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來源: 發(fā)布時間:2021-09-08

    行駛部主體71b具備用于驅(qū)動車輪71a的行駛驅(qū)動部、和各種傳感器。頂棚軌道10具備供電部70。供電部70具有供電導(dǎo)軌75、和設(shè)置于供電導(dǎo)軌75的非接觸供電線76。供電部70配置于頂棚軌道10的下方,并沿著頂棚軌道10連續(xù)設(shè)置或者間斷設(shè)置。另外,在、第二起重機40a、40b的安裝部46和高架搬運車50的安裝部52a設(shè)置有電力接收部73。電力接收部73經(jīng)由非接觸供電線76接收電力,并向行駛部主體71b等供給電力。如圖1所示,控制裝置60統(tǒng)一控制搬運系統(tǒng)100。控制裝置60通過無線或者有線的通信來控制、第二起重機40a、40b和高架搬運車50的動作。此外,控制裝置60也可以分割為控制、第二起重機40a、40b的控制裝置、和控制高架搬運車50的控制裝置。另外,也可以通過不同的控制裝置來控制起重機40a與第二起重機40b。在上述的搬運系統(tǒng)100中,起重機40a在保管區(qū)域sa1內(nèi)搬運物品2。例如,起重機40a沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11朝向一個方向,例如圖1中的逆時針的方向行駛,并在處理裝置tl1的裝載端口lp、保管部20a、以及交接端口30a之間搬運物品2。第二起重機40b在第二保管區(qū)域sa2內(nèi)搬運物品2。例如,第二起重機40b沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12朝向一個方向,例如圖1中的逆時針的方向行駛。錫山區(qū)貨車商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。徐州正規(guī)商鋪搬運報價

    是在裝載端口lp的上方不設(shè)置保管部220,在、第二處理裝置tl1、tl2與、第二處理裝置tl1、tl2之間(或者裝載端口lp與裝載端口lp之間)設(shè)置保管架80的結(jié)構(gòu)。例如,也可以是在圖1所示的處理裝置tl1與處理裝置tl1之間、或者第二處理裝置tl2與第二處理裝置tl2之間(或者裝載端口lp與裝載端口lp之間)設(shè)置保管架80的結(jié)構(gòu)。根據(jù)該結(jié)構(gòu),與上述相同地,能夠?qū)⒃凇⒌诙幚硌b置tl1、tl2間(裝載端口lp間)產(chǎn)生的空間作為保管區(qū)域有效地活用。這樣,通過配置保管部220、和具備保管部320的保管架80,在搬運系統(tǒng)100中,能夠容易地使物品2的保管數(shù)量增大。此外,在搬運系統(tǒng)100中,保管部220或者保管架80的設(shè)置數(shù)量能夠任意地設(shè)定。以上,對實施方式進行了說明,但本發(fā)明并不限定于上述的說明,在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠進行各種變更。例如,在上述的搬運系統(tǒng)100中,也可以在高架搬運車50的移動路徑中配置儲料機(自動倉庫)等。儲料機例如可以設(shè)置于區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14中的任一方或者雙方。高架搬運車50可以能夠針對該儲料機的交接端口進行物品2的交接,例如,能夠在儲料機與、第二交接端口30a、30b之間搬運物品2。另外,在法律法規(guī)允許的范圍內(nèi)。江蘇寫字樓商鋪搬運打包新吳區(qū)質(zhì)量商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。

    圖4是表示懸掛式起重機的一個例子的圖。圖5是表示高架搬運車的一個例子的圖。圖6是表示起重機用行駛部以及搬運車用行駛部的一個例子的圖。圖7是表示使懸掛式起重機從存儲庫區(qū)域向規(guī)定區(qū)域移動時的移動路徑的一個例子的圖。圖8是表示與圖7接續(xù)、使懸掛式起重機從存儲庫區(qū)域向規(guī)定區(qū)域移動時的移動路徑的一個例子的圖。圖9是表示與圖8接續(xù)、使懸掛式起重機從存儲庫區(qū)域向規(guī)定區(qū)域移動時的移動路徑的一個例子的圖。圖10是表示與圖9接續(xù)、使懸掛式起重機從存儲庫區(qū)域向規(guī)定區(qū)域移動時的移動路徑的一個例子的圖。圖11是表示規(guī)定區(qū)域是維護區(qū)域的一個例子的俯視圖。圖12是表示包含初始投入部的規(guī)定區(qū)域的一個例子的俯視圖。具體實施方式以下,參照附圖來說明本發(fā)明的實施方式。但是,本發(fā)明并不限于該實施方式。另外,在附圖中為了說明實施方式,放大或強調(diào)地記載一部分等適當(dāng)?shù)馗淖儽壤邅肀硎?。圖1是表示本實施方式的搬運系統(tǒng)100的一個例子的俯視圖。圖1所示的搬運系統(tǒng)100例如被設(shè)置于半導(dǎo)體設(shè)備的制造工廠等,搬運收納有在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中被使用的半導(dǎo)體晶圓的foup,或者收納有中間掩膜等的中間掩膜盒等物品2。這里雖說明了物品2是foup的情況。

