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來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2021-11-19

    也可在使懸掛式起重機(jī)30從存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域(10b、10c、10d)移動(dòng)的情況下使用第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42,在使懸掛式起重機(jī)30從規(guī)定區(qū)域向存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a移動(dòng)的情況下使用機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41。另外,也可在使懸掛式起重機(jī)30從存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域(10b、10c、10d)移動(dòng)的情況下,以及在使懸掛式起重機(jī)30從規(guī)定區(qū)域向存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a移動(dòng)的情況下,使用相同的機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道。另外,在法律允許的范圍內(nèi),引用作為日本申請(qǐng)的特愿2017-128569以及本說(shuō)明書(shū)所引用的全部的文獻(xiàn)的內(nèi)容并作為正文記載的一部分。附圖標(biāo)記的說(shuō)明lp…裝載端口、mn…維護(hù)裝置;st…暫存區(qū);tl…處理裝置;2…物品;10…存儲(chǔ)庫(kù);10a…存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域;10b…存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域(規(guī)定區(qū)域);10c…維護(hù)區(qū)域(規(guī)定區(qū)域);10d…規(guī)定區(qū)域;10f…作業(yè)者進(jìn)入禁止區(qū)域;10g…作業(yè)者通路;11…保管部;12…交接口;20,20c,20d…起重機(jī)軌道;30…懸掛式起重機(jī);31…起重機(jī)用行駛部;32…桅桿;33…升降臺(tái);34…物品移載部;35…升降驅(qū)動(dòng)部;40…高架搬運(yùn)車軌道;41…機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道;41a、42a…外繞軌道;41b、42b…內(nèi)繞軌道;41c、42c…連接軌道;42…第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道;43…機(jī)架間軌道;44…第二機(jī)架間軌道;50…高架搬運(yùn)車?;萆絽^(qū)品質(zhì)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。徐州正規(guī)商鋪搬運(yùn)公司電話

    這兩種方案中的路徑并不相同,因此方案1和方案2雖然都已經(jīng)遍歷了所有的上游和下游,但是用的時(shí)間確實(shí)大相徑庭的。事實(shí)上,如果我們開(kāi)始出發(fā)點(diǎn)不是B1點(diǎn),而是B2點(diǎn),此時(shí)又會(huì)有另外兩種方案3和方案4,路徑也與上述的不同,自然用的時(shí)間也不同。我們可以按照先按方案1從B1點(diǎn)出發(fā)搬運(yùn)完成后回到B2點(diǎn),然后按照方案3從B2點(diǎn)出發(fā)搬運(yùn)完成后回到B1點(diǎn),然后再按照方案2從B1點(diǎn)出發(fā)搬運(yùn)完成后回到B2點(diǎn),后按照方案4從B2點(diǎn)出發(fā)搬運(yùn)完成后回到B1。以上通過(guò)4次不同的復(fù)合搬運(yùn)作業(yè),完成了4次不同的遍歷方式,涵蓋了所有的上下游的搬運(yùn)方案,如果4中搬運(yùn)方案出現(xiàn)的概率平均,并且4中方案的搬運(yùn)周期分別為T(mén)1、T2、3、T4,則可以得到從上游到下游的總周期時(shí)間為:T1+T2+T3+T4??梢缘玫娇偟钠骄蕿椋篍=2*I*4*3600/(T1+T2+T3+T4);注:以上將2對(duì)2的所有的搬運(yùn)方案當(dāng)做一個(gè)循環(huán)時(shí)間來(lái)作為搬運(yùn)周期,其中的搬運(yùn)路徑總共計(jì)算了16次(其中有若干重復(fù)),而實(shí)際中很多情況下,上游下游的數(shù)量要比2多的多,如果按照上邊的計(jì)算流程來(lái)估算效率,計(jì)算的工作量非常大。如果有m個(gè)上游點(diǎn),有n個(gè)下游點(diǎn),從某個(gè)下游點(diǎn)將每個(gè)上游點(diǎn)以此搬運(yùn)到所有的n點(diǎn),總共的搬運(yùn)方案有n*m!。江陰學(xué)校商鋪搬運(yùn)電話濱湖區(qū)企業(yè)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。

    起重機(jī)保管部91使能夠使用的多個(gè)懸掛式起重機(jī)30待機(jī)。規(guī)定區(qū)域10d也可保管維護(hù)已結(jié)束的懸掛式起重機(jī)30。初始投入部90被設(shè)置于在規(guī)定區(qū)域10d設(shè)置的起重機(jī)軌道20d的端部,例如利用升降器等保持并抬起懸掛式起重機(jī)30,使起重機(jī)用行駛部31進(jìn)入起重機(jī)軌道20d,由此將懸掛式起重機(jī)30投入到起重機(jī)軌道20d。被投入到起重機(jī)軌道20c的懸掛式起重機(jī)30從起重機(jī)軌道20c經(jīng)由第二連結(jié)軌道60b沿著第二機(jī)架間軌道44移動(dòng),與上述實(shí)施方式相同,從第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42側(cè)向存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a移動(dòng),從而能夠在存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a中使用。這樣,在規(guī)定區(qū)域10d包含懸掛式起重機(jī)30的初始投入部90的情況下,使懸掛式起重機(jī)30從初始投入部90向各存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a內(nèi)移動(dòng),由此不需要在各存儲(chǔ)庫(kù)10中將懸掛式起重機(jī)30安裝于起重機(jī)軌道20這樣的作業(yè),能夠提高便利性。以上,雖對(duì)實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明,但本發(fā)明并不限于上述說(shuō)明,在不脫離本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種改變。例如,在上述實(shí)施方式中,在使懸掛式起重機(jī)30從存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域(10b、10c、10d)移動(dòng)的情況下使用機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41,在使懸掛式起重機(jī)30從規(guī)定區(qū)域向存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a移動(dòng)的情況下使用了第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42,但并不限于該結(jié)構(gòu)。例如。

