氦質譜檢漏儀是根據(jù)質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。氦質譜檢漏儀是真空檢漏技術中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器。杭州臺式氦質譜檢漏儀氦檢模塊

氦質譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項：1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時的開機時間2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進行自身檢漏。3.適時對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。4.氦質譜檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）。5.禁止任何外來物掉在或灑在氦質譜檢漏儀上，尤其是進氣口中，由于氦質譜檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。浙江分體式氦質譜檢漏儀費用氦檢儀是磁偏轉型的質譜分析計。

氦檢儀噪聲是哪兒來的？高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種，一個是離子流接收放大機輸出電路的噪聲，另一個就是本底噪聲。實際上，目前通過對電子線路的改進，儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經降到很低的一個程度，因此已經不是限制設備靈敏度的主要因素，如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話，可以通過放大信號的辦法來提高信噪比來改善靈敏度。而本底噪聲則是由本底峰的不穩(wěn)定造成，與本底的大小以及電磁場參數(shù)的穩(wěn)定度有關，具體的包括：1、離子源發(fā)射電子流的不穩(wěn)定性，加速電壓、分析器電磁參數(shù)的不穩(wěn)定性；2、氦氣在真空系統(tǒng)內的吸附和再放出（如真空油脂、人造橡膠、有機絕緣材料都可以吸附和再放出氦氣），電離真空計特別是磁放電真空計對氦氣的記憶效應（被污染的情況下更為嚴重）；3、抽氣系統(tǒng)中氦氣的反擴散與對氦氣抽速的不穩(wěn)定性；4、氦檢儀本身漏氣和氦氣的滲透；5、殘余氣體分子對氦離子的散射等等。這些因素對本底噪聲及靈敏度的影響都很大。

氦檢儀的撿漏方法：正壓法（吸入法）?？煞譃檎婵障浞ê驼龎悍▋蓮埬Ｊ?，工件內充氦氣，吸搶檢測可根據(jù)工件漏率選擇性充入一定比例混合氦氣可檢測工件的具體漏點。檢測精度高。適用行業(yè)：特種閥門，高壓管道，制冷管路，汽輪機組等。因為空氣中含有5ppm的氦氣，正壓法檢漏靈敏度相對負壓法要低。氦檢儀正壓法有二種方式,即移動嗅探式和氦罩累積式。前者只能定性檢測大漏,后者則可定量檢測微漏。氦質譜檢漏正壓氦罩法注意事項：氦罩要專門設計,一般用金屬制作(塑料布在長時間累積中滲透量太大)。如果累積時間短,也可用0.10～0.15mm的塑料布制作。檢測時氦罩應盡量小,以便提高氦的壓升率。氦罩要密封。探測口要方便檢測。檢漏過程中,儀器靈敏度和吸頭在校準后不得進行調整,否則要重新進行校準。吸頭不應一直插在檢測口內,以免影響累積信號。在低溫探測時,環(huán)境濕度應盡量降低,被檢件應先加高壓示漏氣體而后降溫,以免小孔阻塞。在結構組成上，大部分氦檢儀就是由質譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的；

氦質譜檢漏儀調氦峰步驟：1、調氦峰方法：開漏孔開關，單方向(從75~165V或從165~75V)調加速電壓“V”，使氦質譜檢漏儀放大器輸出表指示值出現(xiàn)一個Zda值，然后關漏孔開關，如表頭指示值變小，說明氦質譜檢漏儀接收到氦信號，即找到氦峰；如表頭指示值不變，說明不是氦峰，則繼續(xù)調“V”，直到找到氦峰(出現(xiàn)氦的“V”一般在85~150V之間)。2、調氦峰分辨不好：①氦和重離子分辨差。②氦和輕離子分辨差。3、調氦峰信號小：①燈絲沒正對電離盒上的電子入口。②燈絲離電離盒太遠。③分辨不好。氦質譜檢漏儀不會受到主觀因素判斷的影響。溫州氦質譜檢漏儀供應商

氦檢儀自動化程度高；杭州臺式氦質譜檢漏儀氦檢模塊

氦質譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優(yōu)點而被普遍應用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領域。檢漏儀在使用過程中，往往會因為產生的一些故障或是現(xiàn)象，而影響檢漏工作的正常進度，若對其置之不理還會危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時解決或避免的，掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養(yǎng)。氦質譜檢漏儀是質譜儀器中的一種，將質譜儀用于檢漏技術是質譜儀在真空密封檢測技術中的重要應用。杭州臺式氦質譜檢漏儀氦檢模塊