氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當真空度P1優(yōu)于200Pa時，打開入口閥1、2，關(guān)閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室中被檢測出來，此時檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空，當P1降至20Pa時，入口閥2關(guān)閉，入口閥3打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時間縮短，此時檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。無錫進口氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導

氦質(zhì)譜檢漏儀在使用時需注意哪些問題？1、氦質(zhì)譜檢漏儀實際的檢漏靈敏度比理論計算值低，一是由于所噴出的氦氣流是散開的，故摻有一定數(shù)量的空氣，使氦氣的濃度有所降低。二是噴出的氣流的方向不可能完全對準漏孔的方向，此外、在凹缺處所存在的空氣會使得進入漏孔的氦氣濃度降低。2、檢漏次序：從被檢件物體的上方至下方，由近處向遠離檢漏儀處逐點進行噴氦檢查。3、檢出的大漏孔要經(jīng)修補后再去找小漏孔。4、當存在兩個相距很近的可疑的漏孔點時，應(yīng)先把一個點蓋住，再對另一點進行噴氦。5、當噴在某一點時，如果，檢漏儀上的顯示有變化，其上升速度很慢且顯示值不穩(wěn)定表示鄰近其它地方有很大漏孔。南京進口氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊檢漏過程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進人氦質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)立即移去吸口。

氦質(zhì)譜檢漏儀特點：1.檢測時間和周期非常短，可以達到5s以內(nèi)；2.檢測的介質(zhì)比較常用，只需壓縮空氣即可；3.不會受到主觀因素判斷的影響；4.檢測的數(shù)據(jù)精確；5.自動生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。氫質(zhì)譜檢漏儀能為不同的應(yīng)用提供不同的測試方法，含有渦輪分子泵、內(nèi)置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。氨質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到普遍的應(yīng)用，例如，在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、衛(wèi)星、飛機等這些都要用到真空檢漏技術(shù)。

氦檢儀的撿漏方法有哪些？背壓法（壓氦法）真空模式。工件先在壓氦罐中打入高壓氦氣，迫使氦氣進入泄漏工件，再放入檢漏罐中檢測是否有氦氣漏出?？筛鶕?jù)工件大小定制罐體大小?？蓹z測工件的整體漏點。檢測精度較高。適用行業(yè)：電子元器件，電子封裝等。氦質(zhì)譜檢漏背壓法優(yōu)點：檢測靈敏度高；可以進行批量化檢測；一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。首先將儀器調(diào)整好，再將器件放入加壓罐內(nèi)壓入氦氣，氦氣進入有漏孔的器件內(nèi)部，無漏孔的器件只是表面吸咐氦氣。器件加壓壓力和時間根據(jù)GB2423，2328文件而定，器件從加壓罐中取出后將表面吸咐的氦氣吹掉再放入檢漏夾具中抽空，待真空抽至設(shè)定值后自動將夾具連至儀器的測量系統(tǒng)。這時壓入存在漏孔器件內(nèi)部的氦氣泄漏出來被檢測，其漏率在漏率表上顯示出來。一般壓氦法檢漏時采用排除法。在夾具中放一定數(shù)量的器件，這一批的總漏率沒超過報廢預(yù)定值，說明這一批合格；總漏率超過報廢預(yù)定值可以取出一半，剩下的一半繼續(xù)檢漏，這一半合格說明有漏的器件在取出的那一半中，依此檢漏直至檢出有漏孔的器件。氦檢儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達到了細檢漏的目的。氦檢儀是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得較普遍的氦檢儀器。寧波推車式氦質(zhì)譜檢漏儀價錢

氦檢儀檢漏范圍寬：不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。無錫進口氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導

氦檢儀常用的幾種檢漏方法：氦質(zhì)譜檢漏方法較多，根據(jù)被檢工件的測量目的可分為兩種類型，一種是漏點型，另一種是漏率型；在實際檢驗過程中，應(yīng)根據(jù)檢驗?zāi)康倪x擇較合理的方法，并根據(jù)被檢件的具體情況靈活運用各種檢漏方法。測定漏點型氦質(zhì)譜檢漏方法。確定漏點型既是確定要檢部件的具體漏點或漏孔的位置,在大部件或大型部件中較為常見,如衛(wèi)星、導彈彈體、彈頭、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐等。噴氦法氦質(zhì)譜檢漏方法。噴氦法又叫噴吹法，較常用、較方便的檢漏方法。一般用于檢測體積相對較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等)用噴頭噴氦。無錫進口氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導