隨著汽車工業(yè)的快速發(fā)展,汽車空調工業(yè)對使用氦質譜檢漏儀,氦檢儀,檢漏儀進行氦檢的需求越來越大,對氦質譜檢漏儀,氦檢儀,檢漏儀的氦檢性能指標的要求也越來越高。針對汽車空調蒸發(fā)器、冷凝器、壓縮機、儲液罐和管路等零部件的檢漏要求和特點,上海睿德勵柯儀器儀表有限公司做了如下設計:獨特的氦質譜檢漏儀,氦檢儀,檢漏儀氣路設計,提高了對氦的抽速,縮短了清氦本底時間,有效防止氦污染。氦檢儀是一種對比性測試儀器,其工作原理是電離進入質譜室的氦分子,轟擊靶心,放大,通過電流分析氦分子的數(shù)量!進入質譜室的氦分子比例(分離比),電氣參數(shù)不同,電流相同,泄漏率可能不同;或泄漏率不同,電流相同;所有泄漏檢測儀本身不知道放...
在使用氦檢儀時要如何保養(yǎng)?①如果儀器不是每天都使用,建議每周啟動并檢查一次,以保持儀器的高真空系統(tǒng)處于真空狀態(tài),在后期使用過程中可以縮短儀器的啟動時間。②儀器部件(如離子源)拆卸后,安裝過程中應避免在安裝現(xiàn)場發(fā)生泄漏,儀器可用于泄漏檢測。③及時對泄漏處(如放氣閥等)進行自檢。)可能出現(xiàn)在儀器上,并在發(fā)現(xiàn)泄漏點后及時移除、清潔或緊固,以免在泄漏檢測過程中干擾泄漏檢測。④氦檢儀維護定期維護油泵。(散熱口粉塵處理及泵油的檢查和更換)⑤嚴禁在氦檢儀上,尤其是進氣口處掉落或噴灑任何異物。由于氦檢儀是一種高精度儀器,其儲存和使用環(huán)境應保持清潔衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓或合格的設備維護工程師才能使用該儀器。⑥使用時...
使用氦檢儀需注意哪些問題?響應時間與清理時間:正常運行的儀器響應時間與清理時間不應大于3s。氦檢儀的響應時間會影響檢漏工作的速度:檢漏時噴有在漏孔處停留的時間應為儀器響應時間的3倍,該時間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時間,即為兩次噴氦的較小間隔時間,當然真空系統(tǒng)越龐大,該間隔時間也越長。根據(jù)經(jīng)驗,兩次噴氦的較小間隔時間控制在30s,如果第1次噴氦后30s內氦檢儀還沒有反應,則可進行第二次噴氦。儀器的清理時間在理論上與響應時間相同,但由于儀器零件對氦的吸附和脫附作用的影響,清理時間一般要更長些。另外,噴氦量的多少也影響清理時間的長短,噴氦時噴頭移動速率合理,可以縮短儀器的清理時間,提高檢漏效率。...
氦質譜檢漏儀的的故障和處理:1、內部的泄漏,當檢漏儀內部存在泄漏時,會對檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點,更換密封件。2、本底信號不穩(wěn)定,1)本底信號過高有可能是環(huán)境本底被污染,注意檢查室內是否有氦氣源在泄漏。將室內的門窗打開通風,降低環(huán)境本底。2)本底信號過高也有可能是因為質譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測含有油污、粉塵等雜質較多的被檢件時,質譜室極易被污染,需返廠進行清洗,本底信號不穩(wěn)定,檢查電源電壓是否穩(wěn)定,氦質譜檢漏儀應有可靠的接...
