電壓影響

1 當(dāng)電壓自額定值偏離±10%(對(duì)比率表和由化學(xué)電源和交流電網(wǎng)作供電電源的兆歐表)、±15%(對(duì)整流系儀表和鉗形表)或±20%(對(duì)其它儀表)時(shí)，由此引起儀表指示值的改變應(yīng)不超過規(guī)定值。儀表輔助電路用電源、由內(nèi)附手搖發(fā)電機(jī)作供電電源的兆歐表，當(dāng)其電壓自額定值偏離±10%時(shí)，指示值改變應(yīng)不超過表7 規(guī)定值的一半。指示值改變的表示方法與基本誤差表示方法相同。試驗(yàn)在標(biāo)度尺的幾何中心附近和上量限附近的兩點(diǎn)進(jìn)行，整步表在同步點(diǎn)進(jìn)行。如果在儀表上注明額定電壓范圍，則在此范圍內(nèi)的任一電壓下，儀表基本誤差應(yīng)不超過規(guī)定值。

2 檢驗(yàn)電壓影響時(shí)應(yīng)遵守有關(guān)規(guī)定(對(duì)電壓的規(guī)定除外)，且應(yīng)除去變差影響(可輕敲表殼)。檢驗(yàn)相位表和功率因數(shù)表時(shí)，在額定電流下進(jìn)行；檢驗(yàn)功率表時(shí)在額定功率因數(shù)下進(jìn)行。 角度和迴轉(zhuǎn)測量，檢測軸承間隙。3D激光干涉儀厚度測量

多抽頭電流互感器。這種型號(hào)的電流互感器，一次繞組不變，在繞制二次繞組時(shí)，增加幾個(gè)抽頭，以獲得多個(gè)不同變比。它具有一個(gè)鐵心和一個(gè)匝數(shù)固定的一次繞組，其二次繞組用絕緣銅線繞在套裝于鐵心上的絕緣筒上，將不同變比的二次繞組抽頭引出，接在接線端子座上，每個(gè)抽頭設(shè)置各自的接線端子，這樣就形成了多個(gè)變比，此種電流互感器的優(yōu)點(diǎn)是可以根據(jù)負(fù)荷電流變比，調(diào)換二次接線端子的接線來改變變比，而不需要更換電流互感器，給使用提供了方便。福建激光干涉儀彩色共焦技術(shù)在環(huán)境條件下懸臂的共振頻率，不施加壓電致動(dòng)器的任何振蕩。

干涉儀應(yīng)用：幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測及其自動(dòng)補(bǔ)償可檢測數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動(dòng)測量機(jī)器的誤差，而且還能通過RS232接口自動(dòng)對(duì)其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償，比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間，并且避免了手工計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時(shí)可比較大限度地選用被測軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù)，使機(jī)床達(dá)到比較好精度，另外操作者無需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識(shí)。

單頻激光干涉儀:從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào)，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù)，再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數(shù))，算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí)，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。使用干涉測量法進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)誤差補(bǔ)償。

結(jié)構(gòu)原理：普通電流互感器結(jié)構(gòu)原理：電流互感器的結(jié)構(gòu)較為簡單，由相互絕緣的一次繞組、二次繞組、鐵心以及構(gòu)架、殼體、接線端子等組成。其工作原理與變壓器基本相同，一次繞組的匝數(shù)（N1）較少，直接串聯(lián)于電源線路中，一次負(fù)荷電流(I1)通過一次繞組時(shí)，產(chǎn)生的交變磁通感應(yīng)產(chǎn)生按比例減小的二次電流（I2）；二次繞組的匝數(shù)（N2）較多，與儀表、繼電器、變送器等電流線圈的二次負(fù)荷（Z）串聯(lián)形成閉合回路，由于一次繞組與二次繞組有相等的安培匝數(shù)，I1N1=I2N2，電流互感器額定電流比電流互感器實(shí)際運(yùn)行中負(fù)荷阻抗很小，二次繞組接近于短路狀態(tài)，相當(dāng)于一個(gè)短路運(yùn)行的變壓器。Beamline Fac。需要具有<100nrad RMS機(jī)械指向穩(wěn)定性的鏡架。白云區(qū)3D激光干涉儀

皮 米 精 度 位 移 傳 感 器。3D激光干涉儀厚度測量

高精度。目前半導(dǎo)體工藝的典型線寬為0.25μm，并正向0.18μm過渡，2009年的預(yù)測線寬是0.07μm。如果定位要求占線寬的1/3，那么就要求10nm量級(jí)的精度，而且晶片尺寸還在增大，達(dá)到300mm。這就意味著測量定位系統(tǒng)的精度要優(yōu)于3×10的-8次方，相應(yīng)的激光穩(wěn)頻精度應(yīng)該是10的-9次方數(shù)量級(jí)。

高速度。目前加工機(jī)械的速度已經(jīng)提高到1m/sec以上，上世紀(jì)80年代以前開發(fā)研制的儀器已不適應(yīng)市場的需求。例如惠普公司的干涉儀市場大部分被英國Renishaw所占領(lǐng)，其原因是后者的速度達(dá)到了1m/sec。 3D激光干涉儀厚度測量