因此無需在與、第二起重機(jī)40a、40b對(duì)應(yīng)的地上側(cè)(地板面?zhèn)?設(shè)置軌道，從而能夠以低成本設(shè)置起重機(jī)用的軌道。如圖4所示，、第二起重機(jī)40a、40b分別具備、第二行駛部41a、41b、、第二桅桿42a、42b、以及、第二移送部44a、44b。、第二移送部44a、44b分別具備、第二升降臺(tái)43a、43b、、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b。行駛部41a具備未圖示的行駛驅(qū)動(dòng)部和多個(gè)車輪71a(參照?qǐng)D6)，并沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11行駛。第二行駛部41b同樣具備未圖示的行駛驅(qū)動(dòng)部和多個(gè)車輪71a(參照?qǐng)D6)，并沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12行駛。行駛驅(qū)動(dòng)部例如可以是設(shè)置于、第二行駛部41a、41b且驅(qū)動(dòng)車輪71a的電動(dòng)馬達(dá)，也可以是使用頂棚軌道10設(shè)置的線性馬達(dá)。行駛部41a也可以能夠從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進(jìn)行行駛。第二行駛部41b也可以能夠從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進(jìn)行行駛。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，、第二起重機(jī)40a、40b根據(jù)需要而能夠容易地經(jīng)由區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14在區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12之間移動(dòng)。、第二桅桿42a、42b從、第二行駛部41a、41b垂下并沿上下方向延伸，引導(dǎo)、第二升降臺(tái)43a、43b。濱湖區(qū)貨車商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。企業(yè)商鋪搬運(yùn)具

    在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn)，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號(hào)公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對(duì)應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對(duì)軌道的設(shè)置花費(fèi)成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對(duì)應(yīng)，因此對(duì)處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用，由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備：區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開并且沿著處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。徐州貨車商鋪搬運(yùn)收費(fèi)濱湖區(qū)學(xué)校商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。

    具體實(shí)施方式以下，參照附圖對(duì)實(shí)施方式進(jìn)行說明。在以下的各圖中，使用xyz坐標(biāo)系對(duì)圖中的方向進(jìn)行說明。在該xyz坐標(biāo)系中，將鉛直方向設(shè)為z方向，將水平方向設(shè)為x方向、y方向。x方向是水平方向內(nèi)的一個(gè)方向，是沿著后述的區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14的方向。y方向是與x方向正交的方向，是沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a、和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的方向。另外，關(guān)于x、y、z方向的各方向，適當(dāng)?shù)貙⑴c箭頭相同一側(cè)稱為+側(cè)(例如，+x側(cè))，將其相反側(cè)稱為-x側(cè)(例如，-x側(cè))。圖1是表示本實(shí)施方式所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)100的一個(gè)例子的俯視圖。圖1所示的搬運(yùn)系統(tǒng)100例如設(shè)置于半導(dǎo)體設(shè)備的制造工廠等，對(duì)收容有在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中使用的半導(dǎo)體晶圓的foup、或者收容有中間掩模等的中間掩模盒等物品2進(jìn)行搬運(yùn)。在本實(shí)施方式中，使用物品2是foup的例子來進(jìn)行說明，但物品2也可以是除foup以外的物品。另外，搬運(yùn)系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備，物品2可以是由用于設(shè)置搬運(yùn)系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。在本實(shí)施方式中。

    不使用特殊的搬運(yùn)設(shè)備就能夠容易且不花費(fèi)時(shí)間地使懸掛式起重機(jī)在存儲(chǔ)庫區(qū)域內(nèi)與規(guī)定區(qū)域之間移動(dòng)，不需要從軌道取下懸掛式起重機(jī)這樣的麻煩的作業(yè)，并且也不需要用于搬運(yùn)已取下的懸掛式起重機(jī)的特殊的搬運(yùn)設(shè)備，所以能夠抑制成本的增加。另外，在起重機(jī)軌道、高架搬運(yùn)車軌道以及連結(jié)軌道的與起重機(jī)用行駛部行駛的方向正交的剖面形狀相同或者大致相同的情況下，能夠?qū)⑸鲜鲕壍涝O(shè)為相同的規(guī)格，由此能夠以低成本進(jìn)行軌道的設(shè)置。另外，在起重機(jī)用行駛部與搬運(yùn)車用行駛部具備共用的車輪以及供車輪安裝的行駛部主體的情況下，將懸掛式起重機(jī)以及高架搬運(yùn)車的行駛部設(shè)為相同的規(guī)格，從而能夠以低成本制造起重機(jī)用行駛部以及搬運(yùn)車用行駛部。另外，在高架搬運(yùn)車從停止?fàn)顟B(tài)開始基于搬運(yùn)車用行駛部的行駛時(shí)，使物品保持部上升至上方位置后，開始行駛的情況下，在高架搬運(yùn)車行駛時(shí)，能夠防止高架搬運(yùn)車的一部分與高架搬運(yùn)車軌道的下方的障礙物接觸的情況。另外，在起重機(jī)軌道被設(shè)置于上述作業(yè)者進(jìn)入禁止區(qū)域的上方，高架搬運(yùn)車用軌道被設(shè)置于上述作業(yè)者通路的上方，懸掛式起重機(jī)進(jìn)入高架搬運(yùn)車軌道時(shí)，禁止作業(yè)者向桅桿通過的作業(yè)者通路的進(jìn)入的情況下。濱湖區(qū)專業(yè)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。

