光刻設(shè)備對溫濕度的要求也極高，光源發(fā)出的光線需經(jīng)過一系列復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)聚焦到硅片表面特定區(qū)域，以實現(xiàn)對光刻膠的曝光，將設(shè)計好的電路圖案印制上去。當環(huán)境溫度出現(xiàn)極其微小的波動，哪怕只是零點幾攝氏度的變化，光刻機內(nèi)部的精密光學(xué)元件就會因熱脹冷縮特性而產(chǎn)生細微的尺寸改變。這些光學(xué)元件包括鏡片、反射鏡等，它們的微小位移或形狀變化，會使得光路發(fā)生偏差。原本校準、聚焦于硅片特定坐標的光線，就可能因為光路的改變而偏離預(yù)定的曝光位置，出現(xiàn)曝光位置的漂移。在超高水準潔凈度控制下，該系統(tǒng)設(shè)備工作區(qū)呈現(xiàn)高潔凈度，可優(yōu)于 ISOclass3。上海溫濕度控制室
在光學(xué)鏡片研磨這一精細入微的工藝里，溫濕度波動無疑是如影隨形的 “大敵”，對鏡片質(zhì)量的影響堪稱致命。就研磨設(shè)備而言，即便是零點幾攝氏度的細微溫度變化，也會迅速讓研磨盤與鏡片材料的熱膨脹系數(shù)差異暴露無遺。這一差異會直接導(dǎo)致鏡片在研磨過程中受力不均，研磨效果參差不齊，鏡片的曲率精度因此大打折扣，進而嚴重影響其光學(xué)性能。而當處于高濕度環(huán)境時，空氣中彌漫的水汽就像隱匿的破壞者，極易在鏡片表面悄然凝結(jié)成水漬。這些水漬會在后續(xù)鍍膜工藝中成為棘手難題，極大地干擾鍍膜均勻性，致使鏡片的透過率和抗反射能力雙雙下滑，成品鏡片根本無法契合光學(xué)儀器所要求的嚴苛標準。重慶精密測量溫濕度制冷單元內(nèi)部采用高效隔音材質(zhì)，進一步降低設(shè)備噪音，噪音<45dB。
自動安全保護系統(tǒng)是精密環(huán)控柜的重要保障，為設(shè)備的穩(wěn)定運行和用戶的使用安全提供防護。故障自動保護程序時刻監(jiān)控設(shè)備的運行狀態(tài)，一旦檢測到異常情況，如溫度過高、壓力過大、電氣故障等，系統(tǒng)會立即啟動相應(yīng)的保護措施，停止設(shè)備的危險運行，避免設(shè)備損壞或引發(fā)安全事故，實現(xiàn)全天候無憂運行。同時，故障實時聲光報警提醒，能及時引起用戶的注意。用戶可以根據(jù)報警信息迅速判斷故障類型和位置，及時采取應(yīng)對措施。此外，遠程協(xié)助故障處理功能，使用戶能夠通過網(wǎng)絡(luò)與專業(yè)技術(shù)人員取得聯(lián)系，技術(shù)人員可以遠程查看設(shè)備的運行數(shù)據(jù)和故障信息，指導(dǎo)用戶進行故障排查和修復(fù)，縮短了故障處理時間，提高了設(shè)備的可用性。
精密環(huán)控柜主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成，為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過風(fēng)機引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流的每個環(huán)節(jié)進行處理，從而使柜內(nèi)的溫濕度達到超高的控制精度。該系統(tǒng)可實現(xiàn)潔凈度百級、十級、一級，溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。自面世以來，已為相關(guān)領(lǐng)域客戶提供了穩(wěn)定的實驗室環(huán)境以及監(jiān)測服務(wù)，獲得了眾多好評。采用節(jié)能技術(shù)，在保障高性能的同時降低能耗，為企業(yè)節(jié)省運營成本。
在精密模具制造這一精益求精的領(lǐng)域，溫濕度控制是保障產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵要素。模具型腔對精度有著嚴苛要求，這就決定了整個加工過程必須維持高度穩(wěn)定。一旦溫度出現(xiàn)波動，模具鋼材料會因熱脹冷縮而發(fā)生細微形變，直接影響型腔尺寸精度。這在注塑成型環(huán)節(jié)影響尤甚，極有可能導(dǎo)致塑料制品出現(xiàn)尺寸偏差、飛邊等明顯缺陷。而當濕度異常時，潮濕空氣就像隱藏的 “破壞者”，悄無聲息地侵蝕模具表面，致使模具生銹、腐蝕。這不僅大幅降低模具的使用壽命，還會增加生產(chǎn)成本，對模具在汽車、家電等眾多行業(yè)的應(yīng)用效果產(chǎn)生負面影響，阻礙相關(guān)產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。其控制系統(tǒng)精細處理循環(huán)氣流各環(huán)節(jié)，確保柜內(nèi)溫濕度的超高精度控制。上海溫濕度控制室
在生物制藥研發(fā)中，該設(shè)備能準確調(diào)控環(huán)境，助力藥物成分穩(wěn)定，保障實驗結(jié)果可靠。上海溫濕度控制室
超高水準潔凈度控制使精密環(huán)控柜在眾多領(lǐng)域發(fā)揮著無可替代的作用。該系統(tǒng)可輕松實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，內(nèi)部潔凈度可優(yōu)于 ISO class3 (設(shè)備工作區(qū)) 。這一特性得益于其先進的空氣過濾系統(tǒng)，多層高效過濾器能夠有效攔截空氣中的塵埃顆粒、微生物等污染物。在對潔凈度要求極高的半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，微小的塵埃顆粒都可能導(dǎo)致芯片出現(xiàn)瑕疵，影響性能和良品率。精密環(huán)控柜提供的超潔凈環(huán)境，能極大降低塵埃對芯片制造過程的干擾，確保芯片的高質(zhì)量生產(chǎn)。在生物制藥領(lǐng)域，藥品的生產(chǎn)過程必須保證無菌無塵，防止微生物污染。其超高的潔凈度控制能力，為藥品的研發(fā)和生產(chǎn)提供了符合標準的潔凈空間，保障了藥品的安全性和有效性。上海溫濕度控制室
