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寧波推車(chē)式氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-04-03

氦檢儀在無(wú)源器件中的檢漏應(yīng)用:無(wú)源器件檢漏原因:光無(wú)源器件是光纖通信設(shè)備的重要組成部分,也是其它光纖應(yīng)用領(lǐng)域不可缺少的元器件。具有高回波損耗、低插入損耗、高可靠性等特點(diǎn)。光無(wú)源器件對(duì)密封性的要求極高,如果存在泄漏會(huì)影響其使用性能和精度,光通信行業(yè)的漏率標(biāo)準(zhǔn)是小于5×10-8mbar.l/s,因此需要進(jìn)行泄漏檢測(cè)。氦質(zhì)譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位,定量漏點(diǎn),替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏,目前已普遍應(yīng)用于光無(wú)源器件的檢漏。光無(wú)源器件檢漏方法:由于無(wú)源器件體積小,且無(wú)法抽真空或直接充入氦氣,我們采用“背壓法”檢漏,具體做法如下。1.將被檢無(wú)源器件放入真空保壓罐,壓力和時(shí)間根據(jù)漏率大小設(shè)定。2.取出無(wú)源器件,使用空氣或氮?dú)獯祾弑砻婧狻?.將無(wú)源器件放入真空測(cè)試罐,測(cè)試罐連接氦檢儀。4.啟動(dòng)氦檢儀,開(kāi)始檢漏。檢漏過(guò)程中,如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)人氦質(zhì)譜檢漏儀,應(yīng)立即移去吸口。寧波推車(chē)式氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理

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氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù),它是儀器在出廠時(shí)經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀器靈敏度,但平常實(shí)際使用時(shí)其靈敏度是低于該參數(shù)的,稱之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過(guò)程中,氦檢儀的檢漏方法也較多,有噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、充壓法、吸嘴法、累積檢漏法、背壓法、選擇性抽氣法、逆流氦檢漏法等眾多形式,可結(jié)合實(shí)際情況靈活運(yùn)用。如較簡(jiǎn)單常用的噴吹法,與鹵素氦檢儀的真空法類似,將被檢件抽真空,調(diào)整好氦檢儀并與被檢件連通,隨后用噴頭在可疑處噴吹氦氣,如果存在漏洞,噴吹一定時(shí)間后,氦檢儀即可發(fā)出信號(hào)。紹興臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀單位氦檢儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。

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氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門(mén)用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn),是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,用得比較多的檢漏儀器。適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局,被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級(jí)部位,因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點(diǎn).適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏,其靈敏度可達(dá)10-12Pam3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

氦檢儀測(cè)量數(shù)據(jù)處理:漏率示值誤差,①漏率的溫度修正,標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率易受溫度變化影響,溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響一般為3%/℃,所以如果實(shí)際環(huán)境溫度和標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書(shū)中溫度不一致,需要將標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書(shū)中漏率和標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦檢儀示值修正至同一環(huán)境溫度下來(lái)計(jì)算,并在測(cè)試結(jié)果中加以說(shuō)明,修正方法如下:方法一:將標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書(shū)中的漏率修正至實(shí)際環(huán)境溫度下,用標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書(shū)中的漏率加上或減去溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響系數(shù)計(jì)算值;方法二:將標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦檢儀示值平均值修正至標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書(shū)中環(huán)境溫度下,用標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦檢儀示值平均值加上或減去溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響系數(shù)計(jì)算值。氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修?

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氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時(shí),產(chǎn)生測(cè)量誤差的主要來(lái)源主要包括幾個(gè)方面:一、氦質(zhì)譜檢漏儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí),標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同,即,標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大,漏入氦氣在途中損失不相等,這會(huì)導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入檢漏儀的氦氣量可比性差。二、進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無(wú)法換算,這時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測(cè)量誤差。三、所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差。四、氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測(cè)定儀器的極限真空和工作真空。寧波推車(chē)式氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理

噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。寧波推車(chē)式氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理

氦質(zhì)譜檢漏儀的注意事項(xiàng):1.設(shè)備應(yīng)在施工工作完成后進(jìn)行本測(cè)試,測(cè)試完成后不得進(jìn)行焊縫的修磨等。2.若設(shè)備被浸濕或有殘余的液體都會(huì)影響毛細(xì)管的泄漏而影響測(cè)試結(jié)果的真實(shí)性。3.因氦比空氣輕,因此要注意檢漏的順序,檢查順序應(yīng)依照由下而上,由近而遠(yuǎn)的順序進(jìn)行。4.檢漏過(guò)程中,如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)人質(zhì)譜檢漏儀,應(yīng)立即移去吸口,防止因儀器長(zhǎng)時(shí)間消除不掉氦影響而延誤測(cè)試。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用領(lǐng)域:學(xué)??蒲袉挝?、真空制造、真空鍍膜、航空航天、核工業(yè)、電力、電子元器件、汽車(chē)及制冷、低溫容器、閥門(mén)、儀器儀表、聚酯等行業(yè)。寧波推車(chē)式氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理

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