氦檢儀應(yīng)用領(lǐng)域：工業(yè)：真空爐、鍍膜系統(tǒng)、壓力容器、超高真空工程。高能物理：加速器、束線、同步輻射光源?？蒲蓄I(lǐng)域：空間模擬系統(tǒng)、試驗(yàn)裝置、微電子、表面分析系統(tǒng)。半導(dǎo)體及電子：工藝設(shè)備、氣路、氣路傳輸設(shè)備、電子元器件、封裝。汽車制冷：蒸發(fā)器、空調(diào)、管路。核工業(yè)：核電閥門、核容器。航空航天：空間模擬器、航天器、管路。電廠：管道、蒸汽發(fā)生器、熱交換器、冷凝器。氦檢儀是對(duì)密封容器的泄漏進(jìn)行快速定位和定量測(cè)量的儀器。氦質(zhì)譜檢漏方法與氣泡識(shí)別法、壓強(qiáng)衰減法和鹵素檢漏等方法相比，具有檢測(cè)靈敏度高、速度快和適用范圍寬，此外氦檢儀選擇無(wú)毒、無(wú)破壞性、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠。氦質(zhì)譜檢漏儀適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。寧波氦質(zhì)譜檢漏儀推薦廠家

氦質(zhì)譜檢漏儀為什么會(huì)選擇氦氣作為主要的示漏氣體？1、氦氣的質(zhì)量輕，易于穿過(guò)漏孔，進(jìn)入系統(tǒng)時(shí)流動(dòng)和擴(kuò)散快，因此響應(yīng)快，檢漏靈敏度高。2、氦離子質(zhì)荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點(diǎn)的磁場(chǎng)。同時(shí)一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當(dāng)降低對(duì)分析器制造精度的要求，使質(zhì)譜室中氦離子通過(guò)的各個(gè)縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時(shí)本底信號(hào)小。金華推車式氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)氦質(zhì)譜檢漏儀的漏孔漏率是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過(guò)漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。

氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)：1.檢測(cè)時(shí)間和周期非常短，可以達(dá)到5s以內(nèi)；2.檢測(cè)的介質(zhì)比較常用，只需壓縮空氣即可；3.不會(huì)受到主觀因素判斷的影響；4.檢測(cè)的數(shù)據(jù)精確；5.自動(dòng)生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來(lái)源。氫質(zhì)譜檢漏儀能為不同的應(yīng)用提供不同的測(cè)試方法，含有渦輪分子泵、內(nèi)置機(jī)械泵、外置機(jī)械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁(yè)面，以及可選功能組件。氨質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到普遍的應(yīng)用，例如，在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機(jī)、火箭、衛(wèi)星、飛機(jī)等這些都要用到真空檢漏技術(shù)。

使用氦檢儀需注意哪些問(wèn)題？響應(yīng)時(shí)間與清理時(shí)間:正常運(yùn)行的儀器響應(yīng)時(shí)間與清理時(shí)間不應(yīng)大于3s。氦檢儀的響應(yīng)時(shí)間會(huì)影響檢漏工作的速度:檢漏時(shí)噴有在漏孔處停留的時(shí)間應(yīng)為儀器響應(yīng)時(shí)間的3倍,該時(shí)間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時(shí)間,即為兩次噴氦的較小間隔時(shí)間,當(dāng)然真空系統(tǒng)越龐大,該間隔時(shí)間也越長(zhǎng)。根據(jù)經(jīng)驗(yàn),兩次噴氦的較小間隔時(shí)間控制在30s,如果第1次噴氦后30s內(nèi)氦檢儀還沒(méi)有反應(yīng),則可進(jìn)行第二次噴氦。儀器的清理時(shí)間在理論上與響應(yīng)時(shí)間相同,但由于儀器零件對(duì)氦的吸附和脫附作用的影響,清理時(shí)間一般要更長(zhǎng)些。另外,噴氦量的多少也影響清理時(shí)間的長(zhǎng)短,噴氦時(shí)噴頭移動(dòng)速率合理,可以縮短儀器的清理時(shí)間,提高檢漏效率。利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測(cè)定儀器的極限真空和工作真空。

影響氦檢儀靈敏度的因素有哪些？氦檢儀檢漏時(shí)，產(chǎn)生測(cè)量誤差的主要來(lái)源主要包括8個(gè)方面：第1，氦檢儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即，標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至氦檢儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會(huì)導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入氦檢儀的氦氣量可比性差。第二，進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無(wú)法換算，這時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測(cè)量誤差。第三，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差。第四，氦檢儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。第五，校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時(shí)，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六，氦檢儀的性能不穩(wěn)定。第七，氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差。第八，之后也就是檢漏操作人員的因素，包括素質(zhì)、責(zé)任心、技術(shù)水平以及工作經(jīng)驗(yàn)等。氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度高，用得普遍的氦檢儀器。專業(yè)用于電廠檢漏的氦檢儀關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能穩(wěn)定可靠。常州臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理

氦檢儀檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。寧波氦質(zhì)譜檢漏儀推薦廠家

氦檢儀的組成部分有哪些？真空系統(tǒng)：冷阱。分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱。擴(kuò)散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質(zhì)譜室、檢漏口與擴(kuò)散泵之間，使三者被冷阱隔離，冷阱加入液氮后便可阻止擴(kuò)散泵的油蒸氣和被檢件來(lái)的水蒸氣進(jìn)入質(zhì)譜室，保持質(zhì)譜室的清潔，并幫助擴(kuò)散泵迅速獲得較高真空。檢漏閥。按在質(zhì)譜室和被檢件之間的管道上。真空規(guī)。一般采用冷陰極磁控放電真室規(guī)來(lái)測(cè)量質(zhì)譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測(cè)量被檢件的預(yù)抽壓力和系統(tǒng)的前級(jí)壓力的。標(biāo)準(zhǔn)漏孔。一般儀器內(nèi)都附有標(biāo)準(zhǔn)漏孔，用它來(lái)校準(zhǔn)儀器的較小可檢漏率和對(duì)儀器輸出指示進(jìn)行定標(biāo)。寧波氦質(zhì)譜檢漏儀推薦廠家