在氦質譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個階段都要考慮檢漏工作,由于冶金、原子能、電子、宇航技術的發(fā)展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至極高真空設備。這些設備中的某些設備結構復雜,內部有很多管道和傳動機構,有的體積很大,達幾十立方米,甚至數(shù)百立方米,連接管道和內部管道的總長度可達幾公里,焊縫、氦質譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達數(shù)十公里,必須投人很大力量對設備嚴格進行檢漏,所以且應該從設備開始設計時起就考慮檢漏問題。如果等到進行安裝時再考慮檢漏問題就可能給氦質譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。氦檢儀是真空檢漏技術中靈敏度較高,用得較普遍的氦檢儀器。無錫無損氦質譜檢漏儀工作原理氦檢儀靈敏...
氦檢儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。靈敏度、反應時間、清零時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦檢儀的主要性能指標。檢測氣體使用氦氣的主要原因如下:(1)對人體和自然環(huán)境沒有毒害;(2)不能燃燒,作業(yè)安全;(3)惰性氣體,和被檢測對象不會發(fā)生化學反應;(4)分子直徑和質量小,容易穿過微小縫隙,便于檢漏;(5)通常環(huán)境下保持氣體狀態(tài),不會堵住微漏孔;(6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣;(7)氦氣在空氣中的存在量只為5ppm,容易定點查清漏氣位置。由于氦氣比空氣輕很多,向真空腔體噴氦氣檢漏時要從上往下依次操作,否則不利于判定漏點所在。當腔體構造復雜,或漏率極小時,可針對重點...
氦質譜檢漏儀調氦峰步驟:1、調氦峰方法:開漏孔開關,單方向(從75~165V或從165~75V)調加速電壓“V”,使氦質譜檢漏儀放大器輸出表指示值出現(xiàn)一個Zda值,然后關漏孔開關,如表頭指示值變小,說明氦質譜檢漏儀接收到氦信號,即找到氦峰;如表頭指示值不變,說明不是氦峰,則繼續(xù)調“V”,直到找到氦峰(出現(xiàn)氦的“V”一般在85~150V之間)。2、調氦峰分辨不好:①氦和重離子分辨差。②氦和輕離子分辨差。3、調氦峰信號?。孩贌艚z沒正對電離盒上的電子入口。②燈絲離電離盒太遠。③分辨不好。氦質譜檢漏儀適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。浙江智能氦質譜檢漏儀廠家選擇氦質譜檢漏儀時主要考慮以下問題:...
氮質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點,是真空檢漏技術中靈敏度較高,用得比較多的檢漏儀器。適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。氦質譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結構布局,被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位,因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質譜室污染小等特點.適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏,其靈敏度可達10-12Pam3/s。氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術。嘉興便攜式氦質譜檢漏儀價錢氦質譜檢漏儀的靈敏度,通常指儀器的可檢漏率。氦質...
在氦質譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個階段都要考慮檢漏工作,由于冶金、原子能、電子、宇航技術的發(fā)展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至極高真空設備。這些設備中的某些設備結構復雜,內部有很多管道和傳動機構,有的體積很大,達幾十立方米,甚至數(shù)百立方米,連接管道和內部管道的總長度可達幾公里,焊縫、氦質譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達數(shù)十公里,必須投人很大力量對設備嚴格進行檢漏,所以且應該從設備開始設計時起就考慮檢漏問題。如果等到進行安裝時再考慮檢漏間題就可能給氦質譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。蘇州真空氦質譜檢漏儀氦檢模塊氦質譜檢漏儀...
氦質譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項:1.如果儀器不是每天使用,建議每周開機檢查一下,使儀器高真空系統(tǒng)保持真空,縮短儀器使用時的開機時間2.拆卸儀器部件(如離子源)后,安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏,可用儀器進行自身檢漏。3.適時對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥等)進行自身檢漏,發(fā)現(xiàn)漏點后要及時取下清洗或固緊,以免在檢漏時干擾檢漏工作。4.氦質譜檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。(散熱口灰塵處理,和泵油的檢查更換)。5.禁止任何外來物掉在或灑在氦質譜檢漏儀上,尤其是進氣口中,由于氦質譜檢漏儀為高精度精密儀器,其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。氦質譜檢漏儀的的可檢漏率是多少?嘉興真空氦質譜檢漏儀價錢選擇氦質譜...
