17.3.4在系統(tǒng)和設(shè)備的外觀檢查后應(yīng)進行單機試運轉(zhuǎn)檢查，并應(yīng)確認運轉(zhuǎn)正常。其中風(fēng)機的試運行時間不少于2h，不得反轉(zhuǎn)，其滑動軸承最高溫度不得超過70℃。17.3.5安裝確認后應(yīng)進行空態(tài)或靜態(tài)條件下的運行確認，應(yīng)進行帶冷（熱）源的系統(tǒng)正常聯(lián)合試運轉(zhuǎn)，并不應(yīng)少于8h。系統(tǒng)中各項設(shè)備部件和自動控制環(huán)節(jié)聯(lián)動運轉(zhuǎn)應(yīng)協(xié)調(diào)，動作正確，無異?，F(xiàn)象。17.3.4在系統(tǒng)和設(shè)備的外觀檢查后應(yīng)進行單機試運轉(zhuǎn)檢查，并應(yīng)確認運轉(zhuǎn)正常。其中風(fēng)機的試運行時間不少于2h，不得反轉(zhuǎn)，其滑動軸承最高溫度不得超過70℃。17.3.5安裝確認后應(yīng)進行空態(tài)或靜態(tài)條件下的運行確認，應(yīng)進行帶冷（熱）源的系統(tǒng)正常聯(lián)合試運轉(zhuǎn)，并不應(yīng)少于8h。系統(tǒng)中各項設(shè)備部件和自動控制環(huán)節(jié)聯(lián)動運轉(zhuǎn)應(yīng)協(xié)調(diào)，動作正確，無異?，F(xiàn)象。將產(chǎn)品生產(chǎn)過程與操作人員、污染物進行嚴(yán)格分隔的隔離空間。浙江無塵室檢測

無塵車間工程主要包括無塵車間設(shè)計、施工和運行管理前后相關(guān)的三個環(huán)節(jié)。質(zhì)量源于設(shè)計，設(shè)計是**。而凈化工程的施工又區(qū)別于一般的建筑工程，包括圍護結(jié)構(gòu)(俗稱“房中房”)；空調(diào)凈化系統(tǒng)；供電、自控、弱電系統(tǒng)；純水、特氣、物料供應(yīng)系統(tǒng)；廢氣、廢水處理系統(tǒng)及相關(guān)設(shè)施。運行管理包括：實時檢測，人員培訓(xùn)，設(shè)備維護，以保證受控的生產(chǎn)科研環(huán)境持續(xù)符合要求。三個環(huán)節(jié)涵蓋了空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)三個占有狀態(tài)；環(huán)境受控又融合了風(fēng)險評估、生產(chǎn)認證的概念和程序；加之潔凈技術(shù)跨行業(yè)、跨專業(yè)、跨學(xué)科的特點：使之無塵車間工程的難度和復(fù)雜性增加。因此對于無塵車間工程行業(yè)來說，優(yōu)化設(shè)計、現(xiàn)場施工環(huán)境的協(xié)調(diào)與管控、工程相關(guān)技術(shù)細節(jié)的經(jīng)驗積累，對客戶需求的理解和實現(xiàn)，以及對設(shè)計變更的準(zhǔn)備和響應(yīng)程度等都是衡量無塵車間施工團隊能力的重要指標(biāo)。上海半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測目的室內(nèi)空氣的流動形態(tài)和分布。

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點確定。潔凈室（區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。7.3.2潔凈廠房的潔凈室（區(qū))送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)、風(fēng)機過濾器機組送風(fēng)等。應(yīng)根據(jù)潔凈室（區(qū)）使用功能和降低能量消耗的要求，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較，采用運行經(jīng)濟、節(jié)約能源的送風(fēng)方式。

E.5.1無恒溫恒濕要求的溫濕度檢測應(yīng)符合下列要求：1室內(nèi)空氣溫度和相對濕度測定之前，空調(diào)凈化系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運行至少8h。2溫度的檢測可采用玻璃溫度計、數(shù)字式溫濕度計；濕度的檢測可采用通風(fēng)式干濕球溫度計、數(shù)字式溫濕度計、電容式濕度檢測儀或露點傳感器等。根據(jù)溫濕度的波動范圍，應(yīng)選擇足夠精度的測試儀表。溫度檢測儀表的極小刻度不宜高于0.4℃，濕度檢測儀表的極小刻度不宜高于2%。測點為房間中間一點，應(yīng)在溫濕度讀數(shù)穩(wěn)定后記錄。測完室內(nèi)溫濕度后，還應(yīng)同時測出室外溫濕度。潔凈室(區(qū))已處于正常生產(chǎn)狀態(tài),設(shè)備在指定的方式下進行,并且有人員按照規(guī)范操作。

6.3.1管道安裝前應(yīng)進行以下準(zhǔn)備工作：1配管下料時應(yīng)采用“等離子切割”或**切割鋸、割管刀等工具，不應(yīng)采用氧-乙炔焰切割，不得涂抹油脂或潤滑劑。2管道切口應(yīng)與管軸線垂直，切口表面應(yīng)平整、無裂紋，應(yīng)去除毛刺。3在主管道上連接支管或部件時，宜用成品連接件。4普通不銹鋼管應(yīng)在工廠的清洗槽中用酸洗液清洗后再用清水沖洗干凈。5氧氣管道及附件，安裝前應(yīng)按相關(guān)規(guī)定方法進行脫脂，脫脂應(yīng)在遠離潔凈室的地點進行，并做好操作人員的安全與環(huán)境保護工作。指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8~15m(除工藝特殊要求外）的區(qū)域。上海半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測目的

高濕度實際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結(jié)果。浙江無塵室檢測

11.3.6安裝空調(diào)設(shè)備四周的設(shè)備層地面應(yīng)作防水處理，并應(yīng)平整、無麻面、不起塵。該處地面應(yīng)設(shè)擋水線，不應(yīng)設(shè)排水溝。擋水線范圍之內(nèi)設(shè)地漏，地漏水封高度應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)文件要求。當(dāng)無明確要求時，不應(yīng)小于70mm。冷凝水出水管應(yīng)有閥門，無冷凝水排出季節(jié)閥門應(yīng)關(guān)閉，并應(yīng)有提示標(biāo)志。11.3.7當(dāng)空調(diào)設(shè)備內(nèi)表冷器設(shè)在負壓段時，地面應(yīng)設(shè)不小于冷凝水出水水封段高度的水泥底座，底座高度不宜低于200mm。11.3.8空調(diào)設(shè)備內(nèi)加濕器的安裝應(yīng)設(shè)**支吊架，不得在空調(diào)機組壁板上開設(shè)固定支架用的安裝孔。加濕器噴管與機組壁板間應(yīng)做好絕熱、密封處理。浙江無塵室檢測