氦檢儀中沒有手動(dòng)閥，現(xiàn)已采用自控閥自動(dòng)調(diào)節(jié)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的誤差。同時(shí)用渦輪分子泵取代了油擴(kuò)散泵,以消除可能造成的油返流。計(jì)算機(jī)技術(shù)也在氦檢儀中獲得應(yīng)用。運(yùn)轉(zhuǎn)、控制和輸出數(shù)據(jù)均由計(jì)算機(jī)自動(dòng)操作完成。典型的示波器已由陰端射線管顯像屏所代替。整個(gè)操作只須按各種按鈕自動(dòng)進(jìn)行。氦檢儀現(xiàn)在已經(jīng)滲透到航空航天、新能源、電子器件、閥門、電力、核電、制冷、家電等行業(yè)。氦檢儀在未來的歲月中還將在許多的工業(yè)領(lǐng)域中得到新的應(yīng)用。氦檢儀質(zhì)量范圍很寬，不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng)，不只解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問題，而且對快速啟動(dòng)儀器和快速停機(jī)做出了很大貢獻(xiàn)。氦檢儀選擇無毒、無破壞性、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠。嘉興便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)

便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀的明顯優(yōu)點(diǎn)：1、性價(jià)比高：便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀是一款實(shí)用的檢漏儀，可覆蓋廣大的應(yīng)用領(lǐng)域，競爭性的價(jià)格及較低的使用成本，大抽速前級泵的設(shè)計(jì)，可縮短抽氣時(shí)間，提高使用效率；2、自我保護(hù)功能：在突然暴露大氣和突然斷電時(shí)具有保護(hù)功能，系統(tǒng)的逆擴(kuò)散設(shè)計(jì)保護(hù)了質(zhì)譜室的清潔、真空，且不需要液氮；3、結(jié)構(gòu)靈活：可采用主機(jī)與前級泵單獨(dú)采買，前級泵可使用油封式旋片泵或渦卷式干泵，對于便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀，既可選擇帶有連接配件的主機(jī)形式，也可選擇安裝在兩輪小車上的整體形式。寧波全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀定制氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。

氦檢儀靈敏度降低應(yīng)該如何維護(hù)？當(dāng)發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低，而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求，就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。這個(gè)時(shí)候，就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來進(jìn)行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用細(xì)的高標(biāo)號金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件，這里不能用粗砂紙，因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油和無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥。整個(gè)清洗過程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導(dǎo)致磁鐵退磁，使氦檢儀的靈敏度降低。如果操作正確，經(jīng)過清洗維護(hù)后的氦檢儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。

氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個(gè)大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢漏時(shí)所能檢測出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到穩(wěn)定值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動(dòng)態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時(shí)間不大于3s。所謂“可檢率”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時(shí)，才能認(rèn)定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內(nèi)輸出儀表的較大的波動(dòng)量，能較方便地估計(jì)檢漏效果。氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護(hù)？

提高氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度方法：1、盡量開大節(jié)流閥。2、盡量減小外接泵對工件的分流或采用不分流檢漏(當(dāng)工件抽上真空后，關(guān)閉工件與外接泵之間的閥門)。3、將工件用塑料袋包扎，袋內(nèi)再充入氦氣，(但此法不能測出具體漏點(diǎn))。4、使用液氮，全開節(jié)流閥，采用不分流檢漏，必要時(shí)可將抽速閥關(guān)小。氦質(zhì)譜檢漏儀日常維護(hù)：1、定期更換燈絲，清洗冷規(guī)。2、定期更換機(jī)械泵油，適時(shí)對機(jī)械泵加油。3、如加液氮，需定期清洗冷阱。4、拆卸氦質(zhì)譜檢漏儀部件后，安裝時(shí)要避免安裝處出現(xiàn)泄漏。5、適時(shí)對氦質(zhì)譜檢漏儀可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥)進(jìn)行清洗，排除漏點(diǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀為什么會(huì)選擇氦氣作為主要的示漏氣體？池州模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀

為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲，需要針對性的采取措施。嘉興便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)

氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)，其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運(yùn)動(dòng)時(shí)，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時(shí)先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當(dāng)真空度P1優(yōu)于200Pa時(shí)，打開入口閥1、2，關(guān)閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測出來，此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空，當(dāng)P1降至20Pa時(shí)，入口閥2關(guān)閉，入口閥3打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短，此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。嘉興便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)