氦檢儀現(xiàn)已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因:1、半導體設備要求高真空,比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設備。出現(xiàn)泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間,耗時耗力;2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染,對半導體的特性改變并破壞其性能,因此在半導體器件生產(chǎn)過程中必須進行氦質譜檢漏;3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,經(jīng)過氦質譜檢漏后,在低漏率真空條件下,這些氣體不易外泄,設備能及時抽走未反應氣體和氣態(tài)反應產(chǎn)物,保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝,一旦出現(xiàn)泄漏,芯片就會失效。...
氦檢儀應用領域:工業(yè):真空爐、鍍膜系統(tǒng)、壓力容器、超高真空工程。高能物理:加速器、束線、同步輻射光源。科研領域:空間模擬系統(tǒng)、試驗裝置、微電子、表面分析系統(tǒng)。半導體及電子:工藝設備、氣路、氣路傳輸設備、電子元器件、封裝。汽車制冷:蒸發(fā)器、空調、管路。核工業(yè):核電閥門、核容器。航空航天:空間模擬器、航天器、管路。電廠:管道、蒸汽發(fā)生器、熱交換器、冷凝器。氦檢儀是對密封容器的泄漏進行快速定位和定量測量的儀器。氦質譜檢漏方法與氣泡識別法、壓強衰減法和鹵素檢漏等方法相比,具有檢測靈敏度高、速度快和適用范圍寬,此外氦檢儀選擇無毒、無破壞性、質量輕的惰性氣體氦作為探索氣體,所以安全可靠。為防止油污、粉塵和...
氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術,由于檢漏效率高,簡便易操作,儀器反應靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了普遍應用。氦檢儀是根據(jù)質譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內來回地振蕩,并與室內氣體和經(jīng)漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進人磁場,由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉,形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。氦...
氦檢儀在無源器件中的檢漏應用:無源器件檢漏原因:光無源器件是光纖通信設備的重要組成部分,也是其它光纖應用領域不可缺少的元器件。具有高回波損耗、低插入損耗、高可靠性等特點。光無源器件對密封性的要求極高,如果存在泄漏會影響其使用性能和精度,光通信行業(yè)的漏率標準是小于5×10-8mbar.l/s,因此需要進行泄漏檢測。氦質譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位,定量漏點,替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏,目前已普遍應用于光無源器件的檢漏。光無源器件檢漏方法:由于無源器件體積小,且無法抽真空或直接充入氦氣,我們采用“背壓法”檢漏,具體做法如下。1.將被檢無源器件放入真空保壓罐,壓力和時間根據(jù)漏率大小設定。2...
氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修?1.TMP(分子泵工作頻率)在儀器的顯示界面提示為0,即為分子泵不工作。可能是前級壓力過高(分子泵啟動壓力為200Pa)導致分子泵不能正常啟動。2.檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題,分子泵出口是否打開,機械泵油是否太臟,機械泵是否旋轉,系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。3.分子泵故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置,此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常,可能是分子泵電源故障。請聯(lián)系制造商。4.氦泄漏檢測儀的燈絲不能...
氮質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點,是真空檢漏技術中靈敏度較高,用得比較多的檢漏儀器。適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。氦質譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結構布局,被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位,因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質譜室污染小等特點.適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏,其靈敏度可達10-12Pam3/s。氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦檢儀應用于調節(jié)閥氣路管道檢漏。溫州便攜式氦質譜檢漏儀大概多少錢氦檢儀在使用過程中需特別注意以下幾點:①使用的電源電壓要在額...