    也有第二起重機40b或者其他高架搬運車50也以行駛或者停止的狀態(tài)存在于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的情況,但能夠通過高架搬運車50所具備的接近傳感器等避免與第二起重機40b或者其他高架搬運車50的干擾。在高架搬運車50的行駛方向上存在第二起重機40b或者其他高架搬運車50的情況下,也可以由控制裝置60等針對第二起重機40b或者其他高架搬運車50指示周期性行駛,確保搬運物品2的高架搬運車50的行駛。另外,第二起重機40b或者其他高架搬運車50也可以代替在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12上環(huán)繞行駛,而從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12經(jīng)由連接軌道15或者第二連接軌道16移動至區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14。接下來,如圖8所示,高架搬運車50維持將物品2保持的狀態(tài)地在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12上沿順時針的方向行駛,從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a經(jīng)由連接軌道15的出口部15b向區(qū)段間頂棚軌道13移動(參照圖8的箭頭)。第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12、連接軌道15、以及區(qū)段間頂棚軌道13的截面形狀相同或者大致相同(參照圖6),因此高架搬運車50能夠從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12無障礙地移動至區(qū)段間頂棚軌道13。接下來,如圖9所示,高架搬運車50在區(qū)段間頂棚軌道13上朝向-x方向行駛。梁溪區(qū)寫字樓商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。

    其從第二處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第二處理裝置的裝載端口設(shè)置;區(qū)段間頂棚軌道,其將區(qū)段內(nèi)頂棚軌道與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道連結(jié);保管部和第二保管部,它們在區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方沿上下方向設(shè)置有多層,并用于保管物品;交接端口和第二交接端口,它們設(shè)置于區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方;起重機,其具備沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的行駛部、從行駛部垂下的桅桿、以及被桅桿引導(dǎo)而升降的移送部,并且在處理裝置的裝載端口、保管部、以及交接端口之間搬運物品;第二起重機,其具備沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導(dǎo)而升降的第二移送部,并且在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運物品;以及高架搬運車,其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅(qū)動部、以及使升降驅(qū)動部向側(cè)方突出的橫向伸出機構(gòu),并且在交接端口與第二交接端口之間搬運物品,上述行駛部沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛。另外,可以起重機是懸掛式起重機。另外。錫山區(qū)質(zhì)量商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。宜興貨車商鋪搬運公司電話

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    也可將物品2相對于暫存區(qū)st的交接限定為外繞軌道41a或者內(nèi)繞軌道41b的任一個。圖7~圖10是表示使懸掛式起重機30從存儲庫區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域亦即存儲庫區(qū)域10b移動時的移動路徑的一個例子的圖。在本實施方式中,在使懸掛式起重機30從存儲庫區(qū)域10a向其它存儲庫區(qū)域(規(guī)定區(qū)域)10b移動的情況下,不需要從起重機軌道20取下懸掛式起重機30,能夠沿著以及第二連結(jié)軌道60a、60b以及高架搬運車軌道40移動。在該情況下,也可通過作業(yè)者等的手動操作來移動懸掛式起重機30,也可通過控制裝置80(參照圖1)自動地移動。如圖7所示,懸掛式起重機30存在于存儲庫區(qū)域10a內(nèi)的起重機軌道20。首先,使懸掛式起重機30從起重機軌道20經(jīng)由連結(jié)軌道60a向機架間軌道43移動(參照圖7的箭頭)。通過該移動,懸掛式起重機30從存儲庫區(qū)域10a內(nèi)向存儲庫區(qū)域10a外移動。此外,懸掛式起重機30在高架搬運車軌道40行駛而移動到其它區(qū)域時,使與桅桿32(參照圖4)干涉的設(shè)備等避開懸掛式起重機30的移動路徑。另外,起重機軌道20以及連結(jié)軌道60a如上所述,各自剖面形狀相同,所以懸掛式起重機30的起重機用行駛部31能夠無障礙地從起重機軌道20進入連結(jié)軌道60a。接下來,如圖8所示。徐州正規(guī)商鋪搬運報價

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