10.3.1潔凈廠房?jī)?nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定,并應(yīng)符合下列規(guī)定:1供氣規(guī)模應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計(jì)人必要損耗量確定,并應(yīng)設(shè)有一定的備用供氣量;2供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定;3供氣系統(tǒng)可集中設(shè)置在潔凈廠房?jī)?nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動(dòng)力站;4應(yīng)選用能耗少、噪聲低的設(shè)備,宜選用無(wú)油潤(rùn)滑空氣壓縮機(jī)，5含水量要求嚴(yán)格時(shí),宜選用加熱再生吸附干燥裝置。由HEPA或ULPA與風(fēng)機(jī)組合在一起,構(gòu)成自身可提供動(dòng)力的末端空氣凈化的裝置。半導(dǎo)體凈化車間無(wú)塵室檢測(cè)

12.1.1潔凈廠房的用電負(fù)荷等級(jí)和供電要求，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及設(shè)備要求和現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50052的有關(guān)規(guī)定確定。12.1.2潔凈廠房低壓配電電壓等級(jí)應(yīng)符合生產(chǎn)工藝設(shè)備用電要求。帶電導(dǎo)體系統(tǒng)的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統(tǒng)接地型式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。12.1.3電子產(chǎn)品生產(chǎn)用主要工藝設(shè)備，應(yīng)由變壓器或低壓饋電線路供電。對(duì)電源連續(xù)性有特殊要求的生產(chǎn)設(shè)備、動(dòng)力設(shè)備，宜設(shè)置不間斷電源或備用發(fā)電裝置等。在潔凈室(區(qū))內(nèi)宜設(shè)置的檢修電源。12.1.4潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)（含制冷機(jī)），應(yīng)由變電所專線供電。安徽實(shí)驗(yàn)室無(wú)塵室檢測(cè)評(píng)估（潔凈室）等級(jí)大體可以分為十萬(wàn)級(jí)、萬(wàn)級(jí)、千級(jí)、百級(jí)、十級(jí)。數(shù)字越小，潔凈等級(jí)越高。

10.1.1潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質(zhì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。10.1.2常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng)，應(yīng)根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當(dāng)?shù)氐墓鉅顩r等因素，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定。10.1.3潔凈廠房常用氣體、特種氣體的制備、儲(chǔ)存、分配系統(tǒng)，除應(yīng)符合本規(guī)范外，還應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016、《氫氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50177和《氧氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50030等的有關(guān)規(guī)定。10.1.4潔凈廠房?jī)?nèi)的氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。當(dāng)與水、電管線共架時(shí)，比空氣重的氣體管道宜設(shè)在水、電管線下部，比空氣輕的氣體管道宜設(shè)在水、電管線上部。

無(wú)塵車間工程主要包括無(wú)塵車間設(shè)計(jì)、施工和運(yùn)行管理前后相關(guān)的三個(gè)環(huán)節(jié)。質(zhì)量源于設(shè)計(jì)，設(shè)計(jì)是**。而凈化工程的施工又區(qū)別于一般的建筑工程，包括圍護(hù)結(jié)構(gòu)(俗稱“房中房”)；空調(diào)凈化系統(tǒng)；供電、自控、弱電系統(tǒng)；純水、特氣、物料供應(yīng)系統(tǒng)；廢氣、廢水處理系統(tǒng)及相關(guān)設(shè)施。運(yùn)行管理包括：實(shí)時(shí)檢測(cè)，人員培訓(xùn)，設(shè)備維護(hù)，以保證受控的生產(chǎn)科研環(huán)境持續(xù)符合要求。三個(gè)環(huán)節(jié)涵蓋了空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)三個(gè)占有狀態(tài)；環(huán)境受控又融合了風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估、生產(chǎn)認(rèn)證的概念和程序；加之潔凈技術(shù)跨行業(yè)、跨專業(yè)、跨學(xué)科的特點(diǎn)：使之無(wú)塵車間工程的難度和復(fù)雜性增加。因此對(duì)于無(wú)塵車間工程行業(yè)來(lái)說(shuō)，優(yōu)化設(shè)計(jì)、現(xiàn)場(chǎng)施工環(huán)境的協(xié)調(diào)與管控、工程相關(guān)技術(shù)細(xì)節(jié)的經(jīng)驗(yàn)積累，對(duì)客戶需求的理解和實(shí)現(xiàn)，以及對(duì)設(shè)計(jì)變更的準(zhǔn)備和響應(yīng)程度等都是衡量無(wú)塵車間施工團(tuán)隊(duì)能力的重要指標(biāo)。潔凈空間單位體積空氣中，以大于或等于被考慮粒徑的粒子濃度限值進(jìn)行劃分的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。

