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來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-08-13

    所述***氧化層厚度為1000-1200a。進(jìn)一步地,所述第二氧化層厚度為3000-5000a。進(jìn)一步地,兩個(gè)所述溝槽柵結(jié)構(gòu)之間設(shè)置有***摻雜區(qū),所述***摻雜區(qū)的摻雜類型與所述半導(dǎo)體襯底的類型相反。進(jìn)一步地,在所述***摻雜區(qū)的內(nèi)表面設(shè)置兩個(gè)第二摻雜區(qū),所述第二摻雜區(qū)的摻雜類型與***摻雜區(qū)的摻雜類型相反,兩個(gè)所述第二摻雜區(qū)分別設(shè)置在靠近兩個(gè)所述溝槽柵結(jié)構(gòu)的一側(cè),所述***摻雜區(qū)和所述第二摻雜區(qū)與發(fā)射極金屬接觸。進(jìn)一步地,所述半導(dǎo)體的底部還設(shè)置有緩沖層和集電極,所述集電極設(shè)置在比較低層。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果:本實(shí)用新型提供的溝槽柵igbt通過在溝槽內(nèi)設(shè)置兩種厚度氧化層,兩種厚度氧化層分別為***氧化層和第二氧化層,該第二氧化層厚度大于***氧化層厚度,因?yàn)榻Y(jié)電容與氧化層的厚度成反比,因此增加氧化層的厚度會(huì)降低器件的結(jié)電容大小,從而解決了現(xiàn)有技術(shù)中溝槽柵igbt結(jié)電容大的問題,從而提高了本實(shí)用新型的開關(guān)特性,使得本實(shí)用新型可應(yīng)用于高頻場(chǎng)景。附圖說明圖1為現(xiàn)有技術(shù)中平面柵igbt的示意圖;圖2為現(xiàn)有技術(shù)中溝槽柵igbt的示意圖;圖3為現(xiàn)有技術(shù)中溝槽柵結(jié)構(gòu)制作方法的流程圖;圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的溝槽柵igbt的示意圖。其主要功能是實(shí)現(xiàn)能源的轉(zhuǎn)換和控制,從而提高電力設(shè)備的效率和可靠性。江蘇模塊裝潢

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    從而使得本實(shí)施例可應(yīng)用與高頻場(chǎng)景。本說明書中的“半導(dǎo)體襯底表面內(nèi)”是指由半導(dǎo)體襯底表面向下延伸的一定深度的區(qū)域,該區(qū)域?qū)儆诎雽?dǎo)體襯底的一部分。其中,半導(dǎo)體襯底可以包括半導(dǎo)體元素,例如單晶、多晶或非晶結(jié)構(gòu)的硅或硅鍺,也可以包括混合的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),例如碳化硅、合金半導(dǎo)體或其組合,在此不做限定。在本實(shí)施例中的半導(dǎo)體襯底推薦采用硅襯底,在本實(shí)施例中以n型襯底為例進(jìn)行說明。推薦地,***氧化層21厚度為1000-1200a。推薦地,第二氧化層22厚度為3000-5000a。進(jìn)一步地,兩個(gè)所述溝槽柵結(jié)構(gòu)之間設(shè)置有***摻雜區(qū),所述***摻雜區(qū)的摻雜類型與所述半導(dǎo)體襯底的類型相反,***摻雜區(qū)為pw導(dǎo)電層。進(jìn)一步地,在所述***摻雜區(qū)的內(nèi)表面設(shè)置兩個(gè)第二摻雜區(qū),所述第二摻雜區(qū)的摻雜類型與***摻雜區(qū)的摻雜類型相反,兩個(gè)所述第二摻雜區(qū)分別設(shè)置在靠近兩個(gè)所述溝槽柵結(jié)構(gòu)的一側(cè)并且與溝槽柵結(jié)構(gòu)接觸,第二摻雜區(qū)為n+源區(qū),pw導(dǎo)電層和n+源區(qū)與發(fā)射極金屬接觸。進(jìn)一步地,所述半導(dǎo)體的底部還設(shè)置有緩沖層和集電極,所述集電極設(shè)置在比較低層。圖5示出了本實(shí)施例提供的一種溝槽柵結(jié)構(gòu)制作方法,與現(xiàn)有技術(shù)的制作基本相同,區(qū)別在于以下:s101:在溝槽內(nèi)沉積第二氧化層22。

