氦檢儀的基本原理是采集被檢件中的氣體將其電離，根據(jù)不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點，利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開來。儀器只對示漏氣體氦氣有相應(yīng)信號，而對其他氣體沒有反應(yīng)，屬于唯1性氦檢儀器。檢漏過程中，一旦出現(xiàn)信號，就說明有氦氣通過漏孔進(jìn)入被檢件，從而指示出漏孔的位置與大小。而之所以選擇氦氣作為示漏氣體，主要是因為氦質(zhì)量輕，易于穿過漏孔，擴(kuò)散快，對分析設(shè)備制造的要求相對簡單；同時氦氣在空氣中含量少，本底壓力小，又為惰性氣體，不易發(fā)生反應(yīng)等等，都為提高儀器靈敏度創(chuàng)造了條件。氦檢儀本底漏率值是什么？南通真空氦質(zhì)譜檢漏儀

氦檢儀中沒有手動閥，現(xiàn)已采用自控閥自動調(diào)節(jié)運轉(zhuǎn)時的誤差。同時用渦輪分子泵取代了油擴(kuò)散泵,以消除可能造成的油返流。計算機(jī)技術(shù)也在氦檢儀中獲得應(yīng)用。運轉(zhuǎn)、控制和輸出數(shù)據(jù)均由計算機(jī)自動操作完成。典型的示波器已由陰端射線管顯像屏所代替。整個操作只須按各種按鈕自動進(jìn)行。氦檢儀現(xiàn)在已經(jīng)滲透到航空航天、新能源、電子器件、閥門、電力、核電、制冷、家電等行業(yè)。氦檢儀在未來的歲月中還將在許多的工業(yè)領(lǐng)域中得到新的應(yīng)用。氦檢儀質(zhì)量范圍很寬，不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng)，不只解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機(jī)做出了很大貢獻(xiàn)。杭州多功能氦質(zhì)譜檢漏儀哪個牌子好氦檢儀的型號較多，但基本結(jié)構(gòu)大同小異。

選擇氦檢儀時主要考慮以下問題：（1）儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合正壓法檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設(shè)置功能，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應(yīng)選擇有多工位的氦檢儀。（2）儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認(rèn)真選擇。（3）被檢件如果害怕油的污染，就應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的氦檢儀。（4）被檢件容積如果較大，必須選用預(yù)抽泵抽速大的氦檢儀，否則就要外加預(yù)抽泵。（5）如果被檢對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的氦檢儀。（6）如果檢漏地點不固定，需要經(jīng)常搬運儀器時，就要選擇小型便攜式儀器。（7）在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮儀器的價格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。

氦檢儀在使用過程中需特別注意以下幾點：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi)，電壓過低儀器啟動困難，且性能不穩(wěn)定，電壓過高會燒壞電源，嚴(yán)重時還會燒毀母板的電路板和分子泵，應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS)。②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉(zhuǎn)中，若搬動氦檢儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。③氦檢儀應(yīng)按照說明書的要求定期進(jìn)行保養(yǎng)，保養(yǎng)的項目有更換機(jī)械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。④氦檢儀在運行了2000h后應(yīng)對前級泵進(jìn)行維修和保養(yǎng)，運行7000h分子泵進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)。有些國家生產(chǎn)的氦檢儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果。

氦檢儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。專業(yè)用于電廠檢漏的氦檢儀。關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能穩(wěn)定可靠。不只靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準(zhǔn)和自動量程切換。氦檢儀不只靈敏度高，而且操作方便；寧波國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀品牌

氦質(zhì)譜檢漏儀是以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。南通真空氦質(zhì)譜檢漏儀

氦檢儀怎么選，這取決于客戶的需求：應(yīng)用類型：(例如：生產(chǎn)，維護(hù)等)-干式/傳統(tǒng)的油泵?性能：(進(jìn)入檢漏模式所需要的時間，靈敏度，響應(yīng)時間，恢復(fù)時間，初抽的能力)。重量以及大小。氦氦檢儀的性能衡量，主要是通過以下參數(shù)：初抽的能力：(m3/h)，檢測允許的較大進(jìn)氣口壓力：(mbar)，進(jìn)入檢測模式所需要的時間：(s)，氦抽速：(l/s))靈敏度，較低可測的氦信號：(mbar.l/s)，響應(yīng)時間：(s)，恢復(fù)時間：(s)，初抽能力：將決定進(jìn)入檢測模式的時間)將決定是否只使用氦檢儀進(jìn)行檢測就可以(是否需要輔助泵)。檢測允許的較大進(jìn)氣口壓力：〉將決定進(jìn)入檢測模式所需要的時間。進(jìn)入檢測模式所需要的時間：是由初抽能力和檢測允許的較大壓力共同決定的。其他可能會影響檢測時間的參數(shù)：腔體的脫氣以及非常大的泄漏。南通真空氦質(zhì)譜檢漏儀