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來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-03-06

    第二機(jī)架間軌道44與機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41以及第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42各自的一方的端部連結(jié)。機(jī)架間軌道43以及第二機(jī)架間軌道44分別使直線狀的兩根軌道并行地延伸,在兩根軌道之間設(shè)置有多個(gè)連接軌道。高架搬運(yùn)車50沿著高架搬運(yùn)車軌道40移動(dòng),將物品2在處理裝置tl的裝載端口lp、與存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a、10b的交接口12之間進(jìn)行物品2的交接。另外,高架搬運(yùn)車50除了裝載端口lp以及交接口12之外,還在與沿著高架搬運(yùn)車軌道40(外繞軌道41a、42a等)設(shè)置的暫存區(qū)st之間進(jìn)行物品2的移載。處理裝置tl例如是曝光裝置、涂布機(jī)顯影載置、制膜裝置或者蝕刻裝置等,對(duì)被收納于搬運(yùn)系統(tǒng)100搬運(yùn)的物品2的半導(dǎo)體晶圓實(shí)施各種處理。圖5是表示高架搬運(yùn)車50的一個(gè)例子的圖。如圖5所示,高架搬運(yùn)車50具有搬運(yùn)車用行駛部51和主體部52。搬運(yùn)車用行駛部51與起重機(jī)用行駛部31相同,具備未圖示的行駛驅(qū)動(dòng)部以及多個(gè)車輪71a(參照?qǐng)D6),沿著高架搬運(yùn)車軌道40行駛。行駛驅(qū)動(dòng)部例如也可是被設(shè)置于搬運(yùn)車用行駛部51并驅(qū)動(dòng)車輪71a的電動(dòng)馬達(dá),也可是使用高架搬運(yùn)車軌道40設(shè)置的線性馬達(dá)。主體部52經(jīng)由安裝部52a被安裝于搬運(yùn)車用行駛部51的下部。梁溪區(qū)貨車商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。惠山區(qū)質(zhì)量商鋪搬運(yùn)公司哪家好

    如圖1所示,控制裝置80統(tǒng)一控制搬運(yùn)系統(tǒng)100。控制裝置80通過(guò)無(wú)線或者有線的通信控制懸掛式起重機(jī)30以及高架搬運(yùn)車50的動(dòng)作。此外,控制裝置80也可分為控制懸掛式起重機(jī)30的控制裝置、和控制高架搬運(yùn)車50的控制裝置。另外,懸掛式起重機(jī)30用的控制裝置可以以存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a為單位分開(kāi)地配置,也可統(tǒng)一控制多個(gè)存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a、10b。另外,控制高架搬運(yùn)車50的控制裝置也可以控制在規(guī)定區(qū)域內(nèi)行駛的多個(gè)高架搬運(yùn)車50。如圖1~圖3所示,連結(jié)軌道60a連結(jié)存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a的起重機(jī)軌道20與高架搬運(yùn)車軌道40的機(jī)架間軌道43。另外,第二連結(jié)軌道60b連結(jié)存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10b的起重機(jī)軌道20與高架搬運(yùn)車軌道40的第二機(jī)架間軌道44。起重機(jī)用行駛部31能夠在以及第二連結(jié)軌道60a、60b行駛。懸掛式起重機(jī)30的起重機(jī)用行駛部31能夠經(jīng)由連結(jié)軌道60a從起重機(jī)軌道20進(jìn)入高架搬運(yùn)車軌道40,并行駛到其它存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10b。另外,起重機(jī)用行駛部31能夠經(jīng)由第二連結(jié)軌道60b從高架搬運(yùn)車軌道40進(jìn)入起重機(jī)軌道20行駛。搬運(yùn)車用行駛部51能夠在以及第二連結(jié)軌道60a、60b行駛。此外,以及第二連結(jié)軌道60a、60b的與起重機(jī)用行駛部31的行駛方向正交的平面的剖面與起重機(jī)軌道20以及高架搬運(yùn)車軌道40相同或者大致相同。宜興長(zhǎng)途商鋪搬運(yùn)價(jià)錢錫山區(qū)長(zhǎng)途商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。

    、第二交接端口30a、30b并不限定、第二保管部20a、20b的上層。、第二交接端口30a、30b例如也可以與、第二保管部20a、20b設(shè)置。例如,如圖1所示,也可以在俯視下,在區(qū)段間頂棚軌道13與區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11之間、第二區(qū)段間頂棚軌道14與區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11之間、區(qū)段間頂棚軌道13與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12之間、第二區(qū)段間頂棚軌道14與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12之間設(shè)置交接端口130。、第二起重機(jī)40a、40b能夠針對(duì)該交接端口130進(jìn)行物品2的交接。另外,高架搬運(yùn)車50能夠從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12針對(duì)交接端口130進(jìn)行物品2的交接,并且,也能夠從區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14針對(duì)交接端口130進(jìn)行物品2的交接。其結(jié)果是,區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14的高架搬運(yùn)車50能夠以不進(jìn)入?yún)^(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的方式通過(guò)交接端口130在與、第二起重機(jī)40a、40b之間進(jìn)行物品2的交接。起重機(jī)40a在保管區(qū)域sa1搬運(yùn)物品2。第二起重機(jī)40b在第二保管區(qū)域sa2搬運(yùn)物品2。圖4是表示、第二起重機(jī)40a、40b的一個(gè)例子的圖。如圖4所示,、第二起重機(jī)40a、40b使用懸掛式起重機(jī)。由于、第二起重機(jī)40a、40b是懸掛式起重機(jī)。