氦檢儀應用領域:工業(yè):真空爐、鍍膜系統(tǒng)、壓力容器、超高真空工程。高能物理:加速器、束線、同步輻射光源??蒲蓄I域:空間模擬系統(tǒng)、試驗裝置、微電子、表面分析系統(tǒng)。半導體及電子:工藝設備、氣路、氣路傳輸設備、電子元器件、封裝。汽車制冷:蒸發(fā)器、空調、管路。核工業(yè):核電閥門、核容器。航空航天:空間模擬器、航天器、管路。電廠:管道、蒸汽發(fā)生器、熱交換器、冷凝器。氦檢儀是對密封容器的泄漏進行快速定位和定量測量的儀器。氦質譜檢漏方法與氣泡識別法、壓強衰減法和鹵素檢漏等方法相比,具有檢測靈敏度高、速度快和適用范圍寬,此外氦檢儀選擇無毒、無破壞性、質量輕的惰性氣體氦作為探索氣體,所以安全可靠。氦檢儀不只靈敏度高...
氦質譜檢漏儀對檢漏方法的具體要求:1、檢漏靈敏度高,可以檢出很小的漏孔;2、反應時間短,可以提高工作效率;3、能定位、定量,不但能夠找出漏孔的位置,還能知道漏率的大小,以便確定是否合乎質量要求;4、能無損檢漏,不使被檢設備受到損傷和污染;5、穩(wěn)定性好,即可以在足夠長時間內靈敏度穩(wěn)定可靠;6、所用“示蹤氣體”在空氣中含量低,無毒,不腐蝕零件;7、檢漏范圍大,從大漏孔到小漏孔都能檢測到,以減少檢漏設備的數(shù)量和費用;8、檢漏時潔凈無油,滿足一些特殊的要求。氦檢儀的型號較多,但基本結構大同小異。浙江分體式氦質譜檢漏儀一臺多少錢氦質譜檢漏儀檢漏注意事項:1、工件要保持清潔、干燥。2、對工件噴氦應按以下順...
氦檢儀應用于調節(jié)閥氣路管道檢漏:調節(jié)閥又名控制閥,在現(xiàn)代化工廠的自動控制中,調節(jié)閥起著十分重要的作用,如果調節(jié)閥有漏,將會嚴重影響設備運行,進而降低整體的生產(chǎn)效率。氦檢儀成功應用于調節(jié)閥中的氣路管道檢漏,經(jīng)過檢漏后的調節(jié)閥普遍應用于電廠、生物制藥、化工等行業(yè)。調節(jié)閥檢漏,閥門氣密性測試方案是向閥門內充入設定壓力的氦氣,如在被檢測處如閥桿等,用氦檢儀正壓法檢測,正壓法檢測的精度可充分滿足氣密性檢測要求。氦檢儀用于調節(jié)閥的氣路管道進行檢漏,檢漏標準是漏率小于100ppm或者10-4至10-6Pa.m3/s.同時需要提供快速,清潔的檢漏環(huán)境.采用氦檢儀正壓法模式,即在密封的氣體管路中充入一定量的氦氣...
氦檢儀噪聲是哪兒來的?高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種,一個是離子流接收放大機輸出電路的噪聲,另一個就是本底噪聲。實際上,目前通過對電子線路的改進,儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經(jīng)降到很低的一個程度,因此已經(jīng)不是限制設備靈敏度的主要因素,如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話,可以通過放大信號的辦法來提高信噪比來改善靈敏度。而本底噪聲則是由本底峰的不穩(wěn)定造成,與本底的大小以及電磁場參數(shù)的穩(wěn)定度有關,具體的包括:1、離子源發(fā)射電子流的不穩(wěn)定性,加速電壓、分析器電磁參數(shù)的不穩(wěn)定性;2、氦氣在真空系統(tǒng)內的吸附和再放出(如真空油脂、人造橡膠、有機絕緣材料都可以吸附和再放出氦...
