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對(duì)于混合氣而言,配比的精度是參數(shù),隨著產(chǎn)品組分的增加、配制精度的上升,客戶常要求氣體供應(yīng)商能夠?qū)Χ喾Nppm(partpermillion,百萬(wàn)分之)乃至ppb(partperbillion,十億分之)級(jí)濃度的氣體組分進(jìn)行精細(xì)操作,其配制過(guò)程的難度與復(fù)雜程度也增大。此外,氣瓶處理、氣體分析檢測(cè)、氣體配送等環(huán)節(jié)亦對(duì)生產(chǎn)企業(yè)提出了較高的技術(shù)要求作為關(guān)鍵性材料,特種氣體的產(chǎn)品質(zhì)量對(duì)下游產(chǎn)業(yè)的正常生產(chǎn)影響巨大。如果晶圓加工環(huán)節(jié)所使用的氣體發(fā)生質(zhì)量問(wèn)題,將導(dǎo)致整條生產(chǎn)線產(chǎn)品報(bào)廢,造成巨額損失或四氯化碳與氟化氫反應(yīng),都能生成四氟化碳。上海四氟化碳高性價(jià)比的選擇
電子特氣在半導(dǎo)體制造材料中占比僅次于硅片。半導(dǎo)體材料包括晶圓制造材料和封裝材料。其中晶圓制造材料包括硅片、光掩模、光刻膠、光刻膠輔助材料、工藝化學(xué)品、電子特氣、靶材、CMP 拋光材料及其他材料。2018 年全球半導(dǎo)體晶圓材料市場(chǎng)規(guī)模為322.0 億美元,同比增長(zhǎng) 15.8%,全球半導(dǎo)體封裝測(cè)試材料市場(chǎng)規(guī)模為 197.0 億美元,同比增長(zhǎng) 3.1%。根據(jù) SEMI 的數(shù)據(jù),2018 年電子氣體在晶圓制造材料市場(chǎng)中占比達(dá)到12.9%,僅次于占比 36.6%的硅片,市場(chǎng)規(guī)模巨大。
常州節(jié)能四氟化碳廠家供貨四氟化碳又稱(chēng)四氟甲烷,被視為一種無(wú)機(jī)化合物。
四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量比較大的等離子蝕刻氣體,也可以廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽(yáng)能電池的生產(chǎn),鋁合金門(mén)窗制造、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài),印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。同時(shí),由于四氟化碳的化學(xué)穩(wěn)定性,四氟化碳可用于金屬冶煉,例如:銅、不銹鋼,碳鋼、鋁、蒙乃爾等;還可用于塑料行業(yè);如:合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。
質(zhì)量指標(biāo)純度(%)≥99.99水份(PPm)≤10酸度(PPm)≤0.3蒸發(fā)殘留物(PPm)≤100%物理性質(zhì)分子量88.0沸點(diǎn)(1atm),℃-128臨界溫度,℃-45.67臨界壓力,kPa3740飽和蒸氣壓(25℃),kPa3650(-45.6℃)汽化熱/蒸發(fā)潛熱(沸點(diǎn)下,1atm),kJ/kg-破壞臭氧潛能值(ODP)0全球變暖潛能值(GWP,100yr)5700ASHRAE安全級(jí)別A1(無(wú)毒不可燃)化學(xué)性質(zhì)相對(duì)分子量88.00。在常溫下,四氟化碳是無(wú)色、無(wú)臭、不燃的易壓縮性氣體,揮發(fā)性較高,是**穩(wěn)定的有機(jī)化合物之一,不易溶于水。在900℃時(shí),不與銅、鎳、鎢、鉬反應(yīng),*在碳弧溫度下緩慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%(重量比),然而與可燃性氣體燃燒時(shí),會(huì)分解產(chǎn)生有毒氟化物。然而與可燃性氣體燃燒時(shí),會(huì)分解產(chǎn)生氟化物。
四氟化碳在常溫常壓下為無(wú)色無(wú)臭有輕微醚味的氣體,微溶于水;在25℃,,水中溶解度為(重量),有輕微的水解作用。四氟化碳應(yīng)用廣,可廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)、制冷空調(diào)、電力工業(yè)、太陽(yáng)能工業(yè)、航天工業(yè)、金屬冶煉和塑料工業(yè)等。四氟化碳對(duì)大多數(shù)金屬及合金均不腐蝕,可用鋼瓶或鋁合金容器包裝和運(yùn)輸,充瓶壓力通常低于MPa,充裝前應(yīng)經(jīng)過(guò)清洗、干燥、檢驗(yàn)、抽真空后再充裝,貯存于陰涼、通風(fēng)的庫(kù)房,遠(yuǎn)離火。四氟化碳因?yàn)閾碛辛己玫娜苎跣?,且溶解度和空氣中的氧氣含量相?dāng),所以即便生物完全浸在其中也能夠很好地呼吸,不會(huì)出現(xiàn)溺水狀況。 常溫常壓下比較穩(wěn)定,但是需要避免接觸強(qiáng)氧化劑、易燃或可燃物。上海市***四氟化碳
四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量比較大的等離子蝕刻氣體。上海四氟化碳高性價(jià)比的選擇
四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量的等離子燭刻氣體,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體,可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。淄博迪嘉5N四氟化碳?xì)怏w常用作低溫制冷劑及集成電路的等離子干法蝕刻技術(shù), 四氟化碳又稱(chēng)四氟甲烷,分子量為88.01,無(wú)色無(wú)味氣體.微溶于水,在25℃、1大氣壓時(shí),溶解度為0。0015%(重量)。常溫下是壓縮氣體。 上海四氟化碳高性價(jià)比的選擇
上海隆鑫工業(yè)氣體有限公司致力于化工,是一家貿(mào)易型公司。公司自成立以來(lái),以質(zhì)量為發(fā)展,讓匠心彌散在每個(gè)細(xì)節(jié),公司旗下超純氣,電子氣,標(biāo)準(zhǔn)氣,同位素氣體深受客戶的喜愛(ài)。公司從事化工多年,有著創(chuàng)新的設(shè)計(jì)、強(qiáng)大的技術(shù),還有一批專(zhuān)業(yè)化的隊(duì)伍,確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務(wù)。隆鑫秉承“客戶為尊、服務(wù)為榮、創(chuàng)意為先、技術(shù)為實(shí)”的經(jīng)營(yíng)理念,全力打造公司的重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力。