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來源: 發(fā)布時間:2021-10-25

    在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中,為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn),提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如,參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號公報文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口,但由于在不同的軌道行駛,因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對應(yīng)地,分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此,存在不僅對軌道的設(shè)置花費(fèi)成本,需要用于鋪設(shè)各軌道的空間,而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個軌道對應(yīng),因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本,并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用,由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備:區(qū)段內(nèi)頂棚軌道,其從處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著處理裝置的裝載端口設(shè)置;第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。梁溪區(qū)長途商鋪搬運(yùn)報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。無錫學(xué)校商鋪搬運(yùn)公司電話

    起重機(jī)軌道20被設(shè)置于在懸掛式起重機(jī)30的運(yùn)轉(zhuǎn)中禁止作業(yè)者的進(jìn)入的作業(yè)者禁止進(jìn)入?yún)^(qū)域10f的上方。并且,在懸掛式起重機(jī)30的運(yùn)轉(zhuǎn)中也可以禁止作業(yè)者向存儲庫區(qū)域10a、10b整體的進(jìn)入。圖3是表示規(guī)定區(qū)域的一個例子的圖。圖3所示的規(guī)定區(qū)域是與存儲庫區(qū)域10a不同地分開配置的其它存儲庫區(qū)域10b。如圖3所示,在本實(shí)施方式中,存儲庫區(qū)域10b是與上述存儲庫區(qū)域10a相同的結(jié)構(gòu),但也可是其它結(jié)構(gòu)。存儲庫10被配置于存儲庫區(qū)域10b。存儲庫10與存儲庫區(qū)域10a相同,具備多個保管部11、多個交接口12、起重機(jī)軌道20以及懸掛式起重機(jī)30。懸掛式起重機(jī)30在保管部11與交接口12之間搬運(yùn)物品2。另外,懸掛式起重機(jī)30也在保管部11內(nèi)進(jìn)行將物品2從當(dāng)前的貨架部向其它的貨架部的移載。圖4是表示懸掛式起重機(jī)30的一個例子的圖。如圖4所示,懸掛式起重機(jī)30具備起重機(jī)用行駛部31、桅桿32以及物品移載部34。物品移載部34具備升降臺33、以及升降驅(qū)動部35。起重機(jī)用行駛部31具備未圖示的行駛驅(qū)動部以及多個車輪71a(參照圖6),沿著起重機(jī)軌道20行駛。行駛驅(qū)動部例如也可是被設(shè)置于起重機(jī)用行駛部31并驅(qū)動車輪71a的電動馬達(dá),也可是使用起重機(jī)軌道20設(shè)置的線性馬達(dá)。梁溪區(qū)貨車商鋪搬運(yùn)公司電話錫山區(qū)企業(yè)商鋪搬運(yùn)報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。

搬運(yùn)車即起搬運(yùn)貨物作用的物流搬運(yùn)設(shè)備。手動托盤搬運(yùn)車在搬運(yùn)站使用時將其承載的貨叉插入托盤孔內(nèi),由人力驅(qū)動液壓系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)托盤貨物的起升和下降,并由人力拉動完成搬運(yùn)作業(yè)。它是搬運(yùn)站托盤運(yùn)輸工具中簡便、有效、常見的裝卸、搬運(yùn)工具。中文名搬運(yùn)車外文名搬運(yùn)站搬運(yùn)工搬運(yùn)設(shè)備分類手動搬運(yùn)車、半電動搬運(yùn)車等保養(yǎng)檢查油、排除空氣及潤滑注意事項(xiàng)不要超載發(fā)展史正在向第四代發(fā)展目錄1發(fā)展史2防爆搬運(yùn)車3分類4使用5生產(chǎn)6保養(yǎng)7注意事項(xiàng)8無人搬運(yùn)車搬運(yùn)車發(fā)展史編輯搬運(yùn)車發(fā)展歷史,經(jīng)歷3代發(fā)展,搬運(yùn)車發(fā)展正在向第四代發(fā)展。代搬運(yùn)車為手動搬運(yùn)車,簡稱CBY,其特點(diǎn)是自動化、智能化程度不高,但它為人工搬運(yùn)向機(jī)械化搬運(yùn)轉(zhuǎn)化做出了巨大的貢獻(xiàn),時至,它在搬運(yùn)車市場仍然具備一定的市場份額;第二代搬運(yùn)車是以內(nèi)燃叉車為的內(nèi)燃搬運(yùn)車,簡稱FT,具備較高的自動化,內(nèi)燃叉車以發(fā)動機(jī)為動力,動力強(qiáng)勁,缺點(diǎn)是有廢氣排放污染環(huán)境,效能較低,有害人類健康,不適合食品行業(yè)使用;第三代搬運(yùn)車是以電動叉車為的全電動搬運(yùn)車,簡稱CBD。