氦檢儀的工作原理:氦檢儀先在質譜室中將采集的被測氣體電離,再利用電磁場將不同荷質比的離子加以分離檢測,從中檢測出事先安排的示蹤氦離子,主要由三大組件構成:真空系統(tǒng)、質譜室和電子學控制單元。氦檢儀內部配有一臺旋片式真空泵,用以維持儀器內部的高真空。質譜室是氦檢儀的重點部分,它包括離子源、聚焦、質量分析器和測量部分。質譜室入口連接在渦輪分子泵的前級真空部分,分子泵對不同的氣體具有不同的壓縮比特性,氦氣的壓縮比很小,可以逆著分子泵的抽氣方向流動進入質譜室。在質譜室中氦氣被電離,氦離子通過質量分析器的篩選到達收集極,產(chǎn)生一個正比于離子數(shù)量的電流信號,該信號經(jīng)過放大和處理即為泄漏率。氦檢儀應用于調節(jié)閥氣...
便攜式氦質譜檢漏儀的明顯優(yōu)點:1、性價比高:便攜式氦質譜檢漏儀是一款實用的檢漏儀,可覆蓋廣大的應用領域,競爭性的價格及較低的使用成本,大抽速前級泵的設計,可縮短抽氣時間,提高使用效率;2、自我保護功能:在突然暴露大氣和突然斷電時具有保護功能,系統(tǒng)的逆擴散設計保護了質譜室的清潔、真空,且不需要液氮;3、結構靈活:可采用主機與前級泵單獨采買,前級泵可使用油封式旋片泵或渦卷式干泵,對于便攜式氦質譜檢漏儀,既可選擇帶有連接配件的主機形式,也可選擇安裝在兩輪小車上的整體形式。氦檢儀檢漏范圍寬:不只可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。江蘇推車式氦質譜檢漏儀哪個牌子好氦檢儀中沒有手動閥,現(xiàn)已采用自控閥自動調節(jié)運...
氦質譜檢漏儀為什么會選擇氦氣作為主要的示漏氣體?1、氦氣的質量輕,易于穿過漏孔,進入系統(tǒng)時流動和擴散快,因此響應快,檢漏靈敏度高。2、氦離子質荷比小,因此可以減小磁分析器偏轉半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大,利于離子分離,可以適當降低對分析器制造精度的要求,使質譜室中氦離子通過的各個縫隙,從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少,在材料出氣中氦氣也很少,因此本底壓力小,檢漏時本底信號小。利用氦質譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。蘇州多功能氦質譜檢漏儀多少錢一臺氦質譜檢漏儀應用讓我國許多設備的運轉情況得到了更...
氦質譜檢漏儀對檢漏方法的具體要求:1、檢漏靈敏度高,可以檢出很小的漏孔;2、反應時間短,可以提高工作效率;3、能定位、定量,不但能夠找出漏孔的位置,還能知道漏率的大小,以便確定是否合乎質量要求;4、能無損檢漏,不使被檢設備受到損傷和污染;5、穩(wěn)定性好,即可以在足夠長時間內靈敏度穩(wěn)定可靠;6、所用“示蹤氣體”在空氣中含量低,無毒,不腐蝕零件;7、檢漏范圍大,從大漏孔到小漏孔都能檢測到,以減少檢漏設備的數(shù)量和費用;8、檢漏時潔凈無油,滿足一些特殊的要求。氦檢儀自動校準氦峰,自動調節(jié)零點,量程自動轉換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。常州國產(chǎn)氦質譜檢漏儀氦檢模塊氦檢儀是什么?氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專...
氦檢儀靈敏度高、操作便捷、低維護,使您放心得到準確可靠的測試結果。產(chǎn)品普遍應用于科研院所、航空航天、動力鋰電池,閥門、精密儀表、機械加工、電力、半導體、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等。氦檢儀關鍵部件均為進口,性能穩(wěn)定可靠。不只靈敏度高,而且操作方便,能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。氦檢儀是對比性測試儀器,其工作原理是對進入質譜室的氦氣分子電離,轟擊靶心產(chǎn)生電離,并放大,通過電流大小的判斷氦氣分子的多少!進入質譜室氦氣分子的比例(分流比),還有電氣參數(shù)的不同,電流相同,漏率可能不同;或漏率不同,電流相同;所有氦檢儀本身并不知道放大后的電流對應的漏率是多少,需要參照物,這個參照...
