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驅(qū)動部45b設置于上部支承體,進行懸掛部件45a的抽出、卷繞。若驅(qū)動部45b將懸掛部件抽出,則、第二升降臺43a、43b被、第二桅桿42a、42b引導而下降。另外,若驅(qū)動部45b卷繞懸掛部件45a,則、第二升降臺43a、43b被、第二桅桿42a、42b引導而上升。驅(qū)動部45b被控制裝置60等控制,使、第二升降臺43a、43b以規(guī)定的速度下降或者上升。另外,驅(qū)動部45b被控制裝置60等控制,將、第二升降臺43a、43b保持于目標高度。雖然、第二升降驅(qū)動部45a、45b設置于上部支承體47(、第二行駛部41a、41b),但并不限定于該結構。、第二升降驅(qū)動部45a、45b例如也可以設置于、第二升降臺43a、43b。作為在、第二升降臺43a、43b設置、第二升降驅(qū)動部45a、45b的結構,例如可以利用搭載于、第二升降臺43a、43b的升降機等對從上部支承體47懸掛的帶狀物或者線材等進行卷起或者抽出而使、第二升降臺43a、43b升降。另外,也可以在、第二升降臺43a、43b搭載用于驅(qū)動小齒輪的電動馬達等,在、第二桅桿42a、42b形成供該小齒輪嚙合的齒條,驅(qū)動電動馬達等而使小齒輪旋轉由此使、第二升降臺43a、43b升降。如圖4所示?;萆絽^(qū)品質(zhì)商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。宜興公司商鋪搬運打包
在半導體制造工廠等制造工廠中,為了將收容半導體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運,提出有使用沿著鋪設于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設于地板面的軌道行駛的起重機的結構(例如,參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口,但由于在不同的軌道行駛,因此需要與高架搬運車和起重機對應地,分別設置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此,存在不僅對軌道的設置花費成本,需要用于鋪設各軌道的空間,而且需要使處理裝置或者保管部等的設置位置與兩個軌道對應,因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術實現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設置成本,并且分擔高架搬運車與起重機的作用,由此高效地搬運物品的搬運系統(tǒng)以及搬運方法。本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)具備:區(qū)段內(nèi)頂棚軌道,其從處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著處理裝置的裝載端口設置;第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。企業(yè)商鋪搬運電話錫山區(qū)公司商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
、第二桅桿42a、42b形成為中空或者實心的棒狀,截面形成為圓形狀、橢圓形狀、長圓形狀、或者四邊形狀等多邊形狀。、第二桅桿42a、42b的下端被設定為從地板面隔開規(guī)定間隔的狀態(tài)。在圖4中,在、第二行駛部41a、41b的下方經(jīng)由安裝部46安裝有上部支承體47。、第二桅桿42a、42b安裝于上部支承體47的下表面?zhèn)龋⒊蔀閺?、第二行駛?1a、41b懸掛的狀態(tài)。例如可以使用螺釘和螺母等緊固部件,也可以使用焊接等在上部支承體47安裝、第二桅桿42a、42b。此外,、第二桅桿42a、42b可以是一根,例如,可以分別設置于、第二行駛部41a、41b的行駛方向的前后。另外,、第二起重機40a、40b使用兩臺、第二行駛部41a、41b(參照圖2和圖3)。兩臺、第二行駛部41a、41b沿行駛方向排列配置,被上部支承體47連結。、第二桅桿42a、42b被兩臺、第二行駛部41a、41b支承。這樣,能夠利用兩臺、第二行駛部41a、41b可靠地支承作為重物的、第二桅桿42a、42b。此外,、第二起重機40a、40b并不限定于使用兩臺、第二行駛部41a、41b,也可以使用1臺或者3臺以上的、第二行駛部41a、41b。起重機40a的行駛部41a能夠從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11駛入?yún)^(qū)段間頂棚軌道地進行行駛。即。