    交直流電壓還可以測(cè)量直流電壓。甚至有的萬用表還可以測(cè)量晶體管...發(fā)表于2018-01-1819:18?3013次閱讀驗(yàn)證了LCL型濾波器參數(shù)設(shè)計(jì)及光伏并入配電網(wǎng)的逆...從濾波器的原理入手,對(duì)單L型和LCL型濾波器原理進(jìn)行對(duì)比分析,在設(shè)計(jì)方法上,對(duì)比傳統(tǒng)的分步設(shè)計(jì)法,本...發(fā)表于2018-01-1716:00?1327次閱讀怎么用示波器測(cè)功率本文介紹了怎么用示波器測(cè)功率,小編為大家總結(jié)了使用示波器執(zhí)行功率測(cè)量的七大秘訣。那么,在測(cè)量功率時(shí)我...發(fā)表于2018-01-1510:55?699次閱讀示波器如何測(cè)量直流電壓_示波器測(cè)量直流電壓方法示波器測(cè)量直流電壓方法有兩種,一種是直接測(cè)量法,一種是比較測(cè)量法,這兩種方法都能準(zhǔn)確測(cè)出直流電壓。發(fā)表于2018-01-1509:53?2013次閱讀示波器測(cè)量電壓范圍_示波器測(cè)量電壓**大量程示波器是***應(yīng)用的測(cè)試儀器,利用示波器能觀察各種不同信號(hào)幅度隨時(shí)間變化的波形曲線,還可以用它測(cè)試各種...發(fā)表于2018-01-1509:42?408次閱讀如何用示波器測(cè)量交流電壓_示波器測(cè)量交流電壓方法在電子測(cè)量?jī)x器中,示波器是一種電信號(hào)的時(shí)域測(cè)量和分析儀器;它顯示信號(hào)隨時(shí)間變化的波形。IGBT可以簡(jiǎn)單理解為一個(gè)交流直流電的轉(zhuǎn)換裝置。

    GSM系統(tǒng)規(guī)范對(duì)手機(jī)發(fā)射功率的精度、平坦度、發(fā)射頻譜純度以及帶外雜散信...發(fā)表于2017-12-1217:58?171次閱讀空間電壓矢量svpwm控制原理解析PAM是英文PulseAmplitudeModulation(脈沖幅度調(diào)制)縮寫,是按一定規(guī)律改變...發(fā)表于2017-12-1113:33?2402次閱讀基于TL494的12V直流電壓轉(zhuǎn)變220V逆變電...目前所有的雙端輸出驅(qū)動(dòng)IC中,可以說美國(guó)德克薩斯儀器公司開發(fā)的TL494功能**完善、驅(qū)動(dòng)能力**強(qiáng),其...發(fā)表于2017-12-0515:18?648次閱讀基于LTC3115-1的手持式設(shè)備、工業(yè)儀表和汽...手持式設(shè)備、工業(yè)儀表和汽車電子系統(tǒng)都需要能支持多種輸入電壓的電源解決方案,這些輸入電壓是由汽車輸入電...發(fā)表于2017-12-0211:14?189次閱讀家用供電分析及電壓起源解讀這也就造成了各個(gè)電廠所提供的民用電壓依賴于所進(jìn)口國(guó)家電壓的情況。據(jù)《民國(guó)時(shí)期機(jī)電技術(shù)》中記載,關(guān)于用...發(fā)表于2017-12-0111:30?778次閱讀壓敏電阻的原理及電流、電壓計(jì)算分析壓敏電阻一般并聯(lián)在電路中使用,當(dāng)電阻兩端的電壓發(fā)生急劇變化時(shí),電阻短路將電流保險(xiǎn)絲熔斷,起到保護(hù)作用...發(fā)表于2017-11-2911:23?405次閱讀閾值電壓的計(jì)算閾值電壓。IGBT功率模塊是電壓型控制,輸入阻抗大,驅(qū)動(dòng)功率小,控制電路簡(jiǎn)單,開關(guān)損耗小,通斷速度快,工作頻率高。北京模塊代理商

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    降低本征JFET的影響,和使用元胞設(shè)計(jì)幾何圖形,從而達(dá)到以上的目標(biāo)。對(duì)兩種1200VNPTIGBT進(jìn)行比較:一種是其他公司的需負(fù)偏置關(guān)斷的器件,一種是IR公司的NPT單正向柵驅(qū)動(dòng)IRGP30B120KD-E。測(cè)試結(jié)果表明其他公司的器件在源電阻為56?下驅(qū)動(dòng)時(shí),dV/dt感生電流很大。比較寄生電容的數(shù)據(jù),IR器件的三種電容也有減小:輸入電容,CIES減小25%輸出電容,COES減小35%反向傳輸電容,CRES減小68%圖4寄生電容比較圖5顯示出IR器件的減小電容與V的關(guān)系,得出的平滑曲線是由于減小了JFET的影響。當(dāng)V=0V時(shí),負(fù)偏置柵驅(qū)動(dòng)器件的C為1100pF,IRGP30B120KD-E只有350pF,當(dāng)VCE=30V時(shí),負(fù)偏置柵驅(qū)動(dòng)器件的C為170pF,IRGP30B120KD-E的CRES為78pF。很明顯,IRGP30B120KD-E具有非常低的C,因此在相同的dV/dt條件下dV/dt感生電流將非常小。圖5IRGP30B120KD-E寄生電容與VCE的關(guān)系圖6的電路用來比較測(cè)試兩種器件的電路性能。兩者的dV/dt感生電流波形也在相同的dV/dt值下得出。圖6dV/dt感生開通電流的測(cè)試電路測(cè)試條件:電壓率,dV/dt=直流電壓,Vbus=600V外部柵到發(fā)射極電阻Rg=56?環(huán)境溫度。江蘇模塊裝潢

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