氦檢儀現(xiàn)已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因:1、半導體設備要求高真空,比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設備。出現(xiàn)泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間,耗時耗力;2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染,對半導體的特性改變并破壞其性能,因此在半導體器件生產(chǎn)過程中必須進行氦質譜檢漏;3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,經(jīng)過氦質譜檢漏后,在低漏率真空條件下,這些氣體不易外泄,設備能及時抽走未反應氣體和氣態(tài)反應產(chǎn)物,保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝,一旦出現(xiàn)泄漏,芯片就會失效。...
氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù),它是儀器在出廠時經(jīng)過校準的在較佳條件下所能實現(xiàn)的儀器靈敏度,但平常實際使用時其靈敏度是低于該參數(shù)的,稱之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過程中,氦檢儀的檢漏方法也較多,有噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、充壓法、吸嘴法、累積檢漏法、背壓法、選擇性抽氣法、逆流氦檢漏法等眾多形式,可結合實際情況靈活運用。如較簡單常用的噴吹法,與鹵素氦檢儀的真空法類似,將被檢件抽真空,調整好氦檢儀并與被檢件連通,隨后用噴頭在可疑處噴吹氦氣,如果存在漏洞,噴吹一定時間后,氦檢儀即可發(fā)出信號。氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。安徽全自動氦質譜檢漏儀廠家推薦氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修?1...
氦質譜檢漏儀原理:氦質譜檢漏儀是基于質譜法原理,以氦氣作為檢漏的儀器。質譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計、氣體萃取系統(tǒng)和電氣部分組成。質譜法室中燈絲發(fā)射的電子在室內來回振蕩,與室內氣體碰撞,氦氣泄漏進入室內,電離成正離子,正離子在加速電場的作用下進入人體磁場,當洛倫茲力效應偏轉時,電弧形成,加速電壓的變化使不同質量的離子通過磁場和接收槽到達接收極而被探測到。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質譜檢漏儀正朝著高靈敏度、便攜式、自動化、寬量程、無油系統(tǒng)等先進方向發(fā)展。氦質譜檢漏儀能夠實現(xiàn)雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。無錫模塊式氦質譜檢漏儀...
氦檢儀在使用過程中需特別注意以下幾點:①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內,電壓過低儀器啟動困難,且性能不穩(wěn)定,電壓過高會燒壞電源,嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵,應連接穩(wěn)壓電源(UPS)。②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中,若搬動氦檢儀,容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。③氦檢儀應按照說明書的要求定期進行保養(yǎng),保養(yǎng)的項目有更換機械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。④氦檢儀在運行了2000h后應對前級泵進行維修和保養(yǎng),運行7000h分子泵進行維護和保養(yǎng)。氦質譜檢漏儀是以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。紹興自動氦質譜檢漏儀技術指導氦質譜檢漏儀應用讓我國許多設備的運...
在使用氦檢儀時要如何保養(yǎng)?①如果儀器不是每天都使用,建議每周啟動并檢查一次,以保持儀器的高真空系統(tǒng)處于真空狀態(tài),在后期使用過程中可以縮短儀器的啟動時間。②儀器部件(如離子源)拆卸后,安裝過程中應避免在安裝現(xiàn)場發(fā)生泄漏,儀器可用于泄漏檢測。③及時對泄漏處(如放氣閥等)進行自檢。)可能出現(xiàn)在儀器上,并在發(fā)現(xiàn)泄漏點后及時移除、清潔或緊固,以免在泄漏檢測過程中干擾泄漏檢測。④氦檢儀維護定期維護油泵。(散熱口粉塵處理及泵油的檢查和更換)⑤嚴禁在氦檢儀上,尤其是進氣口處掉落或噴灑任何異物。由于氦檢儀是一種高精度儀器,其儲存和使用環(huán)境應保持清潔衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓或合格的設備維護工程師才能使用該儀器。⑥使用時...