    主體部52具有:懸掛地保持物品2的物品保持部53、使物品保持部53沿鉛垂方向升降的升降驅(qū)動部54以及使升降驅(qū)動部54移動的側(cè)出機(jī)構(gòu)55。物品保持部53把持物品2的凸緣部2a,由此懸掛地保持物品2。物品保持部53例如是具有能夠在水平方向移動的爪部53a的卡盤,通過使爪部53a進(jìn)入物品2的凸緣部的下方使物品保持部53上升而保持物品2。物品保持部53與線材或者帶狀物等懸掛部件53b連接。這樣,沒有如懸掛式起重機(jī)30的桅桿32那樣在高架搬運(yùn)車50設(shè)置引導(dǎo)升降的構(gòu)成。因此,物品保持部53成為能夠相對于主體部52擺動的狀態(tài)。升降驅(qū)動部54例如是升降機(jī),通過放出懸掛部件53b而使物品保持部53下降,通過卷繞懸掛部件53b而使物品保持部53上升。升降驅(qū)動部54被控制裝置80等控制,以規(guī)定的速度使物品保持部53下降或者上升。另外,升降驅(qū)動部54被控制裝置80等控制,將物品保持部53保持為目標(biāo)的高度。高架搬運(yùn)車50在從停止?fàn)顟B(tài)開始基于搬運(yùn)車用行駛部51的行駛時,通過升降驅(qū)動部54將物品保持部53上升至上方位置之后,開始行駛。因此,在高架搬運(yùn)車50行駛時,能夠防止高架搬運(yùn)車50的一部分與高架搬運(yùn)車軌道40的下方的障礙物的接觸。側(cè)出機(jī)構(gòu)55例如具有在上下方向重疊地配置的可動板。梁溪區(qū)貨車商鋪搬運(yùn)報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。

    從區(qū)段間頂棚軌道13經(jīng)由連接軌道15的入口部15a向區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11移動(參照圖9的箭頭)。其后,高架搬運(yùn)車50從連接軌道15的入口部15a移動至區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a,并在與作為搬運(yùn)目的地的交接端口30a對應(yīng)的位置停止。接著,高架搬運(yùn)車50使橫向伸出機(jī)構(gòu)55向-x方向突出,驅(qū)動升降驅(qū)動部54使保持部53下降,由此將物品2載置于交接端口30a。通過以上的動作,能夠?qū)⑽锲?從第二保管區(qū)域sa2搬運(yùn)至保管區(qū)域sa1。另外,如上述那樣,在、第二保管區(qū)域sa1、sa2的+y側(cè)或者-y側(cè)端部配置、第二交接端口30a、30b,由此能夠避免高架搬運(yùn)車50為了物品2的交接而停止在、第二保管區(qū)域sa1、sa2內(nèi)的中間部分等,能夠擴(kuò)大、第二起重機(jī)40a、40b的運(yùn)行范圍。另外,例如,通過起重機(jī)40a將物品2(搬運(yùn)目的地是第二保管區(qū)域sa2的第二交接端口30b)載置于保管區(qū)域sa1的交接端口30a的情況下,控制裝置60針對高架搬運(yùn)車50進(jìn)行指示以將保管區(qū)域sa1的交接端口30a的物品2搬運(yùn)至第二保管區(qū)域sa2的第二交接端口30b。高架搬運(yùn)車50沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11移動至交接端口30a,使橫向伸出機(jī)構(gòu)55向-x方向或者+x方向突出,驅(qū)動升降驅(qū)動部54并通過保持部53保持交接端口30a的物品2。此外。錫山區(qū)公司商鋪搬運(yùn)報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。梁溪區(qū)貨車商鋪搬運(yùn)公司電話

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    為了能有效的覆蓋大部分的搬運(yùn)情況,我們可以選擇一個系數(shù)比如2/3或者3/4的距離來估算系統(tǒng)的搬運(yùn)效率,這樣可以兼顧大部分的效率要求,并且也不會一直出現(xiàn)搬運(yùn)能力過剩的情況。3.離散搬運(yùn)的優(yōu)勢參照上述的跳水的例子,可以總結(jié)得出離散搬運(yùn)系統(tǒng)的優(yōu)勢有如下幾點(diǎn):離散搬運(yùn)設(shè)備往往靈活機(jī)動,占用較少的公共資源,或者非全時占用,比如通道,門等等;離散搬運(yùn)設(shè)備之間可以冗余可互相備份,系統(tǒng)魯棒性好;相比連續(xù)式搬運(yùn),離散式搬運(yùn)系統(tǒng)可以通過增加搬運(yùn)設(shè)備的數(shù)量,更容易達(dá)到靈活擴(kuò)容的目的;離散搬運(yùn)設(shè)備通??梢栽诒倔w上做一些機(jī)構(gòu),設(shè)備異形成本低,便于與多種上下游以不同的形式接駁物料單元離散搬運(yùn)設(shè)備,更有可能做成智能化,無需安裝調(diào)試,直接投入到新現(xiàn)場即可使用4.離散搬運(yùn)的挑戰(zhàn)離散搬運(yùn)系統(tǒng)由于搬運(yùn)時通過設(shè)備在空間上的移動來完成作業(yè),同時返程時又不可避免的空載,因此這些特征屬性自帶了一些在實(shí)際應(yīng)用中要面對解決的一些挑戰(zhàn)。離散搬運(yùn)設(shè)備搬運(yùn)物料時,在空間上的運(yùn)行速度隨著技術(shù)的進(jìn)步越來越快,比如堆垛機(jī)有的速度能達(dá)到250米/分鐘甚至更高。但是由于搬運(yùn)設(shè)備在執(zhí)行任務(wù)時,經(jīng)常有返程空載的情況,在返程的時間內(nèi),并未有任何的物料參與。無錫學(xué)校商鋪搬運(yùn)公司電話

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