用作高分辨率光譜儀。法布里-珀luo gan涉儀等多光束干涉儀具有很尖銳的干涉極大，因而有極高的光譜分辨率，常用作光譜的精細結構和超精細結構分析。歷史上的作用。19世紀的波動論者認為光波或電磁波必須在彈性介質(zhì)中才得以傳播，這種假想的彈性介質(zhì)稱為以太。人們做了一系列實驗來驗證以太的存在并探求其屬性。以干涉原理為基礎的實驗極為精確，其中極有名的是菲佐實驗和邁克耳孫-莫雷實驗。1851年，A.H.L.菲佐用特別設計的干涉儀做了關于運動介質(zhì)中的光速的實驗，以驗明運動介質(zhì)是否曳引以太。1887年，A.A.邁克耳孫和E.W.莫雷合作利用邁克耳孫干涉儀試圖檢測地球相對jue dui靜止的以太的運動。對以太的研究為A.愛因斯坦的狹義相對論提供了佐證。創(chuàng)建了一個 CMM演示器，用于顯示由IDS3010執(zhí)行的CMM中的位置檢測。非接觸激光干涉儀位移

體型半導體應變片這種半導體應變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線，結尾粘貼在鋅酚醛樹脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。體型半導體應變片可分為6種。①普通型：它適合于一般應力測量；②溫度自動補償型：它能使溫度引起的導致應變電阻變化的各種因素自動抵消，只適用于特定的試件材料；③靈敏度補償型：通過選擇適當?shù)囊r底材料（例如不銹鋼），并采用穩(wěn)流電路，使溫度引起的靈敏度變化極??；④高輸出（高電阻）型：它的阻值很高（2～10千歐）,可接成電橋以高電壓供電而獲得高輸出電壓，因而可不經(jīng)放大而直接接入指示儀表。⑤超線性型：它在比較寬的應力范圍內(nèi)，呈現(xiàn)較寬的應變線性區(qū)域，適用于大應變范圍的場合；⑥P-N組合溫度補償型：它選用配對的P型和N型兩種轉換元件作為電橋的相鄰兩臂，從而使溫度特性和非線性特性有較大改善。上海皮米精度激光干涉儀定位器的觸發(fā)運動控制。

升降變差

1 能耐受機械力作用的儀表、儀表正面部分比較大尺寸小于75MM 的可攜式儀表、正面比較大尺寸小于40MM 的安裝式儀表、用直流進行檢驗的電磁系和鐵磁電動系儀表，其指示值的升降變差不應超過表7 規(guī)定值的1.5 倍。其它儀表的升降變差不應超過表的規(guī)定。

2 測定升降變差時，應在極性不變(當用直流檢驗時)和指示器升降方向不變的前提下，首先使被檢表指示器從一個方向平穩(wěn)地移向標度尺某一個分度線，讀取標準表的讀數(shù)；然后再從另一個方向平穩(wěn)地移向標度尺的同一個分度線，再次讀取標準表的讀數(shù)，標準表兩次讀數(shù)之差即為升降變差。允許根據(jù)被檢表讀數(shù)之差測定升降變差，這時應維持被測量之值不變。測定儀表升降變差時應遵守規(guī)定，若被測之量連續(xù)可調(diào)，可與測定基本誤差一同進行。

(4)計算機輔助測量理論。信號處理系統(tǒng)的標準化、模塊化、兼容和集成。例如，目前多數(shù)采用ISA總線、IEEE488口，今后計算機可能取消ISA總線，用于筆記本電腦的USB接口將廣泛應用。過去，中國生產(chǎn)的儀器滿足于數(shù)字顯示，沒有數(shù)據(jù)交換接口，難以進入國際市場。國外生產(chǎn)的儀器普遍配備IEEE488(GPIB)口。RS232：目前有可能成為替代物的高性能標準是USB、IEEE1394和VXI。在此轉折期為我們提供了機遇。目前虛擬儀器的工作頻段在千赫數(shù)量級，對于干涉信號處理顯得太低，可以采取聯(lián)合互補的方法形成模塊系列，同時降低成本，從總體上提高研發(fā)工作的效率。根據(jù)已有基礎，發(fā)展特長，有利于克服重復研究。緊湊，適用于設備集成。

中國機床行業(yè)市場萎縮同時又大量進口國外設備的原因之一就是因為這方面的技術沒有得到推廣應用。為此，需要高速多通道激光干涉儀：其測量速度達60m/min以上，采樣速度達5000次/sec以上，以適應熱誤差和幾何誤差測量的需要。空氣折射率實時測量應達到2×10的-7次方水平，其測量結果和長度測量結果可同步輸入計算機。

運行和制造過程的監(jiān)控和在線檢測技術

綜合運用圖像、頻譜、光譜、光纖以及其它光與物質(zhì)相互作用原理的傳感器具有非接觸、高靈敏度、高柔性、應用范圍廣的優(yōu)點。在這個領域綜合創(chuàng)新的天地十分廣闊，如振動、粗糙度、污染物、含水量、加工尺寸及相互位置等。 雖然加速度計可用于測量頻率> ~20 Hz @ 10 kHz的鏡像虛擬儀。深圳激光干涉儀儀器

傳感器頭適用于極端環(huán)境： ? 低溫和高溫（比較高450°C），UHV兼容性， ? 強輻射（高達10MGy）和高磁場。非接觸激光干涉儀位移

波長的測量任何一個以波長為單位測量標準米尺的方法也就是以標準米尺為單位來測量波長的方法。以國際米為標準，利用干涉儀可精確測定光波波長。法布里-珀luo gan 涉儀（標準具）曾被用來確定波長的初級標準（鎘紅譜線波長）和幾個次級波長標準，從而通過比較法確定其他光譜線的波長。檢驗光學元件泰曼干涉儀被普遍用來檢驗平板、棱鏡和透鏡等光學元件的質(zhì)量。在泰曼干涉儀的一個光路中放置待檢查的平板或棱鏡，平板或棱鏡的折射率或幾何尺寸的任何不均勻性必將反映到干涉圖樣上。若在光路中放置透鏡，可根據(jù)干涉圖樣了解由透鏡造成的波面畸變，從而評估透鏡的波像差。非接觸激光干涉儀位移