5.2.1潔凈廠房的工藝布置應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設(shè)備的安裝和維修、物料運(yùn)輸?shù)纫蟠_定。在單向流潔凈室內(nèi)進(jìn)行生產(chǎn)工藝設(shè)備、操作程序、人員流動(dòng)路線和物料傳輸布置時(shí),應(yīng)采取避免發(fā)生氣流干擾和交叉污染的措施。5.2.2工藝布局應(yīng)避免人流和物流之間的混雜和交叉,宜分別設(shè)置人員人口、物料入口和設(shè)備出入口,并應(yīng)在各自的人口處設(shè)置相應(yīng)的凈化設(shè)施。5.2.3在滿足生產(chǎn)工藝和微振控制、噪聲控制等要求的前提下，空氣潔凈度嚴(yán)格的潔凈室(區(qū))宜靠近空調(diào)機(jī)房布置;空氣潔凈度等級(jí)相同的工序或工作室宜集中布置?？臻g內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制?？梢允情_(kāi)放式或封閉式。上海過(guò)濾器無(wú)塵室檢測(cè)目的

無(wú)塵室的潔凈技術(shù)不斷發(fā)展完善，為更多領(lǐng)域的發(fā)展帶來(lái)新的可能。半導(dǎo)體凈化車間無(wú)塵室檢測(cè)

11.2.1有風(fēng)機(jī)的凈化設(shè)備當(dāng)其風(fēng)機(jī)底座與箱體軟連接時(shí)，搬運(yùn)時(shí)應(yīng)將底座架起固定，就位后放下。11.2.2凈化設(shè)備安裝應(yīng)在建筑內(nèi)部裝飾和凈化空調(diào)系統(tǒng)施工安裝完成，并進(jìn)行***清掃、擦拭干凈之后進(jìn)行，但與圍護(hù)結(jié)構(gòu)相連的設(shè)備或其排風(fēng)、排水管道必須與圍護(hù)結(jié)構(gòu)同時(shí)施工時(shí)，與圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)圓弧過(guò)渡，曲率半徑不應(yīng)小于30mm，連接縫應(yīng)采用密封措施，做到嚴(yán)密清潔。11.2.1有風(fēng)機(jī)的凈化設(shè)備當(dāng)其風(fēng)機(jī)底座與箱體軟連接時(shí)，搬運(yùn)時(shí)應(yīng)將底座架起固定，就位后放下。11.2.2凈化設(shè)備安裝應(yīng)在建筑內(nèi)部裝飾和凈化空調(diào)系統(tǒng)施工安裝完成，并進(jìn)行***清掃、擦拭干凈之后進(jìn)行，但與圍護(hù)結(jié)構(gòu)相連的設(shè)備或其排風(fēng)、排水管道必須與圍護(hù)結(jié)構(gòu)同時(shí)施工時(shí)，與圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)圓弧過(guò)渡，曲率半徑不應(yīng)小于30mm，連接縫應(yīng)采用密封措施，做到嚴(yán)密清潔。半導(dǎo)體凈化車間無(wú)塵室檢測(cè)