    參照?qǐng)D6)。因此,起重機(jī)用行駛部31或者搬運(yùn)車用行駛部51能夠無(wú)障礙地在以及第二連結(jié)軌道60a、60b行駛。這樣,將上述軌道設(shè)為相同的剖面形狀,由此能夠?qū)崿F(xiàn)軌道的標(biāo)準(zhǔn)化,能夠以低成本進(jìn)行軌道的設(shè)置。在上述搬運(yùn)系統(tǒng)100中,懸掛式起重機(jī)30在存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a或者存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10b內(nèi),沿著起重機(jī)軌道20行駛,在保管部11與交接口12之間搬運(yùn)物品2。例如,懸掛式起重機(jī)30能夠通過(guò)物品移載部34(參照?qǐng)D4)接受被保管部11保管的物品2,沿著起重機(jī)軌道20行駛至交接口12,將物品2載置于交接口12。另外,在利用高架搬運(yùn)車50將物品2載置于交接口12的情況下,懸掛式起重機(jī)30能夠沿著起重機(jī)軌道20行駛到交接口12,利用物品移載部34接受物品2之后,沿著起重機(jī)軌道20行駛到移載目的地的保管部11,通過(guò)物品移載部34將物品2載置于保管部11。另外,在搬運(yùn)系統(tǒng)100中,高架搬運(yùn)車50在利用懸掛式起重機(jī)30將物品2載置在交接口12的情況下,沿著高架搬運(yùn)車軌道40行駛至存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a的交接口12。然后,能夠由物品保持部53(參照?qǐng)D5)保持物品2,在高架搬運(yùn)車軌道40行駛,由此將物品2搬運(yùn)到其它存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10b的交接口12、處理裝置lt的裝載端口lp或者暫存區(qū)st,在他們各自處載置物品2。另外。新吳區(qū)企業(yè)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。

    在長(zhǎng)邊方向的兩端與后述的機(jī)架間軌道43以及第二機(jī)架間軌道44連接。外繞軌道42a在俯視時(shí)通過(guò)存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a、10b的交接口12的側(cè)方。但是,該交接口12是與對(duì)應(yīng)于機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41的外繞軌道41a的交接口12不同的交接口12。在外繞軌道42a行駛的高架搬運(yùn)車50能夠相對(duì)于交接口12進(jìn)行物品2的交接。外繞軌道42a被配置于處理裝置tl的裝載端口lp的正上方。內(nèi)繞軌道42b被形成為環(huán)狀,被配置于外繞軌道42a的內(nèi)側(cè)。此外,內(nèi)繞軌道41b、42b在俯視圖時(shí)被配置于偏離了裝載端口lp的正上方的位置。根據(jù)該結(jié)構(gòu),懸掛式起重機(jī)30在從后述的存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域移動(dòng)時(shí),能夠使從起重機(jī)用行駛部31垂下的桅桿32不與裝載端口lp干涉地行駛。內(nèi)繞軌道41b經(jīng)由連接軌道41c與外繞軌道41a連接。另外,內(nèi)繞軌道42b經(jīng)由連接軌道42c與外繞軌道42a連接。此外,在外繞軌道41a、42a與內(nèi)繞軌道41b、42b之間分別沿著外繞軌道41a、42a等配置多個(gè)暫存區(qū)st。暫存區(qū)st例如具有能夠載置物品2的貨架部,以懸掛于建筑物的頂棚的狀態(tài)設(shè)置。此外,是否配置暫存區(qū)st是任意的,也可以沒(méi)有暫存區(qū)st。機(jī)架間軌道43與機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41以及第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42各自的一方的端部連結(jié)。無(wú)錫寫字樓商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司?;萆絽^(qū)質(zhì)量商鋪搬運(yùn)公司哪家好

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    高架搬運(yùn)車50在從其它存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10b的交接口12、處理裝置lt的裝載端口lp或者暫存區(qū)st接受了物品2的情況下,能夠沿著高架搬運(yùn)車軌道40行駛至存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a的交接口12,在交接口12載置物品2。在高架搬運(yùn)車50在機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41行駛的情況下,位于外繞軌道41a的高架搬運(yùn)車50能夠進(jìn)行物品2相對(duì)于交接口12的交接。高架搬運(yùn)車50在物品2相對(duì)于交接口12的交接中,在利用側(cè)出機(jī)構(gòu)55使升降驅(qū)動(dòng)部54向外繞軌道41a的側(cè)方突出了的狀態(tài)下,使物品保持部53升降(參照?qǐng)D5)。另外,位于外繞軌道41a的高架搬運(yùn)車50能夠進(jìn)行物品2相對(duì)于處理裝置lt的裝載端口lp的交接。高架搬運(yùn)車50在物品2相對(duì)于裝載端口lp的交接中,不驅(qū)動(dòng)或者基本不驅(qū)動(dòng)側(cè)出機(jī)構(gòu)55而使物品保持部53升降(參照?qǐng)D5)。另外,位于外繞軌道41a或者內(nèi)繞軌道41b的高架搬運(yùn)車50能夠進(jìn)行物品2相對(duì)于暫存區(qū)st的交接。高架搬運(yùn)車50在物品2相對(duì)于暫存區(qū)st的交接中,在通過(guò)側(cè)出機(jī)構(gòu)55使升降驅(qū)動(dòng)部54向外繞軌道41a或者內(nèi)繞軌道41b軌道的側(cè)方突出了的狀態(tài)下使物品保持部53升降。物品2相對(duì)于暫存區(qū)st的交接在外繞軌道41a或者內(nèi)繞軌道41b的任一個(gè)中都能夠進(jìn)行,高架搬運(yùn)車50通過(guò)改變側(cè)出機(jī)構(gòu)55的突出方向就能夠?qū)?yīng)(參照?qǐng)D5)。此外?;萆絽^(qū)質(zhì)量商鋪搬運(yùn)公司哪家好