氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)，其基本原理是根據(jù)離子在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí)，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來(lái)實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時(shí)先打開抽空閥前級(jí)泵對(duì)檢漏接口抽真空，當(dāng)真空度P1優(yōu)于200Pa時(shí)，打開入口閥1、2，關(guān)閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測(cè)出來(lái)，此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級(jí)泵繼續(xù)對(duì)檢漏接口抽真空，當(dāng)P1降至20Pa時(shí)，入口閥2關(guān)閉，入口閥3打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短，此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀在運(yùn)行過(guò)程中不能移動(dòng)。南京便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀定制

氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo)：1.可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s；2.漏率顯示范圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s；3.啟動(dòng)時(shí)間：≤5min；4.響應(yīng)時(shí)間：≤1s；5.檢漏口的壓力：1500Pa；6.電源要求：220v，50Hz，單相，10A；7.工作環(huán)境：5-35℃；8.相對(duì)濕度：≤80%；9.外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）；10.重量：64kg。使用環(huán)境：環(huán)境溫度：5～35℃；相對(duì)濕度：<80%；供電電壓：?jiǎn)蜗嘟涣?20V±10%，50Hz工作電流：10A。蘇州多功能氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù)，它是儀器在出廠時(shí)經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀器靈敏度。

氦檢儀在無(wú)源器件中的檢漏應(yīng)用：無(wú)源器件檢漏原因：光無(wú)源器件是光纖通信設(shè)備的重要組成部分，也是其它光纖應(yīng)用領(lǐng)域不可缺少的元器件。具有高回波損耗、低插入損耗、高可靠性等特點(diǎn)。光無(wú)源器件對(duì)密封性的要求極高，如果存在泄漏會(huì)影響其使用性能和精度，光通信行業(yè)的漏率標(biāo)準(zhǔn)是小于5×10-8mbar.l/s，因此需要進(jìn)行泄漏檢測(cè)。氦質(zhì)譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位，定量漏點(diǎn)，替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏，目前已普遍應(yīng)用于光無(wú)源器件的檢漏。光無(wú)源器件檢漏方法：由于無(wú)源器件體積小，且無(wú)法抽真空或直接充入氦氣，我們采用“背壓法”檢漏，具體做法如下。1.將被檢無(wú)源器件放入真空保壓罐，壓力和時(shí)間根據(jù)漏率大小設(shè)定。2.取出無(wú)源器件，使用空氣或氮?dú)獯祾弑砻婧狻?.將無(wú)源器件放入真空測(cè)試罐，測(cè)試罐連接氦檢儀。4.啟動(dòng)氦檢儀，開始檢漏。

氦檢儀的基本原理是采集被檢件中的氣體將其電離，根據(jù)不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點(diǎn)，利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開來(lái)。儀器只對(duì)示漏氣體氦氣有相應(yīng)信號(hào)，而對(duì)其他氣體沒(méi)有反應(yīng)，屬于唯1性氦檢儀器。檢漏過(guò)程中，一旦出現(xiàn)信號(hào)，就說(shuō)明有氦氣通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢件，從而指示出漏孔的位置與大小。而之所以選擇氦氣作為示漏氣體，主要是因?yàn)楹べ|(zhì)量輕，易于穿過(guò)漏孔，擴(kuò)散快，對(duì)分析設(shè)備制造的要求相對(duì)簡(jiǎn)單；同時(shí)氦氣在空氣中含量少，本底壓力小，又為惰性氣體，不易發(fā)生反應(yīng)等等，都為提高儀器靈敏度創(chuàng)造了條件。檢漏過(guò)程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)人氦質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)立即移去吸口。

如何正確選擇氦檢儀？（1）儀器的功能是否能滿足檢漏的要求，如有些儀器沒(méi)有逆流檢漏功能，就不合適正壓法檢漏：有些儀器沒(méi)有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能，就不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，因此應(yīng)選擇有雙工位的氦檢儀。（2）儀器的靈敏度是否能滿足檢漏的要求。國(guó)內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認(rèn)真選擇。（3）被檢件如果害怕油的污染，被應(yīng)選擇無(wú)油真空系統(tǒng)的氦檢儀。（4）被檢件容積如果較大，必須選用預(yù)抽泵抽速答的氦檢儀，否則要另配預(yù)抽泵就比較麻煩。（5）如果被檢對(duì)象不固定，體積時(shí)大時(shí)小，靈敏度要求時(shí)高時(shí)低，就要選擇功能較全，靈敏度較高，檢漏范圍寬的氦檢儀。（6）如果檢漏地點(diǎn)不固定，需要經(jīng)常搬運(yùn)儀器時(shí)，就要選擇小型便攜式儀器。（7）在滿足檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮儀器的價(jià)格是否低、操作是否建議、維修是夠方便等方面的問(wèn)題。氦檢儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。溫州移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀一臺(tái)多少錢

氦檢儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ)，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。南京便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀定制

氦檢儀在壓力容器中的常用方法：噴氦法，噴氦法是常用，比較方便的檢漏方法。檢漏時(shí)，用連接在裝有氦氣的氣瓶上的噴頭向懷疑有漏泄的部位噴氦氣，如果有氦氣從漏孔中流入壓力容器裝置，則裝置內(nèi)的氦分壓就會(huì)上升，氦氦檢儀上就會(huì)顯示有泄漏率。是否合格要看標(biāo)準(zhǔn)漏率值是定在多少，超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)漏率值的可視為不合格。氦罩法，這種方法使用一個(gè)檢漏罩（塑料薄膜等）把被檢容器包起來(lái)，先排除罩內(nèi)空氣，然后充入氦氣或氦氣的混合氣體，氦檢儀與被檢容器內(nèi)部連接，當(dāng)氦檢儀有漏率顯示時(shí)，說(shuō)明有泄漏。這個(gè)漏率稱為總漏率?？偮┞蕿楦鱾€(gè)分漏率之和；總漏率不超標(biāo)準(zhǔn)值，則各個(gè)分漏率也不超標(biāo)準(zhǔn)值；總漏率超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)值，則檢查各個(gè)點(diǎn)的分漏率是否超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)值。然后再對(duì)超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)值的漏孔進(jìn)行修補(bǔ)，直至達(dá)到合格標(biāo)準(zhǔn)為止。南京便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀定制