(dòng)。接著,懸掛式起重機(jī)30向第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42的外繞軌道42a移動(dòng),經(jīng)由連接軌道42c向內(nèi)繞軌道42b移動(dòng)。接著,懸掛式起重機(jī)30從機(jī)架間軌道43側(cè)的連接軌道42c向外繞軌道42a移動(dòng),從外繞軌道42a向機(jī)架間軌道43移動(dòng),從機(jī)架間軌道43經(jīng)由連結(jié)軌道60a向存儲(chǔ)庫區(qū)域10a內(nèi)的起重機(jī)軌道20移動(dòng)。如上所述,根據(jù)本實(shí)施方式的搬運(yùn)系統(tǒng)100。

    具體實(shí)施方式以下,參照附圖對(duì)實(shí)施方式進(jìn)行說明。在以下的各圖中,使用xyz坐標(biāo)系對(duì)圖中的方向進(jìn)行說明。在該xyz坐標(biāo)系中,將鉛直方向設(shè)為z方向,將水平方向設(shè)為x方向、y方向。x方向是水平方向內(nèi)的一個(gè)方向,是沿著后述的區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14的方向。y方向是與x方向正交的方向,是沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a、和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的方向。另外,關(guān)于x、y、z方向的各方向,適當(dāng)?shù)貙⑴c箭頭相同一側(cè)稱為+側(cè)(例如,+x側(cè)),將其相反側(cè)稱為-x側(cè)(例如,-x側(cè))。圖1是表示本實(shí)施方式所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)100的一個(gè)例子的俯視圖。圖1所示的搬運(yùn)系統(tǒng)100例如設(shè)置于半導(dǎo)體設(shè)備的制造工廠等,對(duì)收容有在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中使用的半導(dǎo)體晶圓的foup、或者收容有中間掩模等的中間掩模盒等物品2進(jìn)行搬運(yùn)。在本實(shí)施方式中,使用物品2是foup的例子來進(jìn)行說明,但物品2也可以是除foup以外的物品。另外,搬運(yùn)系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備,物品2可以是由用于設(shè)置搬運(yùn)系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。在本實(shí)施方式中。新吳區(qū)長途商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。

    電池的電量也逐漸被消耗掉。由于電池在移動(dòng)設(shè)備上,同時(shí)可被在線監(jiān)控,因此在電池的電量掉到一定的設(shè)定值后,搬運(yùn)系統(tǒng)會(huì)提醒要對(duì)電池進(jìn)行充電操作。充電可以利用移動(dòng)設(shè)備的機(jī)動(dòng)性對(duì)其到指定充電站位置自動(dòng)充電也可以進(jìn)行電池直接置換操作。坦克鏈類:有些應(yīng)用場(chǎng)景下,離散搬運(yùn)設(shè)備的行程不大,也沒有很多角度換向等動(dòng)作,則可以繼續(xù)采用傳統(tǒng)的動(dòng)力線纜的方式進(jìn)行供電。為了保護(hù)好動(dòng)力電纜不會(huì)隨著設(shè)備的移動(dòng)造成損毀,可以采用線纜坦克鏈的方式將動(dòng)力電纜保護(hù)起來。線纜坦克鏈技能有效保證移動(dòng)搬運(yùn)設(shè)備移動(dòng)的機(jī)動(dòng)性不受影響,同時(shí)也能有效的保證動(dòng)力線的完整。劃觸線對(duì)于移動(dòng)設(shè)備的供電,傳統(tǒng)和應(yīng)用的一種方式是劃觸線供電。在移動(dòng)設(shè)備上安裝有碳刷機(jī)構(gòu),通過與劃觸線的接觸,將動(dòng)力電傳輸?shù)揭苿?dòng)設(shè)備本體上做為動(dòng)力輸入。劃觸線可以根據(jù)移動(dòng)路線的需要,做成有一定曲率的。非接觸供電對(duì)于離散類移動(dòng)設(shè)備還有一類特殊的供電方式為無接觸式供電方式。通常采用兩根電纜鋪設(shè)在移動(dòng)的路徑的地面下方,兩根電纜的電流成反向流動(dòng),在兩根電纜之間形成強(qiáng)烈磁場(chǎng)。通過在移動(dòng)設(shè)備上安裝電力感應(yīng)裝置,使移動(dòng)設(shè)備在經(jīng)過鋪設(shè)有此類電纜的地面處時(shí),將磁場(chǎng)轉(zhuǎn)換為電能。梁溪區(qū)品質(zhì)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。無錫長短途商鋪搬運(yùn)收費(fèi)

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    以規(guī)定的速度使升降臺(tái)33下降或者上升。另外,驅(qū)動(dòng)部35b被控制裝置80等控制,將升降臺(tái)33保持在目標(biāo)的高度。升降驅(qū)動(dòng)部35雖被設(shè)置于上部支承體37(起重機(jī)用行駛部31),但并不限于該結(jié)構(gòu)。升降驅(qū)動(dòng)部35例如也可被設(shè)置于升降臺(tái)33。作為升降驅(qū)動(dòng)部35被設(shè)置于升降臺(tái)33的構(gòu)成例如,也可以將從上部支承體37吊掛下來的帶狀物或者線材等通過搭載于升降臺(tái)33的升降機(jī)等進(jìn)行卷繞或抽出而使升降臺(tái)33升降。另外,也可將驅(qū)動(dòng)小齒輪的電動(dòng)馬達(dá)等搭載于升降臺(tái)33,將該小齒輪嚙合的齒條形成于桅桿32,驅(qū)動(dòng)電動(dòng)馬達(dá)等使小齒輪旋轉(zhuǎn),由此使升降臺(tái)33升降。如圖1~圖3所示,高架搬運(yùn)車軌道40被配置于存儲(chǔ)庫區(qū)域10a外。高架搬運(yùn)車軌道40沿著處理裝置tl的裝載端口lp設(shè)置,延伸到存儲(chǔ)庫區(qū)域(規(guī)定區(qū)域)10b。高架搬運(yùn)車軌道40除了懸掛式起重機(jī)30的載入時(shí)都被設(shè)置于在高架搬運(yùn)車50的運(yùn)轉(zhuǎn)中允許作業(yè)者的通行的作業(yè)者通路10g的上方。另外,懸掛式起重機(jī)30的起重機(jī)用行駛部31能夠在高架搬運(yùn)車軌道40行駛。根據(jù)該結(jié)構(gòu),能夠使在作業(yè)者的進(jìn)入被禁止的作業(yè)者進(jìn)入禁止區(qū)域10f內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn)的懸掛式起重機(jī)30、經(jīng)由被設(shè)置于作業(yè)者的通行被允許的作業(yè)者通路10g上的高架搬運(yùn)車軌道40而適當(dāng)?shù)匾苿?dòng)。宜興質(zhì)量商鋪搬運(yùn)收費(fèi)

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