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城中區(qū)品質真空泵

來源: 發(fā)布時間:2021-03-07

    分子泵分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速*為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,并研究開發(fā)各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿足不同場合的需要。干泵國外干泵市場的不斷增長,其主要驅動來自于半導體行業(yè)、化學工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,**提高了產(chǎn)品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa。柳州哪里有賣真空泵設備的廠家。城中區(qū)品質真空泵

    使用方便、工作可靠、維護方便的特點。JZJS型羅茨——水環(huán)泵機組本機組由于采用水環(huán)泵作為前級泵,因而特別適用于抽除含有大量水蒸氣和帶有一定腐蝕性和可凝性氣體的工藝過程中。如:真空蒸餾、蒸發(fā)、脫水、結晶、干燥等工藝過程中JZJX型羅茨一旋片泵機組(ModelJZJXRoots-SlidingVaneRotaryVacuumPumpSystem)是以羅茨泵為主泵,以旋片泵為前級泵串聯(lián)而成。其結構緊湊,操作方便。適用于抽除空氣及其它無可凝性及無腐蝕性的氣體,廣泛應用于需要大抽速和高真空的各種真這系統(tǒng)中。如:真空冶煉,電力電容器,變壓器,真空浸漬處理,真空鍍膜設備中的預抽等。W型往復式真空泵是獲得粗真空的主要真空設備之一。廣泛應用于化工,食品,建材等部門,特別是在真空結晶,干燥,過濾,蒸發(fā)等工藝過程中更為適宜。2X型旋片式真空泵用來抽除密閉容器的氣體的基本設備之一。它可以單獨使用,也可作為增壓泵、擴散泵、分子泵的前級泵使用。該型泵廣泛應用于冶金、機械、電子、化工、石油、醫(yī)藥等行業(yè)的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理,真空干燥等工藝過程中。2XZ型旋片式真空泵具有結構緊湊,體積小,重量輕,噪音低,振動小等優(yōu)點。所以,它適用于作擴散泵的前級泵。 融水真空泵哪個品牌好專業(yè)的真空泵,廠家直銷的價格。

    電機溫度都會超限,被迫加裝臨時冷卻風機,但收效不大。電機長期高溫運行會造成絕緣老化,縮短其使用壽命。?圖片來源于網(wǎng)絡真空泵電機溫度高的原因:1)、電機功率大,工作電流大,發(fā)熱量大;2)、風扇轉速低,風壓,風量??;3)、風扇葉片數(shù)較少,產(chǎn)生的風量??;4)、電動機附有灰塵、油污,降低了散熱能力;5)、真空泵電機所在母線電壓為380V,由于電纜壓降及負荷分配不均,電機實際所加電壓只有365V,電壓偏低造成運行電流大。真空泵電機溫度高解決方法:電機功率、轉速是和真空泵相匹配的,不能更改。風扇安裝于電機主軸上,電機轉速決定了風扇轉速,也不可更換。增加風扇葉片數(shù)量雖能起到一定作用,但葉片數(shù)量增加后,動平衡不容易找,如找正不好,會引起電機振動增加。方法如下:1)、將原風扇罩加長40cm,在里面加裝一個與風扇罩同直徑軸流風機,軸流風機電機功率850W,轉速1489r/min,電壓380V。原風扇繼續(xù)保留。軸流風機另設一路電源控制,軸流風機與主電機不設連鎖。真空泵啟動后及時啟動軸流風機運行,真空泵停運后30min停運軸流風機,以使主電機得到充分冷卻;2)定期***電機上灰塵,保持電機散熱片清潔,增加其散熱能力;3)將真空泵所在母線電壓調整為400V。

    當葉輪順時針方向旋轉時,水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用,水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內表面恰好與葉輪輪轂相切,水環(huán)的上部內表面剛好與葉片頂端接觸(實際上葉片在水環(huán)內有一定的插入深度)。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙形空間,而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部0°為起點,那么葉輪在旋轉前180°時小腔的容積由小變大,且與端面上的吸氣口相通,此時氣體被吸入,當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕;當葉輪繼續(xù)旋轉時,小腔由大變小,使氣體被壓縮;當小腔與排氣口相通時,氣體便被排出泵外。綜上所述,水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的,因此它屬于變容式真空泵。羅茨泵在泵腔內,有二個“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間,轉子與泵殼內壁之間,保持有一定的間隙,可以實現(xiàn)高轉速運行。由于羅茨泵是一種無內壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外,還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度。柳州威克專業(yè)的真空泵生產(chǎn)廠家。

    水環(huán)式真空泵)2、往復式真空泵3、旋片式真空泵4、旋片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴散泵等氣體捕集泵包括:吸附泵和低溫泵等。工業(yè)中應用**多的是水環(huán)式真空泵和旋片式真空泵等。2SK、2SK-P1系列雙級水環(huán)式真空泵?真空泵主要用來抽除空氣和其它有一定腐蝕性、不溶于水、允許含有少量固體顆粒的氣體。***用于食品、紡織、醫(yī)藥、化工等行業(yè)的真空蒸發(fā)、濃縮、浸漬、干燥等工藝過程中。該型泵具有真空度高、結構簡單,使用方便、工作可靠、維護方便的特點。JZJS型羅茨——水環(huán)泵機組本機組由于采用水環(huán)泵作為前級泵,因而特別適用于抽除含有大量水蒸氣和帶有一定腐蝕性和可凝性氣體的工藝過程中。如:真空蒸餾、蒸發(fā)、脫水、結晶、干燥等工藝過程中JZJX型羅茨一旋片泵機組(ModelJZJXRoots-SlidingVaneRotaryVacuumPumpSystem)是以羅茨泵為主泵,以旋片泵為前級泵串聯(lián)而成。其結構緊湊,操作方便。適用于抽除空氣及其它無可凝性及無腐蝕性的氣體,廣泛應用于需要大抽速和高真空的各種真這系統(tǒng)中。如:真空冶煉,電力電容器,變壓器。專業(yè)的真空泵生產(chǎn)廠家有哪些?自動化真空泵大概費用

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    羅茨泵產(chǎn)量不大,但國外羅茨泵的價格遠比國產(chǎn)泵要高得多。目前,國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng),為了縮短抽氣時間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵,所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領國內市場基礎上設法進入國際市場,這樣就必須進一步降低國產(chǎn)羅茨泵的振動噪聲,徹底解決軸封漏油問題,改進泵的外觀質量,提高泵內的光潔度和清潔度。另外,還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz,更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠性。目前,國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快,技術上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子,從而使壓縮熱得到平衡,所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求,這種泵可以串聯(lián)使用,一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵,所達到的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級。這種泵由于在泵腔內沒有工作介質,實際上也是屬于干泵。目前,這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗,所以應該在國內大力推廣和應用。城中區(qū)品質真空泵

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