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經(jīng)由第二連結(jié)軌道60b向存儲(chǔ)庫區(qū)域10b內(nèi)的起重機(jī)軌道20移動(dòng)(參照?qǐng)D9的箭頭)。第二機(jī)架間軌道44、第二連結(jié)軌道60b以及起重機(jī)軌道20各自剖面形狀相同,所以懸掛式起重機(jī)30的起重機(jī)用行駛部31能夠無障礙地從第二機(jī)架間軌道44經(jīng)由第二連結(jié)軌道60b進(jìn)入起重機(jī)軌道20。懸掛式起重機(jī)30構(gòu)成被設(shè)置于存儲(chǔ)庫區(qū)域10b的存儲(chǔ)庫10的一部分,能夠在存儲(chǔ)庫區(qū)域10b內(nèi)的保管部11與交接口12之間進(jìn)行物品2的交接。此外,在懸掛式起重機(jī)30的移動(dòng)中,在從當(dāng)前的軌道向下一個(gè)軌道換乘時(shí)、或者以曲線狀移動(dòng)時(shí)也可降低移動(dòng)速度,防止下垂的桅桿32因振動(dòng)或者離心力等向外側(cè)擺動(dòng)。另外,懸掛式起重機(jī)30走從存儲(chǔ)庫區(qū)域10b向存儲(chǔ)庫區(qū)域10a移動(dòng)的情況下,與上述相同,首先,從存儲(chǔ)庫區(qū)域10b內(nèi)的起重機(jī)軌道20c經(jīng)由第二連結(jié)軌道60b向第二機(jī)架間軌道44移動(dòng)。接著,懸掛式起重機(jī)30向第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42的外繞軌道42a移動(dòng),經(jīng)由連接軌道42c向內(nèi)繞軌道42b移動(dòng)。接著,懸掛式起重機(jī)30從機(jī)架間軌道43側(cè)的連接軌道42c向外繞軌道42a移動(dòng),從外繞軌道42a向機(jī)架間軌道43移動(dòng),從機(jī)架間軌道43經(jīng)由連結(jié)軌道60a向存儲(chǔ)庫區(qū)域10a內(nèi)的起重機(jī)軌道20移動(dòng)。如上所述,根據(jù)本實(shí)施方式的搬運(yùn)系統(tǒng)100。梁溪區(qū)公司商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。宜興商鋪搬運(yùn)服務(wù)
第二保管部20b和第二交接端口30b配置于在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12能夠通過后述的第二起重機(jī)40b和高架搬運(yùn)車50進(jìn)行物品2的交接的范圍。圖3是表示、第二保管區(qū)域sa1、sa2的、第二保管部20a、20b和、第二交接端口30a、30b的一個(gè)例子的圖。在圖3中示出從+x側(cè)觀察、第二保管部20a、20b和、第二交接端口30a、30b的情況的一個(gè)例子。如圖3所示,、第二保管部20a、20b和、第二交接端口30a、30b使用能夠載置物品2的架部等。在載置物品2的架部也可以設(shè)置進(jìn)入在物品2的底面設(shè)置的槽部的多個(gè)銷。該銷進(jìn)入物品2的槽部,由此相對(duì)于架部定位物品2。各、第二保管部20a、20b和、第二交接端口30a、30b例如被支承為從建筑物的頂棚等懸掛的狀態(tài)。、第二保管部20a、20b和、第二交接端口30a、30b從頂棚懸掛,由此在、第二保管部20a、20b等的下方,例如能夠作為能夠供操作人員等通行的通路利用。、第二保管部20a、20b沿著裝載端口lp在y方向上排列配置多個(gè)。、第二保管部20a、20b在各個(gè)、第二保管區(qū)域sa1、sa2配置兩列。、第二保管部20a、20b的各個(gè)列相對(duì)于裝載端口lp的列在x方向?qū)χ门渲?。保管?0a配置于相對(duì)于區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a的正下方在x方向錯(cuò)開的位置。江陰質(zhì)量商鋪搬運(yùn)電話梁溪區(qū)長途商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
參照?qǐng)D6)。因此,起重機(jī)用行駛部31或者搬運(yùn)車用行駛部51能夠無障礙地在以及第二連結(jié)軌道60a、60b行駛。這樣,將上述軌道設(shè)為相同的剖面形狀,由此能夠?qū)崿F(xiàn)軌道的標(biāo)準(zhǔn)化,能夠以低成本進(jìn)行軌道的設(shè)置。在上述搬運(yùn)系統(tǒng)100中,懸掛式起重機(jī)30在存儲(chǔ)庫區(qū)域10a或者存儲(chǔ)庫區(qū)域10b內(nèi),沿著起重機(jī)軌道20行駛,在保管部11與交接口12之間搬運(yùn)物品2。例如,懸掛式起重機(jī)30能夠通過物品移載部34(參照?qǐng)D4)接受被保管部11保管的物品2,沿著起重機(jī)軌道20行駛至交接口12,將物品2載置于交接口12。另外,在利用高架搬運(yùn)車50將物品2載置于交接口12的情況下,懸掛式起重機(jī)30能夠沿著起重機(jī)軌道20行駛到交接口12,利用物品移載部34接受物品2之后,沿著起重機(jī)軌道20行駛到移載目的地的保管部11,通過物品移載部34將物品2載置于保管部11。另外,在搬運(yùn)系統(tǒng)100中,高架搬運(yùn)車50在利用懸掛式起重機(jī)30將物品2載置在交接口12的情況下,沿著高架搬運(yùn)車軌道40行駛至存儲(chǔ)庫區(qū)域10a的交接口12。然后,能夠由物品保持部53(參照?qǐng)D5)保持物品2,在高架搬運(yùn)車軌道40行駛,由此將物品2搬運(yùn)到其它存儲(chǔ)庫區(qū)域10b的交接口12、處理裝置lt的裝載端口lp或者暫存區(qū)st,在他們各自處載置物品2。另外。