    經(jīng)由第二連結(jié)軌道60b向存儲(chǔ)庫區(qū)域10b內(nèi)的起重機(jī)軌道20移動(dòng)(參照?qǐng)D9的箭頭)。第二機(jī)架間軌道44、第二連結(jié)軌道60b以及起重機(jī)軌道20各自剖面形狀相同，所以懸掛式起重機(jī)30的起重機(jī)用行駛部31能夠無障礙地從第二機(jī)架間軌道44經(jīng)由第二連結(jié)軌道60b進(jìn)入起重機(jī)軌道20。懸掛式起重機(jī)30構(gòu)成被設(shè)置于存儲(chǔ)庫區(qū)域10b的存儲(chǔ)庫10的一部分，能夠在存儲(chǔ)庫區(qū)域10b內(nèi)的保管部11與交接口12之間進(jìn)行物品2的交接。此外，在懸掛式起重機(jī)30的移動(dòng)中，在從當(dāng)前的軌道向下一個(gè)軌道換乘時(shí)、或者以曲線狀移動(dòng)時(shí)也可降低移動(dòng)速度，防止下垂的桅桿32因振動(dòng)或者離心力等向外側(cè)擺動(dòng)。另外，懸掛式起重機(jī)30走從存儲(chǔ)庫區(qū)域10b向存儲(chǔ)庫區(qū)域10a移動(dòng)的情況下，與上述相同，首先，從存儲(chǔ)庫區(qū)域10b內(nèi)的起重機(jī)軌道20c經(jīng)由第二連結(jié)軌道60b向第二機(jī)架間軌道44移動(dòng)。接著，懸掛式起重機(jī)30向第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42的外繞軌道42a移動(dòng)，經(jīng)由連接軌道42c向內(nèi)繞軌道42b移動(dòng)。接著，懸掛式起重機(jī)30從機(jī)架間軌道43側(cè)的連接軌道42c向外繞軌道42a移動(dòng)，從外繞軌道42a向機(jī)架間軌道43移動(dòng)，從機(jī)架間軌道43經(jīng)由連結(jié)軌道60a向存儲(chǔ)庫區(qū)域10a內(nèi)的起重機(jī)軌道20移動(dòng)。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式的搬運(yùn)系統(tǒng)100。錫山區(qū)寫字樓商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。徐州貨車商鋪搬運(yùn)收費(fèi)

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    使懸掛式起重機(jī)30從存儲(chǔ)庫區(qū)域10a沿著機(jī)架間軌道43、機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41以及第二機(jī)架間軌道44移動(dòng)，經(jīng)由維護(hù)區(qū)域10c側(cè)的第二連結(jié)軌道60b向起重機(jī)軌道20c移動(dòng)。在維護(hù)區(qū)域10c中，也可保持將懸掛式起重機(jī)30保持于起重機(jī)軌道20c的狀態(tài)來進(jìn)行維護(hù)，也可從起重機(jī)軌道20c取下懸掛式起重機(jī)30來進(jìn)行維護(hù)。另外，可以利用維護(hù)裝置mn維護(hù)懸掛式起重機(jī)30，也可利用其它器具等進(jìn)行維護(hù)。在利用維護(hù)裝置mn進(jìn)行維護(hù)的情況下，例如也可通過控制裝置80自動(dòng)地進(jìn)行。在使懸掛式起重機(jī)30從維護(hù)區(qū)域10c向存儲(chǔ)庫區(qū)域10a移動(dòng)的情況下，與上述實(shí)施方式相同，使懸掛式起重機(jī)30沿著起重機(jī)軌道20c、第二連結(jié)軌道60b以及第二機(jī)架間軌道44移動(dòng)，從第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42側(cè)向存儲(chǔ)庫區(qū)域10a移動(dòng)。這樣，能夠容易使懸掛式起重機(jī)30在存儲(chǔ)庫區(qū)域10a內(nèi)與維護(hù)區(qū)域10c之間移動(dòng)，能夠避免在維護(hù)時(shí)將懸掛式起重機(jī)30從起重機(jī)軌道20取下并搬運(yùn)這樣的麻煩并且能夠避免提高成本的作業(yè)。另外，如圖12所示，規(guī)定區(qū)域10d也可具有懸掛式起重機(jī)30的初始投入部90、以及保管多個(gè)懸掛式起重機(jī)30的起重機(jī)保管部91。此外，雖在規(guī)定區(qū)域10d配置有維護(hù)裝置mn，但也可代替維護(hù)裝置mn而配置有保管部11，也可配置有起重機(jī)保管部91。企業(yè)商鋪搬運(yùn)具

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