精密環(huán)控柜主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過(guò)濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成，為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過(guò)風(fēng)機(jī)引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對(duì)循環(huán)氣流的每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行處理，從而使柜內(nèi)的溫濕度達(dá)到超高的控制精度。該系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)潔凈度百級(jí)、十級(jí)、一級(jí)，溫度波動(dòng)值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。自面世以來(lái)，已為相關(guān)領(lǐng)域客戶提供了穩(wěn)定的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境以及監(jiān)測(cè)服務(wù)，獲得了眾多好評(píng)。高精密環(huán)控設(shè)備可移動(dòng)，容易維護(hù)和擴(kuò)展。山東精密測(cè)量恒溫恒濕

在集成電路制造這一高精密的領(lǐng)域中，芯片生產(chǎn)線上的光刻工序堪稱關(guān)鍵的環(huán)節(jié)，其對(duì)溫濕度的要求近乎達(dá)到苛刻的程度。即便是極其微小的 1℃溫度波動(dòng)，都可能引發(fā)嚴(yán)重后果。光刻機(jī)內(nèi)部的光學(xué)鏡片會(huì)因熱脹冷縮，致使光路發(fā)生細(xì)微偏移。這看似毫厘之差，卻足以讓光刻圖案精度嚴(yán)重受損，使得芯片上的電路布線出現(xiàn)偏差，甚至短路等問(wèn)題，進(jìn)而大幅拉低芯片的良品率。而在濕度方面，一旦濕度突破 50% 的警戒線，光刻膠便極易受潮，其感光度發(fā)生改變，導(dǎo)致曝光效果大打折扣，無(wú)疑同樣對(duì)芯片質(zhì)量產(chǎn)生不可忽視的負(fù)面影響。山東精密測(cè)量恒溫恒濕精密環(huán)控柜為光刻、干法刻蝕、沉積、表征和其他常見(jiàn)加工設(shè)備提供穩(wěn)定溫濕度、潔凈度、防噪音、抗微震條件。

激光干涉儀用于測(cè)量微小位移，精度可達(dá)納米級(jí)別。溫度波動(dòng)哪怕只有 1℃，由于儀器主體與測(cè)量目標(biāo)所處環(huán)境溫度不一致，二者熱脹冷縮程度不同，會(huì)造成測(cè)量基線的微妙變化，導(dǎo)致測(cè)量位移結(jié)果出現(xiàn)偏差，在高精度機(jī)械加工零件的尺寸檢測(cè)中，這種偏差可能使零件被誤判為不合格品，增加生產(chǎn)成本。高濕度環(huán)境下，水汽會(huì)干擾激光的傳播路徑，使激光發(fā)生散射，降低干涉條紋的對(duì)比度，影響測(cè)量人員對(duì)條紋移動(dòng)的精確判斷，進(jìn)而無(wú)法準(zhǔn)確獲取位移數(shù)據(jù)，給精密制造、航空航天等領(lǐng)域的科研與生產(chǎn)帶來(lái)極大困擾。

在 3D 打印行業(yè)蓬勃發(fā)展的當(dāng)下，溫濕度成為左右打印質(zhì)量的關(guān)鍵因素。在打印過(guò)程中，一旦環(huán)境溫度出現(xiàn)較大幅度的波動(dòng)，用于成型的光敏樹(shù)脂或熱熔性材料便會(huì)受到直接沖擊。材料的固化速率、流動(dòng)性不再穩(wěn)定，這會(huì)直接反映在打印模型上，導(dǎo)致模型出現(xiàn)層紋，嚴(yán)重時(shí)發(fā)生變形，甚至產(chǎn)生開(kāi)裂等嚴(yán)重缺陷。而當(dāng)濕度偏高，材料極易吸濕。在打印過(guò)程中，這些吸收的水分轉(zhuǎn)化為氣泡，悄然隱匿于模型內(nèi)部或浮現(xiàn)于表面，極大地破壞模型的結(jié)構(gòu)完整性，使其表面質(zhì)量大打折扣，影響 3D 打印產(chǎn)品在工業(yè)設(shè)計(jì)、醫(yī)療模型等諸多領(lǐng)域的實(shí)際應(yīng)用。精密環(huán)境控制設(shè)備依托自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了 0.1% 的超高輸出精度。

在精密機(jī)械加工領(lǐng)域，高精度數(shù)控機(jī)床是加工航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片等關(guān)鍵零部件的重要裝備，其加工精度直接影響航空發(fā)動(dòng)機(jī)性能。溫濕度波動(dòng)對(duì)加工過(guò)程影響明顯。若溫度不穩(wěn)定，機(jī)床的主軸、導(dǎo)軌等關(guān)鍵部件會(huì)因熱脹冷縮產(chǎn)生熱變形，導(dǎo)致刀具切削路徑偏離預(yù)設(shè)軌跡，加工出的葉片曲面精度無(wú)法達(dá)到設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)，進(jìn)而影響發(fā)動(dòng)機(jī)性能。當(dāng)車間濕度升高，金屬切削刀具容易生銹，刀具使用壽命縮短，且加工表面粗糙度增加，難以滿足精密零件對(duì)表面質(zhì)量的嚴(yán)格要求 。高精密溫濕度控制設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá)±0.5%@8h。山東精密測(cè)量恒溫恒濕

提供培訓(xùn)服務(wù)，讓用戶熟練掌握設(shè)備操作與維護(hù)要點(diǎn)。山東精密測(cè)量恒溫恒濕

高精密恒溫恒濕技術(shù)憑借其無(wú)可比擬控制系統(tǒng)，為眾多場(chǎng)景帶來(lái)穩(wěn)定且理想的環(huán)境。這一技術(shù)通過(guò)高精度傳感器，對(duì)環(huán)境溫濕度進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，誤差能控制在極小范圍內(nèi)，溫度可至 ±0.0002℃，濕度穩(wěn)定在 ±1%。其原理在于智能調(diào)控系統(tǒng)，依據(jù)設(shè)定參數(shù)，迅速調(diào)節(jié)制冷、制熱與加濕、除濕設(shè)備。當(dāng)溫度升高，制冷系統(tǒng)快速啟動(dòng)，降低溫度；濕度上升時(shí)，高效除濕裝置立即運(yùn)作。在諸多需要嚴(yán)苛環(huán)境條件的場(chǎng)景中，它都發(fā)揮著關(guān)鍵作用。例如，在需要長(zhǎng)期保存對(duì)環(huán)境敏感的珍貴物品或樣本時(shí)，它能防止物品因溫濕度變化變質(zhì)、損壞。在進(jìn)行精密實(shí)驗(yàn)時(shí)，穩(wěn)定的溫濕度為實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性與可靠性提供保障，避免因環(huán)境波動(dòng)干擾實(shí)驗(yàn)結(jié)果�？傊�，高精密恒溫恒濕技術(shù)是維持環(huán)境穩(wěn)定、保障各類工作順利開(kāi)展的重要支撐。山東精密測(cè)量恒溫恒濕