這兩種方案中的路徑并不相同,因此方案1和方案2雖然都已經(jīng)遍歷了所有的上游和下游,但是用的時(shí)間確實(shí)大相徑庭的。事實(shí)上,如果我們開始出發(fā)點(diǎn)不是B1點(diǎn),而是B2點(diǎn),此時(shí)又會(huì)有另外兩種方案3和方案4,路徑也與上述的不同,自然用的時(shí)間也不同。我們可以按照先按方案1從B1點(diǎn)出發(fā)搬運(yùn)完成后回到B2點(diǎn),然后按照方案3從B2點(diǎn)出發(fā)搬運(yùn)完成后回到B1點(diǎn),然后再按照方案2從B1點(diǎn)出發(fā)搬運(yùn)完成后回到B2點(diǎn),后按照方案4從B2點(diǎn)出發(fā)搬運(yùn)完成后回到B1。以上通過4次不同的復(fù)合搬運(yùn)作業(yè),完成了4次不同的遍歷方式,涵蓋了所有的上下游的搬運(yùn)方案,如果4中搬運(yùn)方案出現(xiàn)的概率平均,并且4中方案的搬運(yùn)周期分別為T1、T2、3、T4,則可以得到從上游到下游的總周期時(shí)間為:T1+T2+T3+T4??梢缘玫娇偟钠骄蕿椋篍=2*I*4*3600/(T1+T2+T3+T4);注:以上將2對(duì)2的所有的搬運(yùn)方案當(dāng)做一個(gè)循環(huán)時(shí)間來作為搬運(yùn)周期,其中的搬運(yùn)路徑總共計(jì)算了16次(其中有若干重復(fù)),而實(shí)際中很多情況下,上游下游的數(shù)量要比2多的多,如果按照上邊的計(jì)算流程來估算效率,計(jì)算的工作量非常大。如果有m個(gè)上游點(diǎn),有n個(gè)下游點(diǎn),從某個(gè)下游點(diǎn)將每個(gè)上游點(diǎn)以此搬運(yùn)到所有的n點(diǎn),總共的搬運(yùn)方案有n*m!。梁溪區(qū)學(xué)校商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中,為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn),提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如,參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號(hào)公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口,但由于在不同的軌道行駛,因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對(duì)應(yīng)地,分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此,存在不僅對(duì)軌道的設(shè)置花費(fèi)成本,需要用于鋪設(shè)各軌道的空間,而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對(duì)應(yīng),因此對(duì)處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本,并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用,由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備:區(qū)段內(nèi)頂棚軌道,其從處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開并且沿著處理裝置的裝載端口設(shè)置;第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。錫山區(qū)品質(zhì)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。宜興短途商鋪搬運(yùn)
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圖4是表示懸掛式起重機(jī)的一個(gè)例子的圖。圖5是表示高架搬運(yùn)車的一個(gè)例子的圖。圖6是表示起重機(jī)用行駛部以及搬運(yùn)車用行駛部的一個(gè)例子的圖。圖7是表示使懸掛式起重機(jī)從存儲(chǔ)庫區(qū)域向規(guī)定區(qū)域移動(dòng)時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖8是表示與圖7接續(xù)、使懸掛式起重機(jī)從存儲(chǔ)庫區(qū)域向規(guī)定區(qū)域移動(dòng)時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖9是表示與圖8接續(xù)、使懸掛式起重機(jī)從存儲(chǔ)庫區(qū)域向規(guī)定區(qū)域移動(dòng)時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖10是表示與圖9接續(xù)、使懸掛式起重機(jī)從存儲(chǔ)庫區(qū)域向規(guī)定區(qū)域移動(dòng)時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖11是表示規(guī)定區(qū)域是維護(hù)區(qū)域的一個(gè)例子的俯視圖。圖12是表示包含初始投入部的規(guī)定區(qū)域的一個(gè)例子的俯視圖。具體實(shí)施方式以下,參照附圖來說明本發(fā)明的實(shí)施方式。但是,本發(fā)明并不限于該實(shí)施方式。另外,在附圖中為了說明實(shí)施方式,放大或強(qiáng)調(diào)地記載一部分等適當(dāng)?shù)馗淖儽壤邅肀硎?。圖1是表示本實(shí)施方式的搬運(yùn)系統(tǒng)100的一個(gè)例子的俯視圖。圖1所示的搬運(yùn)系統(tǒng)100例如被設(shè)置于半導(dǎo)體設(shè)備的制造工廠等,搬運(yùn)收納有在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中被使用的半導(dǎo)體晶圓的foup,或者收納有中間掩膜等的中間掩膜盒等物品2。這里雖說明了物品2是foup的情況。宜興商鋪搬運(yùn)服務(wù)