也可在使懸掛式起重機30從存儲庫區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域(10b、10c、10d)移動的情況下使用第二機架內(nèi)環(huán)繞軌道42,在使懸掛式起重機30從規(guī)定區(qū)域向存儲庫區(qū)域10a移動的情況下使用機架內(nèi)環(huán)繞軌道41。另外,也可在使懸掛式起重機30從存儲庫區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域(10b、10c、10d)移動的情況下,以及在使懸掛式起重機30從規(guī)定區(qū)域向存儲庫區(qū)域10a移動的情況下,使用相同的機架內(nèi)環(huán)繞軌道。另外,在法律允許的范圍內(nèi),引用作為日本申請的特愿2017-128569以及本說明書所引用的全部的文獻的內(nèi)容并作為正文記載的一部分。附圖標記的說明lp…裝載端口、mn…維護裝置;st…暫存區(qū);tl…處理裝置;2…物品;10…存儲庫;10a…存儲庫區(qū)域;10b…存儲庫區(qū)域(規(guī)定區(qū)域);10c…維護區(qū)域(規(guī)定區(qū)域);10d…規(guī)定區(qū)域;10f…作業(yè)者進入禁止區(qū)域;10g…作業(yè)者通路;11…保管部;12…交接口;20,20c,20d…起重機軌道;30…懸掛式起重機;31…起重機用行駛部;32…桅桿;33…升降臺;34…物品移載部;35…升降驅(qū)動部;40…高架搬運車軌道;41…機架內(nèi)環(huán)繞軌道;41a、42a…外繞軌道;41b、42b…內(nèi)繞軌道;41c、42c…連接軌道;42…第二機架內(nèi)環(huán)繞軌道;43…機架間軌道;44…第二機架間軌道;50…高架搬運車。濱湖區(qū)質(zhì)量商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
使懸掛式起重機30從機架間軌道43向機架內(nèi)環(huán)繞軌道41的外繞軌道41a移動,并經(jīng)由連接軌道41c向內(nèi)繞軌道41b移動(參照圖8的箭頭)。外繞軌道41a被配置于處理裝置tl的裝載端口lp的正上方,所以若懸掛式起重機30保持原樣地在外繞軌道41a行駛,則存在桅桿32與裝載端口lp接觸的可能性。因此,懸掛式起重機30從外繞軌道41a向內(nèi)繞軌道41b移動。然后,使懸掛式起重機30沿著內(nèi)繞軌道41b朝向存儲庫區(qū)域10b移動。在起重機用行駛部31在內(nèi)繞軌道41b(高架搬運車軌道40)行駛的情況下,懸掛式起重機30的桅桿32在作業(yè)者通路10g上通過。此時,也可以以禁止作業(yè)者等向作業(yè)者通路10g的進入、作業(yè)者等不進入作業(yè)者通路10g的方式,由被設置于懸掛式起重機30或者作業(yè)者通路10g的附近的揚聲器發(fā)出警報等,也可以使被設置于作業(yè)者通路10g的附近的燈等點亮或者閃爍。接下來,如圖9所示,使懸掛式起重機30移動到內(nèi)繞軌道41b的端部側,從內(nèi)繞軌道41b經(jīng)由連接軌道41c向外繞軌道41a移動。接著,使懸掛式起重機30從外繞軌道41a向第二機架間軌道44移動,在第二機架間軌道44向存儲庫區(qū)域10b側移動(參照圖9的箭頭)。接下來,如圖10所示,使懸掛式起重機30沿著第二機架間軌道44移動到第二連結軌道60b?;萆絽^(qū)企業(yè)商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。梁溪區(qū)專業(yè)商鋪搬運費用
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所述存儲庫具備:在上下方向設置多層來保管物品的保管部、用于交接物品的交接口、沿著保管部以及交接口設置的起重機軌道、沿著起重機軌道行駛的起重機用行駛部、從起重機用行駛部垂下的桅桿、以及具有被桅桿引導地升降的物品移載部并且在保管部與交接口之間搬運物品的懸掛式起重機;高架搬運車軌道,其被設置于存儲庫區(qū)域之外,沿著交接口以及處理裝置的裝載端口延伸至規(guī)定區(qū)域;高架搬運車,其具有沿著高架搬運車軌道行駛的搬運車用行駛部、以及保持并升降物品的物品保持部,并且在交接口與裝載端口之間搬運物品;以及連結軌道,其連結起重機軌道與高架搬運車軌道,所述搬運方法包含以下步驟:使起重機用行駛部從起重機軌道通過連結軌道進入高架搬運車軌道,在高架搬運車軌道行駛至規(guī)定區(qū)域,或者使起重機用行駛部從規(guī)定區(qū)域進入高架搬運車軌道行駛至連結軌道,通過連結軌道進入起重機軌道而在起重機軌道行駛。根據(jù)本發(fā)明的搬運系統(tǒng)以及搬運方法,通常沿著存儲庫區(qū)域內(nèi)的起重機軌道行駛并且在存儲庫區(qū)域內(nèi)在保管部與交接口之間移載物品的懸掛式起重機能夠根據(jù)需要,通過連結軌道以及高架搬運車軌道移動到存儲庫區(qū)域外的規(guī)定區(qū)域。根據(jù)該結構。宜興公司商鋪搬運打包