    因此無(wú)需在與、第二起重機(jī)40a、40b對(duì)應(yīng)的地上側(cè)(地板面?zhèn)?設(shè)置軌道,從而能夠以低成本設(shè)置起重機(jī)用的軌道。如圖4所示,、第二起重機(jī)40a、40b分別具備、第二行駛部41a、41b、、第二桅桿42a、42b、以及、第二移送部44a、44b。、第二移送部44a、44b分別具備、第二升降臺(tái)43a、43b、、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b。行駛部41a具備未圖示的行駛驅(qū)動(dòng)部和多個(gè)車輪71a(參照?qǐng)D6),并沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11行駛。第二行駛部41b同樣具備未圖示的行駛驅(qū)動(dòng)部和多個(gè)車輪71a(參照?qǐng)D6),并沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12行駛。行駛驅(qū)動(dòng)部例如可以是設(shè)置于、第二行駛部41a、41b且驅(qū)動(dòng)車輪71a的電動(dòng)馬達(dá),也可以是使用頂棚軌道10設(shè)置的線性馬達(dá)。行駛部41a也可以能夠從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進(jìn)行行駛。第二行駛部41b也可以能夠從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進(jìn)行行駛。根據(jù)該結(jié)構(gòu),、第二起重機(jī)40a、40b根據(jù)需要而能夠容易地經(jīng)由區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14在區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12之間移動(dòng)。、第二桅桿42a、42b從、第二行駛部41a、41b垂下并沿上下方向延伸,引導(dǎo)、第二升降臺(tái)43a、43b。錫山區(qū)短途商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。

    如圖10所示,保管部220(或者交接端口330)在、第二裝置區(qū)域ta1、ta2中也可以配置于、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp的上方。根據(jù)該結(jié)構(gòu),能夠?qū)⒀b載端口lp的上方的空間作為保管區(qū)域有效地活用。此外,針對(duì)該保管部220(或者交接端口230),、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50雙方能夠進(jìn)行物品2的交接。但是,在該結(jié)構(gòu)中,高架搬運(yùn)車50無(wú)法針對(duì)裝載端口lp直接進(jìn)行物品2的交接。另一方面,、第二起重機(jī)40a、40b能夠針對(duì)裝載端口lp進(jìn)行物品2的交接。另外,如圖10所示,也可以在、第二處理裝置tl1、tl2與、第二處理裝置tl1、tl2之間設(shè)置保管架80。保管架80在內(nèi)部的上下方向和左右方向(y方向)設(shè)置多個(gè)保管部320,并在上表面80a設(shè)置有交接端口330。根據(jù)該結(jié)構(gòu),能夠?qū)⒃?、第二處理裝置tl1、tl2之間產(chǎn)生的空間作為保管區(qū)域有效地活用。針對(duì)保管架80的保管部320,、第二起重機(jī)40能夠進(jìn)行物品2的交接。另外,針對(duì)保管架80的上表面80a的交接端口330,、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50雙方能夠進(jìn)行物品2的交接。另外,、第二起重機(jī)40a、40b能夠在保管部220與保管部320之間搬運(yùn)物品2。此外,在圖10中,示出設(shè)置保管部220和保管架80雙方的例子,但也可以代替該結(jié)構(gòu)。梁溪區(qū)正規(guī)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。宜興專業(yè)商鋪搬運(yùn)具

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    搬運(yùn)系統(tǒng)100在配置于、第二裝置區(qū)域ta1、ta2的、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、以及后述的、第二保管部20a、20b、、第二交接端口30a、30b之間搬運(yùn)物品2。、第二處理裝置tl1、tl2例如是曝光裝置、涂布顯影裝置、制膜裝置、或者蝕刻裝置等,對(duì)收容于搬運(yùn)系統(tǒng)100所搬運(yùn)的物品2的半導(dǎo)體晶圓實(shí)施各種處理。各、第二處理裝置tl1、tl2分別具備兩處裝載端口lp。圖2是表示、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的一個(gè)例子的圖。在圖2中表示從+x側(cè)觀察、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的情況的一個(gè)例子。如圖1和圖2所示,處理裝置tl1在設(shè)定于制造工廠等的地板部的裝置區(qū)域ta1內(nèi)沿一個(gè)方向(y方向)排列配置。第二處理裝置tl2在第二裝置區(qū)域ta2內(nèi)沿一個(gè)方向(y方向)排列配置。、第二裝置區(qū)域ta1、tl2分別沿x方向配置多個(gè)。沿y方向排列的多個(gè)、第二處理裝置tl1、tl2沿x方向設(shè)置多列。此外,多個(gè)、第二處理裝置tl1、tl2的配置是一個(gè)例子,也可以是其他配置。另外,并不限定于、第二處理裝置tl1、tl2具備兩處裝載端口lp,也可以具備一處或者三處以上。另外,在制造工廠等中配置用于暫時(shí)保管物品2的、第二保管區(qū)域sa1、sa2。保管區(qū)域sa1與處理裝置tl1對(duì)應(yīng)設(shè)置。徐州正規(guī)商鋪搬運(yùn)公司電話

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