從收集的國(guó)內(nèi)外潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)來(lái)看,有以下幾個(gè)特點(diǎn):潔凈室的噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn)。在潔凈室的環(huán)境下,噪聲條件主要在于保障正常操作運(yùn)行,滿足必要的談話聯(lián)系,提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)給出的允許值在65dB(A)~70dB(A)范圍,醫(yī)療行業(yè)則更低?,F(xiàn)行的大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)均以A聲壓級(jí)作為評(píng)價(jià)指標(biāo),也有少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)各頻帶聲壓級(jí)提出了限制。少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)按不同的空氣潔凈度等級(jí)分別給出了噪聲容許值,而大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)不同的空氣潔凈度等級(jí)潔凈室提出了一個(gè)統(tǒng)一的容許值。在滿足生產(chǎn)工藝的條件下,管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短。安徽半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測(cè)服務(wù)商
1)單層潔凈室,在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設(shè)有上下技術(shù)夾層,上技術(shù)夾層內(nèi)設(shè)置空氣過(guò)濾裝置、風(fēng)管和公用動(dòng)力管線;下技術(shù)夾層為回風(fēng)道。這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室。2)多層潔凈室,在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)吊頂格柵以上設(shè)有送風(fēng)靜壓箱或循環(huán)空氣處理設(shè)備或空氣過(guò)濾單元機(jī)組等的上技術(shù)層;在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的活動(dòng)地板以下設(shè)有回風(fēng)靜壓箱或輔助生產(chǎn)設(shè)備或公用動(dòng)力設(shè)備、管線等的下技術(shù)層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術(shù)層根據(jù)需要可為一層或二層。上海醫(yī)療器具潔凈室檢測(cè)方法潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、高新技術(shù)密切聯(lián)系在一起。
6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造,應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動(dòng)化運(yùn)輸和公用動(dòng)力設(shè)施安裝和維修的要求。6.1.6設(shè)有技術(shù)夾層、技術(shù)夾道的潔凈廠房,技術(shù)夾層、技術(shù)夾道的建筑設(shè)計(jì)應(yīng)滿足各種風(fēng)管和各種動(dòng)力管線安裝和維修的要求。穿越樓層的豎向管線需暗敷時(shí),宜設(shè)置技術(shù)豎井。技術(shù)豎井的形式、尺寸和構(gòu)造應(yīng)滿足風(fēng)管、管線的安裝、檢修和防火要求。6.1.7對(duì)兼有一般生產(chǎn)區(qū)和潔凈室(區(qū))的綜合性廠房,廠房的平面布局和構(gòu)造處理,宜避免人流、物流運(yùn)輸及防火方面對(duì)潔凈生產(chǎn)環(huán)境帶來(lái)不利影響。
6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設(shè)計(jì)應(yīng)簡(jiǎn)潔、明快,并應(yīng)適應(yīng)潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境控制設(shè)施協(xié)調(diào),并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造,應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動(dòng)化運(yùn)輸和公用動(dòng)力設(shè)施安裝和維修的要求。對(duì)較大型的潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)宜集中進(jìn)行空氣凈化處理。
C.3已裝過(guò)濾系統(tǒng)氣溶膠光度計(jì)掃描檢漏規(guī)程C.3.1進(jìn)行已裝過(guò)濾系統(tǒng)掃描檢漏前,應(yīng)已完成風(fēng)速合格性檢測(cè)。C.3.2過(guò)濾器上風(fēng)向氣溶膠適當(dāng)粒徑范圍[質(zhì)量中值粒徑(MMD)一般為0.5μm~0.7μm,幾何標(biāo)準(zhǔn)差可高達(dá)1.7];濃度為10mg/m~100mg/m。濃度低于20mg/m時(shí)檢漏的靈敏度欠佳;高于80mg/m,長(zhǎng)時(shí)間檢測(cè)會(huì)過(guò)度污染過(guò)濾器。注入氣溶膠與送風(fēng)應(yīng)均勻混合,上風(fēng)向氣溶膠濃度隨時(shí)間的變化不應(yīng)超過(guò)平均測(cè)量值的士15%。C.3.3按規(guī)定的掃描速度,移動(dòng)采樣探頭往復(fù)掃描。采樣頭往復(fù)掃描速度為15/Wp,cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度。掃描速度為5cm/s。注:當(dāng)使用3cm×3cm正方形采樣頭掃描時(shí),掃描的覆蓋面之間略有重疊。C.3.4采樣口的風(fēng)速接近過(guò)濾器出風(fēng)面的風(fēng)速(接近“等動(dòng)力采樣”)。采樣探頭距過(guò)濾器出風(fēng)面和框架結(jié)構(gòu)約3cm。C.3.5掃描應(yīng)遍及過(guò)濾器的整個(gè)出風(fēng)面、過(guò)濾器的周邊、過(guò)濾器邊框與安裝構(gòu)架之間的密封處及安裝構(gòu)架的結(jié)合點(diǎn)。C.3.6驗(yàn)收限值:當(dāng)讀數(shù)大于上風(fēng)向氣溶膠濃度的0.01%時(shí),就認(rèn)為存在滲漏。供需雙方也可商定其他驗(yàn)收限值。掃描時(shí)任何顯示大于或等于滲漏限值處,采樣頭應(yīng)停留持續(xù)測(cè)量一段時(shí)間,光度計(jì)獲得比較大讀數(shù)時(shí)采樣頭的位置應(yīng)判定為滲漏位置。無(wú)菌室的潔凈度直接決定了實(shí)驗(yàn)室的微生物結(jié)果的可信度。氣流潔凈室檢測(cè)流程
潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應(yīng)穿越無(wú)關(guān)的房間。安徽半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測(cè)服務(wù)商
D.3.2靜壓差測(cè)試,應(yīng)符合下列規(guī)定:1靜壓差的測(cè)定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時(shí)進(jìn)行。2儀器宜采用各種型式的微壓計(jì),儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個(gè)潔凈室(區(qū))時(shí),應(yīng)從極里面的房間與相鄰房間的壓差測(cè)試開始,并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測(cè)。D.3.3已安裝的空氣過(guò)濾器泄漏測(cè)試,應(yīng)符合下列規(guī)定:1儀器應(yīng)使用采樣量大于11/mn的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。2應(yīng)在過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子,粒子濃度應(yīng)大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過(guò)濾器表面20~30mm處,并應(yīng)以5~20mm/s速度移動(dòng)。應(yīng)檢測(cè)包括過(guò)濾器的整個(gè)面和過(guò)濾器周邊、過(guò)濾器框架及其密封處的掃描。安徽半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測(cè)服務(wù)商